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掃描電鏡

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環(huán)境掃描電鏡的原理、特點(diǎn)及應(yīng)用

更新時(shí)間:2025-10-22 12:21:19 類型:教程說明 閱讀量:10412
導(dǎo)讀:環(huán)境掃描電鏡的出現(xiàn)被稱為該技術(shù)領(lǐng)域中的革命性突破。其工作原理與傳統(tǒng)儀器有很大不同,極大地減少了對(duì)樣品的要求及樣品種類的限制。在微量物證檢驗(yàn)?zāi)酥琳麄€(gè)法庭科學(xué)領(lǐng)域開辟了新的更為廣闊的應(yīng)用前景。

  環(huán)境掃描電鏡的出現(xiàn)被稱為該技術(shù)領(lǐng)域中的革命性突破。其工作原理與傳統(tǒng)儀器有很大不同,極大地減少了對(duì)樣品的要求及樣品種類的限制。在微量物證檢驗(yàn)?zāi)酥琳麄€(gè)法庭科學(xué)領(lǐng)域開辟了新的更為廣闊的應(yīng)用前景。

環(huán)境掃描電鏡的原理

  環(huán)境掃描電鏡探測(cè)器是氣體二次電子探頭,它的前端加有數(shù)百伏的正偏壓(相對(duì)與樣品),樣品發(fā)出的二次電子被偏壓加速并與氣體分子(樣品室內(nèi)可充空氣、水氣或惰性氣體)碰撞,使氣體分子電離,形成正離子和電子。這種電子稱為環(huán)境二次電子。環(huán)境二次電子也會(huì)被偏壓加速并再次和氣體分子相碰撞,從而使氣體分子電離的過程不斷重復(fù),這樣一來,二次電子信號(hào)得到正比的串級(jí)放大。環(huán)境掃描電鏡探測(cè)器收集的正是這些被串級(jí)放大的電子信號(hào),用其調(diào)制主掃描光柵即可得到樣品的二次電子像。

掃描電鏡.jpg

  在樣品電場(chǎng)和偏壓的共同作用下,正離子朝樣品方向運(yùn)動(dòng),中和樣品表面的負(fù)電荷。對(duì)于非導(dǎo)體樣品,陽離子的中和作用使樣品表面不會(huì)出現(xiàn)充電現(xiàn)象。

  樣品室內(nèi)所充氣體的電離特性直接影響著成像的效果和質(zhì)量。氣體越容易電離,原始二次電子信號(hào)串級(jí)放大的增益就越高。改變環(huán)境掃描電鏡探測(cè)器前端的偏壓,不但可以改變信號(hào)增益,還可對(duì)樣品室內(nèi)充氣的種類進(jìn)行選擇。通常選擇的樣品室充氣為水蒸氣,它容易電離,而且無毒、方便、成本低。

  樣品室內(nèi)所充氣體的多少(真空度的高低)也影響著成像的質(zhì)量。對(duì)于非導(dǎo)電樣品,如果充氣過少,樣品室內(nèi)缺少足夠的正離子來中和樣品表面的電荷積累,會(huì)產(chǎn)生放電現(xiàn)象。如果充氣過多,圖像中會(huì)出現(xiàn)“軟化”而使細(xì)節(jié)丟失。實(shí)踐中,對(duì)于常見的非導(dǎo)電固體樣品,樣品室水蒸氣氣壓選擇5乇(1乇=1mm汞柱)可獲得較為滿意的圖像。

環(huán)境掃描電鏡的特點(diǎn)

  普通掃描電鏡的樣品室和鏡筒內(nèi)均為高真空(約為10^-6個(gè)大氣壓),只能檢驗(yàn)?zāi)透哒婵涨覍?dǎo)電導(dǎo)熱或經(jīng)導(dǎo)電處理的干燥固體樣品。導(dǎo)電處理會(huì)引起樣品表面形態(tài)和化學(xué)成分的變化,而且有些樣品是很難進(jìn)行導(dǎo)電處理的。

  低真空掃描電鏡(也稱可變壓力掃描電鏡或壓力控制掃描電鏡)使用了一種叫做壓差光闌的新技術(shù),可使鏡筒部分保持高真空,樣品室內(nèi)為低真空,兩部分之間保持一種動(dòng)態(tài)平衡。這種電鏡可直接檢驗(yàn)非導(dǎo)電導(dǎo)熱樣品,無需進(jìn)行處理,但是低真空狀態(tài)下只能獲得背散射電子像。低真空掃描電鏡樣品室內(nèi)的氣體壓力Zda只能達(dá)到4乇。

  環(huán)境掃描電鏡除具有以上兩種電鏡的所有功能外,還具有以下幾個(gè)主要特點(diǎn):

  1、樣品室內(nèi)的氣壓可大于水在常溫下的飽和蒸汽壓

  水在攝氏零度時(shí)的飽和蒸汽壓為4.6乇,真正意義上的環(huán)境掃描電鏡樣品室內(nèi)氣壓必須大于這個(gè)值。普通掃描電鏡和低真空掃描電鏡樣品室內(nèi)氣壓都在4乇以下,而目前環(huán)境掃描電鏡樣品室內(nèi)的氣壓可以高達(dá)50乇。溫度升高時(shí),水的飽和蒸汽壓也會(huì)增大,但常溫下仍不超過50乇。

  2、環(huán)境狀態(tài)下可對(duì)二次電子成像

  二次電子(SE)的能量很低,一般只有幾個(gè)電子伏特,其有效發(fā)射深度為nm級(jí),因此二次電子像反映的是樣品表面的細(xì)微形態(tài)。背散射電子(BE)的能量較大,其有效發(fā)射深度接近um級(jí),出樣品表面時(shí)已開始發(fā)散。另外,背散射電子探頭只能接收直接射入的BE,效率低,要得到足夠的信號(hào)強(qiáng)度,需增加束流,這樣一來也增大了束斑,降低了圖像的分辨率。低真空掃描電鏡在樣品室充氣后只能獲得背散射電子像,而環(huán)境掃描電鏡除背散射電子成像外,還可對(duì)二次電子成像,從而實(shí)現(xiàn)環(huán)境狀態(tài)下對(duì)檢材自然、真實(shí)的表面分析。

  3、觀察樣品的相變動(dòng)態(tài)過程

  環(huán)境掃描電鏡配置溫控樣品臺(tái)后,可以控制樣品的溫度,溫度變化范圍可達(dá)-20℃―+1500℃。給樣品室充以適當(dāng)?shù)臍怏w,可以觀察樣品的溶解、熔化和凝固、結(jié)晶等動(dòng)態(tài)過程,并獲得相應(yīng)的物理參數(shù)。因此,環(huán)境掃描電鏡已不再是普通意義上的形態(tài)和成分分析儀器,而是可以對(duì)微量樣品進(jìn)行多種物理化學(xué)性能測(cè)試的綜合儀器。

環(huán)境掃描電鏡的應(yīng)用

  1、環(huán)境掃描電鏡在生物檢驗(yàn)中的應(yīng)用

  木材、植物殘片、植物孢粉在物證檢驗(yàn)中經(jīng)常遇到,人體組織的顯微結(jié)構(gòu)和成分檢驗(yàn)也可為損傷及其它法醫(yī)學(xué)鑒定提供重要信息。對(duì)這些生物檢材來說,顯微形態(tài)檢驗(yàn)比成分檢驗(yàn)更重要,但它們的共性是導(dǎo)電性差,含水量高。如果進(jìn)行脫水和導(dǎo)電處理,不但過程十分復(fù)雜,致命的缺點(diǎn)還在于不可避免得造成樣品形態(tài)的改變,從而影響檢驗(yàn)的可靠性。

  環(huán)境掃描電鏡可以在完全自然的狀態(tài)下檢驗(yàn)這些生物樣品,對(duì)于含水甚至潮濕樣品,既不需要脫水,也不必進(jìn)行導(dǎo)電處理。另外,對(duì)于微量生物檢材,如作案工具或兇器上的附著的微量動(dòng)植物組織,發(fā)現(xiàn)和提取本身就是檢驗(yàn)的重要環(huán)節(jié)。環(huán)境掃描電鏡可在大樣品室內(nèi)直接對(duì)作案工具上的微量附著物尋找和定位,并進(jìn)行檢驗(yàn)。

  反過來,對(duì)生物體上的附著物,如電擊傷案件中電流斑上金屬成分的檢驗(yàn)、人體或其它生物檢材表面微量金屬附著物的檢驗(yàn),雖然要檢的成分可能導(dǎo)電,但送檢的樣品本身是不導(dǎo)電且含水的,同樣也有一個(gè)尋找定位問題,環(huán)境掃描電鏡在這方面更有其獨(dú)到的作用。

掃描電鏡.jpg

  2、環(huán)境掃描電鏡在纖維檢驗(yàn)中的應(yīng)用

  常規(guī)的掃描電鏡檢驗(yàn)需對(duì)纖維表面進(jìn)行導(dǎo)電處理,但是,案件中常見的織物纖維、紙張纖維以及其它纖維狀檢材結(jié)構(gòu)非常疏松,離子濺射和真空鍍膜法都難以給樣品表面形成連續(xù)的導(dǎo)電層,這是長期以來存在的一個(gè)難題。如果使用低真空掃描電鏡,樣品表面雖然不需噴鍍導(dǎo)電層,但只能得到背散射電子像,無法觀察纖維表面的細(xì)微形態(tài)。

  應(yīng)用環(huán)境掃描電鏡可使這一難題得到真正解決,在環(huán)掃模式或低真空狀態(tài)下,樣品既不需處理,也可觀察二次電子像,得到纖維表面非常豐富的細(xì)微結(jié)構(gòu),這些信息不但對(duì)纖維種類鑒別有用,對(duì)同種類纖維的進(jìn)一步區(qū)分也具有重要意義。

  3、環(huán)境掃描電鏡在昆蟲學(xué)中的應(yīng)用

  生物學(xué)中檢驗(yàn)昆蟲和微生物的方法比較復(fù)雜,而且對(duì)檢材的狀態(tài)和數(shù)量都有一定的要求。環(huán)境掃描電鏡在這方面有其獨(dú)到之處,檢材用量極小,且不需要脫水及其它特殊處理。對(duì)于極其微小的昆蟲及其它生物體,甚至可在活的狀態(tài)下直接進(jìn)行高倍圖像觀察,樣品保持其完全自然真實(shí)的形態(tài),結(jié)果準(zhǔn)確可靠。


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