掃描電鏡，英文全稱為scanning electron microscope，簡稱SEM，是一種介于透射電子顯微鏡（TEM）和光學(xué)顯微鏡（OM）之間用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高, 成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點。掃描電鏡圖像表面形貌襯度幾乎可以用于顯示任何樣品表面的超微信息，其應(yīng)用已經(jīng)滲透到許多科學(xué)研究領(lǐng)域，在失效分析、刑事案件偵破、病理診斷等技術(shù)部門也得到廣泛應(yīng)用。在材料科學(xué)研究領(lǐng)域，表面形貌襯度在斷口分析等方面顯示有突出的優(yōu)越性。掃描電鏡是如何進行工作的？它的工作原理是什么？

       掃描電鏡工作原理

       掃描電鏡通過利用細聚焦電子束在樣品表面逐點掃描，與樣品相互作用產(chǎn)生各種物理信號，這些信號經(jīng)檢測器接收、放大并轉(zhuǎn)換成調(diào)制信號，Z終在熒光屏上顯示反映樣品表面各種特征的圖像。  

       聚束科技（北京）有限公司專注于科研及工業(yè)等領(lǐng)域應(yīng)用的高通量、全自動化電子顯微鏡解決方案，具備獨立設(shè)計和生產(chǎn)高端場發(fā)射（Schottky Field Emission）電子顯微鏡系統(tǒng)能力并擁有全部核心的自主知識產(chǎn)權(quán)，可以根據(jù)用戶及行業(yè)需求定制化設(shè)計、生產(chǎn)專業(yè)用途電鏡系統(tǒng)，結(jié)合高速圖像大數(shù)據(jù)采集能力和AI大數(shù)據(jù)分析能力，從而提高納米成像檢測效率。

       與傳統(tǒng)SEM不同的是，聚束科技生產(chǎn)的Navigator100針對大面積SEM分析的特定應(yīng)用而全新設(shè)計的高通量電子光學(xué)成像系統(tǒng)，ZD優(yōu)化低落點能量下BSE的成像速率，同時保證SE的接收效率為95%以上，使SE和BSE的成像速率達到傳統(tǒng)SEM的10倍左右，搭配聚焦跟蹤系統(tǒng)和光學(xué)導(dǎo)航等輔助模塊，綜合成像速率是傳 統(tǒng)SEM的30倍以上。