掃描電鏡通過電子束在樣品上進(jìn)行逐點(diǎn)掃描，獲得三維立體圖像，圖像觀察視野大、景深長、富有立體感。在觀察樣品表面形貌的同時(shí)，進(jìn)行晶體學(xué)分析及成分分析。

掃描電鏡的原理

　　在5～30 KV 加速電壓作用下，掃描電鏡電子槍發(fā)出幾十微米直徑的電子束，經(jīng)diyi、第二光鏡及末透鏡縮小成直徑約幾十埃的電子探針，會(huì)聚在樣品上。在位于第二聚光鏡和物鏡之間的掃描線圈作用下，電子探針在樣品表面作光柵狀掃描并激發(fā)多種電子信號(hào)。這些電子信號(hào)被相應(yīng)地收集檢測(cè)系統(tǒng)收集，經(jīng)放大并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，被送到顯像管柵極用以調(diào)制顯像管的亮度。顯像管中的電子束在熒光屏上也作光柵狀掃描，這種掃描運(yùn)動(dòng)與樣品表面電子束掃描運(yùn)動(dòng)嚴(yán)格同步。

　　所以，由探測(cè)器逐點(diǎn)檢測(cè)的電子信號(hào)，將一一對(duì)應(yīng)調(diào)制顯像管相應(yīng)點(diǎn)的亮度。即電子束在樣品表面與顯像管的嚴(yán)格同步掃描，使得電子像襯度與所接收信號(hào)強(qiáng)度一一對(duì)應(yīng)，由此獲得反應(yīng)樣品表面形貌或成分特征的掃描電鏡圖像。

掃描電鏡使用步驟

　　一、開機(jī)(電源開關(guān)和準(zhǔn)備開關(guān)均為打開狀態(tài))

　　1、開水(系統(tǒng)不報(bào)警方可);

　　2、開掃描電鏡總電源;

　　3、電氣柜后面開關(guān)打開，將自動(dòng)/手動(dòng)(AUTO/MAN)開關(guān)拔到自動(dòng)(AUTO)的位置，此時(shí)電爐進(jìn)行加熱;

　　4、抽真空30分鐘后，斷開準(zhǔn)備開關(guān);

　　5、開掃描電鏡系統(tǒng)軟件;

　　6、打開主機(jī)前面面板上的電氣柜開關(guān)，抽真空10分鐘。

　　二、準(zhǔn)備觀測(cè)圖像

　　1、打開V1閥，此時(shí)鏡筒真空已準(zhǔn)備好，用左手延徑水平方向拉開V1閥，閥桿下面的彈片將V1閥固定在打開位置;

　　2、加高壓(30KV)導(dǎo)電性不好的產(chǎn)品(20-25KV)，加高壓時(shí)Z好按著每步的速度逐步增加，如果長按按鈕，高壓會(huì)連續(xù)快速增加，不容易控制到要求的數(shù)值;

　　3、調(diào)節(jié)掃描電鏡對(duì)比度和亮度：①調(diào)節(jié)對(duì)比度，使圖像上出現(xiàn)一些噪聲為Z佳，一般情況下在60左右;②調(diào)節(jié)圖像亮度，使屏幕顯示的灰度合適，一般情況下，相應(yīng)的數(shù)字參數(shù)值為0-20左右;

　　4、加燈絲：順時(shí)針慢慢旋轉(zhuǎn)燈絲加熱旋鈕，直至發(fā)射束流飽和，燈絲加熱旋鈕指示正常在6-7之間，調(diào)節(jié)偏壓束流為100uA左右;

　　5、機(jī)械對(duì)中：掃描電鏡每次換燈絲后需旋轉(zhuǎn)鏡筒頭上的三個(gè)螺釘，使圖像顯示到Z清楚的點(diǎn);

　　6、物鏡光闌對(duì)中(合軸)：①選區(qū)，并挑選圖像上的一個(gè)特征點(diǎn);②選擇放大倍數(shù)1000-2000范圍;③反復(fù)調(diào)節(jié)粗調(diào)，使圖像聚焦至不聚焦往反進(jìn)行，觀察圖像的移動(dòng);④調(diào)節(jié)物鏡光闌的兩個(gè)螺鈕，使圖像不發(fā)生位移或圖像移動(dòng)Z小為止;

　　7、像散消除：選擇“選區(qū)”位置，從放大倍數(shù)1000倍開始消像散，增加到欲觀察的放大倍數(shù)下再次消像散直至圖像沒有拉長現(xiàn)象;

　　8、拍照、保存。

　　三、系統(tǒng)停機(jī)

　　1、關(guān)閉掃描電鏡加熱燈絲：逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)燈絲加熱旋鈕到底，旋鈕標(biāo)記指示在“ON”的位置，束流顯示的束流為0UA;

　　2、將對(duì)比度降至Zdi，使其數(shù)字參數(shù)值為0，關(guān)閉高壓，使其數(shù)字參數(shù)值為0;

　　3、關(guān)閉V1閥：用左手將V1閥閥桿下面的彈片沿上按在閥桿上，用手掌徑向水平推V1閥，當(dāng)V1閥完全推到底后，再用力推一下V1閥的閥桿，確保V1閥完全關(guān)閉;

　　4、關(guān)閉掃描電鏡主機(jī)面板上的電氣柜開關(guān)，打開準(zhǔn)備開關(guān)，將主機(jī)后的開關(guān)自動(dòng)/手動(dòng)(AUTO)/(MAN)打到手動(dòng)(MAN)的位置，冷卻電爐30分鐘。

　　5、關(guān)閉系統(tǒng)軟件→關(guān)電氣柜開關(guān)→關(guān)總電源→關(guān)水。

掃描電鏡注意事項(xiàng)

　　1、進(jìn)入工作室嚴(yán)禁大聲喧嘩;

　　2、在真空度沒有達(dá)到要求之前，鏡筒隔離閥V1決不能打開;

　　3、在擴(kuò)散泵開始加熱二十分鐘期間，主閥V5決不能打開;

　　4、真空控制方式從手動(dòng)轉(zhuǎn)自動(dòng)時(shí)，要特別注意每個(gè)手動(dòng)閥門是否為關(guān)閉狀態(tài);

　　5、在沒有進(jìn)入高真空之前，決不能接通探測(cè)器高壓，電子槍及燈絲加熱電源;

　　6、不要在關(guān)控制臺(tái)電源的同時(shí)，立刻放氣到樣品室和電子槍，以免引起電子槍探測(cè)器上殘余高壓放電，損壞燈絲及閃爍體;

　　7、不要在掃描電鏡通電情況下，進(jìn)行印刷板及導(dǎo)線插頭的插接;

　　8、如果鏡筒部分沒有放氣，不要拔掉物鏡光闌桿;

　　9、在樣品室放氣的情況下，不要手動(dòng)打開主閥和V1閥;

　　10、長時(shí)間不使用掃描電鏡時(shí)，每周至少保持抽真空兩次，保持機(jī)器內(nèi)真空度良好;

　　11、觀察機(jī)械泵的油不少于2/3;

　　12、停水的時(shí)候，機(jī)器會(huì)出現(xiàn)報(bào)警，此時(shí)將主機(jī)后面板打開，接一盆涼水，用濕布給電爐手動(dòng)降溫，直至電爐不再熱為止(30分鐘左右)Z后再關(guān)閉電氣柜開關(guān)和總電源。