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電子半導體材料檢測：飛納臺式掃描電鏡在電子半導體的應用方案
本文由 復納科學儀器（上海）有限公司 整理匯編
2025-02-25 11:03 263閱讀次數(shù)
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要應對如此多樣的材料及復雜的工藝，需要耗費大量的精力和時間。飛納電鏡可滿足您多樣化的材料檢測要求及復雜的制程工藝管控，為您提供簡單·時效·精確的半導體檢測方案
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電子半導體材料檢測：飛納臺式掃描電鏡在電子半導體的應用方案 要應對如此多樣的材料及復雜的工藝，需要耗費大量的精力和時間。飛納電鏡可滿足您多樣化的材料檢測要求及復雜的制程工藝管控，為您提供簡單·時效·精確的半導體檢測方案[詳細]
2025-02-25 11:03
應用文章
飛納臺式掃描電鏡在半導體行業(yè)中的應用 飛納臺式掃描電鏡在半導體行業(yè)中的應用隨著近幾年半導體產(chǎn)業(yè)井噴式的增長，關鍵技術中掃描電鏡的使用也受到的重視，如今臺式電鏡的操作和維護越來越簡便，對國內(nèi)半導體廠商來說無疑增加了研發(fā)和生產(chǎn)的利器，目前臺式掃描電鏡在半導體行業(yè)中主要是用來做形貌觀測，更重要的是做元素分析等。飛納臺式掃描電鏡擁有方便的操作，較好的維護，而且能結合能譜進行快速的元素分析，可以明顯提高企業(yè)效率，是半導體行業(yè)的**選擇。現(xiàn)在臺灣的臺積電，臺聯(lián)電紛紛登陸ZG，在武漢設廠，但是成品率，產(chǎn)值，效益都還很有待提高。大陸越來越有作為半導體代工工廠的能力了，如何扎實做好半導體工藝，提高半導體集成電路設計水平，是半導體/微電子行業(yè)未來的工作。半導體行業(yè)的市場現(xiàn)狀在日本，有人把半導體比喻為工業(yè)社會的稻米，是近代社會一日不可或缺的。在國防上，惟有扎實的電子工業(yè)基礎，才有強大的國防能力，1991年的波斯灣戰(zhàn)爭中，美國已經(jīng)把新一代電子武器發(fā)揮得淋漓盡致。自1970年后，美國與日本間發(fā)生多次貿(mào)易摩擦，Z后在許多項目中美國都妥協(xié)了，但是為了半導體，雙方均不肯輕易讓步，Z后兩國政府慎重其事地簽訂了協(xié)議，足證對此事的重視程度，這是因為半導體工業(yè)發(fā)展的成敗，關系著國家的命脈，不可不慎。而在臺灣，半導體工業(yè)是新竹科學園區(qū)的主要支柱，半導體公司也是Z賺錢的企業(yè)，臺灣如果要成為明日的科技硅島，半導體工業(yè)是必經(jīng)的途徑。經(jīng)過幾十年的調(diào)整，在國內(nèi)半導體行業(yè)景氣度也持續(xù)好轉(zhuǎn)。2016年，超過六成上市公司業(yè)績預增。其中，全志科技2015年年報顯示，實現(xiàn)營業(yè)利潤10883.00萬元，比上年同期增長11.02%；歸屬于母公司凈利潤12,797.54萬元，比上年同期增長15.99%。此外，中穎電子發(fā)布的一季報業(yè)績預告顯示，預計2016年13月份歸屬于上市公司股東的凈利潤為1300萬至1500萬元，同比增長84.14%至112.46%。其中，半導體及元件行業(yè)平均凈利潤增長率為14.38%。公司表示，報告期內(nèi)，因客戶需求同比增加，銷售同比呈現(xiàn)增長，且因去年同期的盈利基期相對較低，盈利同比則大幅增長。飛納臺式掃描電鏡在半導體存儲芯片中的應用1、光學導航下的半導體樣品，可以清楚的定位到某一個區(qū)域，飛納電鏡du家的光學導航，具有內(nèi)置彩色光學顯微鏡，不僅能實現(xiàn)快速定位到樣品感興趣位置，還能對樣品在光學下進行拍照，與電鏡下圖片進行對比：[詳細]
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊
COXEM臺式掃描電鏡在材料學中的應用-電子半導體 COXEM臺式掃描電鏡在材料學中的應用-電子半導體[詳細]
2024-09-27 23:50
期刊論文
TOC在電子，半導體和電子行業(yè)的應用 TOC在電子，半導體和電子行業(yè)的應用[詳細]
2024-09-18 18:06
產(chǎn)品樣冊
電子半導體行業(yè)0.1微米顆粒檢測方案 普洛帝測控 電子半導體行業(yè)0.1微米顆粒檢測方案[詳細]
2024-09-17 03:38
應用文章
飛納臺式掃描電鏡在考古行業(yè)的應用 飛納電鏡在考古行業(yè)的應用光學顯微鏡在很久以前就進入文物研究領域，主要作用是分析鑒定文物顏色，形狀，大小測量，紙張等。近年來隨著國家對古文物保護研究工作的深入和重視，也隨著考古行業(yè)精度的要求越來越高，掃描電鏡也加入文物考古的行業(yè)，特別是對陶器，瓷器，金屬木材，古文書籍的鑒定，掃描電鏡做出了很大的貢獻。傳統(tǒng)意義上的掃描電鏡是只能在室內(nèi)規(guī)定的環(huán)境中工作的，關于樣品采集之后需要帶回實驗室才可以完成測試，臺式電鏡相對于傳統(tǒng)掃描電鏡在考古行業(yè)優(yōu)勢比較明顯。以飛納臺式掃描電鏡為例，飛納臺式電鏡比較獨特的優(yōu)點是他完全防震，實驗者可以直接搬至現(xiàn)場使用，這一點GX的解決了研究者不能隨時用掃描電鏡測試的難題！圖1.考古室外環(huán)境飛納臺式電鏡很巧妙將光鏡集成在電鏡主機內(nèi)部，這一點很好的解決了由于光學顯微鏡和電子顯微鏡不同成像而導致測試位置的偏差以及結果的準確性。電鏡內(nèi)部集成光鏡的主要優(yōu)勢，以顏料類樣品舉例（圖2），我們可以清晰看到黃色框內(nèi)彩色光鏡下的樣品形貌以及位置，清晰的看到不同顏料的顏色，以便于在電子模式下進行形貌和成分分析（如朱砂和氧化鐵同時紅色顏料，通過光鏡可以看到他們不用程度的紅，然后在進行能譜分析就可以區(qū)分他們）。對于研究古代畫圈染料，以及后期的修復都有很大的幫助，同樣也可用于古代彩陶等陶器的研究。圖2.顏料類樣品圖飛納電鏡是低真空為主的真空設計：對于不導電樣品可以直接觀測，這對于古代絲綢，紡織等領域的研究，直接觀測無需鍍金，保持樣品Z原始的形貌以及減少對原樣品的損害，如圖3所示為絲綢樣品直接測試結果。圖3.絲綢樣品直接測試結果[詳細]
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊
飛納臺式掃描電鏡在鋰電行業(yè)的應用 飛納臺式掃描電鏡在鋰電行業(yè)的應用隨著近幾年掃描電鏡臺式化，桌面化，電鏡的操作維護也越來越簡便，材料研發(fā)及品質(zhì)控制方面，掃描電鏡的使用率越來越高。鋰電材料供應廠家在材料出廠后，材料各項指標如何，可以通過掃描電鏡等儀器檢測，是否在合理的波動范圍內(nèi)，應當有清晰的報告，并詳細地告知電池廠。電池廠可配備掃描電鏡、激光粒度分析儀等齊全的檢測設備，建立材料分析數(shù)據(jù)庫，形成自己的評價體系，從而有足夠能力選擇及鑒別適合電池生產(chǎn)的材料。如此，雙方都能在鋰電材料上把好關，創(chuàng)造出**的經(jīng)濟效益。鋰離子電池的四大關鍵材料為正極材料、負極材料、電解液以及隔膜：鋰電正極材料三元材料（測試電鏡型號：飛納電鏡能譜一體機PhenomProX）鈷酸鋰電池的正極材料是鈷酸鋰LiCoO2，三元材料則是鎳鈷錳酸鋰Li(NiCoMn)O2，三元復合正極材料前驅(qū)體產(chǎn)品，是以鎳鹽、鈷鹽、錳鹽為原料，里面鎳鈷錳的比例可以根據(jù)實際需要調(diào)整，三元材料做正極的電池相對于鈷酸鋰電池安全性高。鎳鈷錳氫氧化物未噴金（10000倍）[詳細]
2024-09-29 06:08
產(chǎn)品樣冊
XOS-TAs 在電子半導體排放廢水監(jiān)測中的應用 背景介紹：電子半導體行業(yè)近幾年發(fā)展特別快，隨之而來的是生產(chǎn)過程中產(chǎn)生了大量的有毒有害廢水，包括酸堿廢水、含氟廢水、金屬廢水、有機廢水、氰化物廢水等，這些廢水必須經(jīng)過處理達標后才能排放。目前，電子半導體行業(yè)沒有針對性的污染物排放標準發(fā)布，其執(zhí)行的標準仍為《污染物綜合排放標準》，但是，電子半導體企業(yè)對廢水排放有嚴格的內(nèi)控指標。電子半導體企業(yè)除了監(jiān)控COD、氨氮等常規(guī)指標外，也非常重視砷、鉛等一類重金屬污染物的排放量。廈門某電子公司于2015年采購了一臺XOS總砷分析儀，用于排口廢水總砷監(jiān)測，測試數(shù)據(jù)通過MODBUS通訊(儀表自帶RS485接口)傳輸至PLC，實時上傳至當?shù)丨h(huán)保局。儀表從企業(yè)正常生產(chǎn)后開始運行，連續(xù)運行兩個多月無需維護，測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定，用戶反饋較好。更多關于該案例的詳情，以及XOS總砷分析儀的，請您下載后查看。[詳細]
2018-08-26 10:00
產(chǎn)品樣冊
XOS-TAs在電子半導體排放廢水監(jiān)測中的應用 XOS-TAs在電子半導體排放廢水監(jiān)測中的應用[詳細]
2024-09-26 03:34
應用文章
飛納臺式掃描電鏡在纖維樣品中的應用 隨著紡織行業(yè)的發(fā)展，紡織品的種類越來越多，例如玻纖、芳綸、海藻、水刺、機器織物等等，精細化程度越來越高，對功能的需求也越來越多樣化，因此，對成品紡織品的檢測要求也越來越高，需要看到更細致的微觀結構，普通的光學顯微鏡不能滿足精細化要求，必須要通過掃描電子顯微鏡來完成。通常的掃描電鏡拍不導電的紡織樣品都需要進行噴金處理后才能放到電鏡里觀測，飛納臺式掃描電鏡可以不用鍍金直接看，且分辨率極高，圖1是不噴金直接觀測的機織樣品；圖2是靜電紡絲樣品。圖1圖2[詳細]
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊
飛納臺式掃描電鏡在焊接領域中的應用 在焊接領域中，為了實現(xiàn)焊接工藝優(yōu)化、焊件質(zhì)量把控等工作，通常會使用掃描電鏡（SEM）
介入研發(fā)。焊接工藝參數(shù)如功率、起弧時間、工作距離、送絲速度、保護氣流速等參數(shù)的變
化會直接對焊件質(zhì)量產(chǎn)生影響，因此，使用掃描電鏡（SEM）對樣品進行實時觀察，對焊接
工藝參數(shù)的及時調(diào)整和工藝改進過程將大有幫助。通常，掃描電鏡（SEM）可以幫助焊接領
域研究人員實現(xiàn)以下功能。 [詳細]
2020-06-29 15:02
應用文章
飛納臺式掃描電鏡在鋰電池隔膜行業(yè)應用 鋰電池的結構中（鋰電池組成結構示意圖見下圖1），隔膜是關鍵的內(nèi)層組件之一。隔膜的性能決定了電池的界面結構、內(nèi)阻等，直接影響電池的容量、循環(huán)以及安全等特性，性能優(yōu)異的隔膜對提高電池的綜合性能具有重要的作用。而隔膜性能的評測需要借助到掃描電鏡來進行檢測。尤其對于鋰電池系列，由于電解液為有機溶劑體系，因而還需要使用耐有機溶劑的隔膜材料，目前一般采用的是高強度薄膜化的聚烯烴多孔膜。圖1.鋰電池組成結構示意圖為保證低的電阻和高的離子電導率，對鋰離子有很好的透過性，必須保證隔膜有一定的孔徑和孔隙率，為了檢驗隔膜的這種能力，就需要用到掃描電鏡來進行微觀觀測，確保隔膜的孔徑大小尺寸范圍以及孔徑是否均一，膜上是否有劃痕、凹坑等缺陷。為此，飛納臺式掃描電鏡對電池隔膜進行了觀測，以下圖片是部分結果展示：圖2左右兩圖是用飛納臺式掃描電鏡在低倍下拍攝的，可以看到膜上有一些凹坑缺陷，還有一些拉伸不均勻的地方。圖2飛納臺式掃描電鏡低倍下隔膜檢測結果圖左：500倍結果圖右：1000倍結果圖圖3左右兩圖也是用飛納臺式掃描電鏡對膜進行觀測的結果圖片，左圖是放大到15000倍以后的照片，膜表面有大量的孔徑，右圖是對其中一個孔洞進行測量，尺寸為58.3nm；膜的孔徑大小都是在10-100nm之間，比較均勻，但是部分地方?jīng)]有拉伸開，會對性能有影響。[詳細]
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊
淺談飛納電鏡能譜一體機在半導體封裝引線鍵合工藝中的應用 淺談飛納電鏡能譜一體機在半導體封裝引線鍵合工藝中的應用隨著移動電子產(chǎn)品越來越精細，芯片封裝要求也越來越高，這也迫使工廠在做檢測時需要用放大倍數(shù)更大，景深更好的設備來控制生產(chǎn)中的工藝，傳統(tǒng)光鏡的放大倍數(shù)已經(jīng)無法滿足當前半導體封裝尺寸越來越小的要求。飛納臺式掃描電鏡以高亮度，高分辨率，高放大倍數(shù)的“三高”特點成為半導體封裝行業(yè)的得力助手。引線鍵合工藝簡介引線鍵合（WireBonding）是一種使用細金屬線，利用熱、壓力、超聲波能量使金屬引線與基板焊盤緊密焊合，實現(xiàn)芯片與基板間電氣互連和芯片間信息互通的一種工藝。在理想控制條件下，引線和基板間會發(fā)生電子共享或原子的相互擴散，從而使兩種金屬間實現(xiàn)原子量級上的鍵合。通常使用的細金屬線為高純度的金線（Au）、銅線（Cu）或鋁線（Al）。更通俗的講就是將Pad和引線通過焊接的方法連接起來。Pad是芯片上電路的外接點。封裝工藝中，引線焊接也被認為是Z關鍵的工藝，焊接的好壞也決定了芯片導通的情況，通常焊接完畢后需要做例如金線推拉力、金線弧高、金球厚度、彈坑測試和IMC測試等等，其中金線焊接點的觀察和表面臟污觀察在改善制程控制品質(zhì)方面尤其重要。這就催生出需要放大倍率足夠大，景深足夠好且能夠定性測量元素的儀器電鏡能譜一體機圖1.FOL-WireBonding引線焊接流程圖飛納電鏡能譜一體機在WiredBonding工藝中的應用飛納電鏡能譜一體機Zda可以放大130,000倍，分辨率可以達到10nm以下，以及具有光學顯微鏡無法比擬的超高景深以及配套的能譜，能譜可以進行元素定性半定量。飛納電鏡能譜一體機在半導體封裝引線鍵合工藝中的主要應用為：可以觀察金線焊接情況，并可以通過能譜面掃或者區(qū)域掃來確認焊接區(qū)域或者其他區(qū)域是否有其他雜質(zhì)，從而達到引線鍵合工藝和其他前段工藝的制程管控目的。同時飛納電鏡能譜一體機對工作環(huán)境無特殊要求，使用的簡便和六硼化鈰燈絲的穩(wěn)定性，也滿足了工廠GX率的要求?？偨Y，飛納電鏡能譜一體機是半導體封裝工廠引線鍵合工藝品質(zhì)量管控和制程改善非常GX率的參考工具之一。圖2Phenom看金線形貌圖3Phenom看魚尾紋形貌[詳細]
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊
飛納臺式掃描電鏡進入微生物學研究 生物膜（biofilm）也稱為生物被膜，是指附著于有生命或無生命物體表面被細菌胞外大分子包裹的有組織的細菌群體。由于生物膜在環(huán)境中隨處可見，對抗生素抗性很強，因此，生物膜形成機理及調(diào)控吸引了很多研究人員的注意。我們使用土壤細菌，熒光假單胞菌作為模式生物，研究如何控制這種細菌生物膜的形成。ShiroYoshioka說：“PhenomProX和ParticleMetric軟件結合使用，有效地統(tǒng)計出生物膜中的桿形細菌的尺寸信息”轉(zhuǎn)座子突變通常用于標識所需的生物膜形成的基因。將轉(zhuǎn)座子插入到參與生物膜的形成的基因中，該突變體可以顯示基于這種基因，生物膜形成增加或減少情況。通過這種技術，我們找到了負責合成細菌第二信使的一種基因。相對于與野生型菌株，c-di-GMP的損失引起了生物膜形成的減少。在本次研究中，我們也發(fā)現(xiàn)，破壞denovo嘌呤核苷酸生物合成的一個基因也可以引起生物膜形成的減少。因為這種基因?qū)τ谏锖铣赏緩缴系闹匾栽诙喾N細菌上被報導，我們研究了這些突變體，弄清了這種生物合成途徑與熒光假單胞菌生物膜形成之間的關系。[詳細]
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊
飛納臺式掃描電鏡鋰離子電池行業(yè)解決方案 飛納臺式掃描電鏡在鋰離子電池領域的Zxin應用結合手套箱飛納電鏡手套箱版：市面上**一臺可以放置在手套箱內(nèi)進行工作的掃描電鏡。鋰電池材料在檢測過程中，為了防止空氣與鋰電池材料的相互反應，往往需要在惰性氣體環(huán)境下進行工作。氬（Ar）氣手套箱是Z常用的隔絕空氣設備。飛納電鏡開創(chuàng)了掃描電鏡在氬（Ar）手套箱內(nèi)進行正常工作的先例。掃描電鏡如何實現(xiàn)在氬（Ar）手套箱內(nèi)進行正常工作？飛納電鏡自身的天然優(yōu)勢是基礎：1.集成化程度高：占用空間小，主機尺寸僅為286(w)x566(d)x495(h)，可放置在手套箱內(nèi)；2.結構精簡：除主機系統(tǒng)外，只需要配置一個外置隔膜泵，而隔膜泵管道可以通過feedthrough連接到手套箱外部；3.系統(tǒng)安全性好：飛納電鏡采用Linux系統(tǒng)，無需擔心系統(tǒng)遭到病毒破壞時，需將電鏡取出修理；4.系統(tǒng)的防震性能：飛納電鏡工作時，全部電子光學元件連同樣品杯是固定在一起的，外界的震動不會引起圖像成像的模糊，完全可以放置在手套箱這種不是特別穩(wěn)定的工作環(huán)境下；5.上提式艙門進樣：相比于傳統(tǒng)正面推拉式進樣，或者側窗快速進樣口推拉式進樣，飛納電鏡在進樣時艙門是上提式打開的，這樣不但節(jié)省了大量空間，用戶還可以清楚看到裝樣的過程，飛納電鏡艙門設有保護裝置，可以避免誤操作；6.燈絲壽命長：用戶可以連續(xù)使用數(shù)年而不需要更換燈絲，也就不需要將電鏡從手套箱內(nèi)取出；除了飛納電鏡自身的天然優(yōu)勢，飛納電鏡研發(fā)團隊克服了在氬氣環(huán)境下，高壓部件火花放電的問題。掃描電鏡在工作過程中，高壓發(fā)生裝置往往會產(chǎn)生數(shù)十千伏的高壓，而氬氣相比空氣，更容易被電離，引起高壓擊穿，輕則影響高壓的產(chǎn)生，重則損壞儀器元件。飛納電鏡氬（Ar）氣體手套箱版成功地將所有高壓發(fā)生元件束縛在耐高壓樹脂保護環(huán)境下，成功避免了氬（Ar）氣體環(huán)境下高壓不穩(wěn)定的問題。[詳細]
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊
在線微納米液體顆粒檢測傳感器的電子半導體行業(yè)的應用 在線微納米液體顆粒檢測傳感器可以對對清洗劑、半導體、超純水、電子產(chǎn)品、手機玻璃、平板玻璃、硅晶片、經(jīng)濟型濾油設施，各類液壓試驗臺，海洋鉆采平臺監(jiān)測，液壓機床運行監(jiān)測，過濾濾芯檢測試驗臺、半導體顆粒監(jiān)控、藥業(yè)高純水顆粒檢測等領域進行固體顆粒污染度檢測，及對有機液體、聚合物溶液進行不溶性微粒的檢測。目前是英國普洛帝分析測試集團向微納米結合檢測的重要產(chǎn)品。[詳細]
2024-09-16 01:39
應用文章
短波紅外相機在半導體行業(yè)的應用 短波紅外相機可以靠紅外線成像。這點是普通相機不能做到的。短波紅外的成像原理與可見光十分相似，不同的是短波紅外的波長可以“繞過”煙、霧、霾中的細小顆粒；相比中波紅外、長波紅外，短波紅外擁有更好的細節(jié)分辨和解析能力，能夠很好的識別出該目標是。這就使得短波紅外在霧霾、煙霧濃重的情況下，仍可對物體清晰成像。
現(xiàn)代潛艇的光電桅桿需要多光譜的成像與檢測。例如，可見光成像通常無法透過霧霾、塵、煙觀察目標，然而短波紅外卻很容易實現(xiàn)。這種情況下，短波紅外相機有著更好的成像效果。
短波紅外與中長波紅外的一項重要差異是，它利用反射光成像，而不是輻射熱成像。中長波相機無法看到海上目標的重要特征，比如說艦船的名字、船的特征等，短波紅外相機可以在此提供輔助
純凈的硅錠在室溫下是透明的，而摻雜型的硅錠在室溫下是不透明的，并且隨著溫度的升高，不透明度也隨之升高；
短波紅外相機的感光范圍是900-1700nm，而1200nm以上的光可以輕易的穿透摻雜型硅錠，這使得利用短波紅外在半導體材料的品質(zhì)檢測、硅錠和晶片成品的缺點或裂紋檢測以及晶元切割過程中的激光對準等方向上大有所為。
[詳細]
2024-09-12 16:00
應用文章
特氟龍在半導體行業(yè)的主要應用 特氟龍在半導體行業(yè)的主要應用[詳細]
2024-09-16 07:42
安裝說明
飛納臺式掃描電鏡高分辨率專業(yè)版Phenom Pro 飛納臺式掃描電鏡系列品質(zhì)zhuo越，設計精巧，操作方便。其中專業(yè)版 Phenom Pro 是一款高端臺式掃描電鏡，成像功能強大，應用領 域廣泛。專業(yè)版 Phenom Pro 是飛納電鏡系列中高端的優(yōu)質(zhì)成像系統(tǒng)，結合豐富的樣品杯選件和拓展的全自動軟件，Phenom Pro 可 以適用于廣泛的研究領域。[詳細]
2019-09-02 11:46
產(chǎn)品樣冊
飛納（Phenom）臺式掃描電鏡微型工具樣品杯 Phenom是目前**能夠在不進行切割的條件下，對軸狀工具進行裝載并觀測的電子顯微鏡，免去了復雜耗時的制樣過程。如鉆頭、端銑刀、刨刀、鉆桿、刻刀等。這些精密工具的直徑在亞毫米量級，要求極高的加工精度，其應用領域廣泛，包含電子、YL、自動化、半導體及光學工業(yè)等。如何進行高精度、可重復的質(zhì)量控制，是生產(chǎn)可靠產(chǎn)品的關鍵因素。[詳細]
2024-09-28 14:06
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