本文由 復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司 整理匯編

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• 飛納臺式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

  飛納臺式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用隨著近幾年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)井噴式的增長，關(guān)鍵技術(shù)中掃描電鏡的使用也受到的重視，如今臺式電鏡的操作和維護(hù)越來越簡便，對國內(nèi)半導(dǎo)體廠商來說無疑增加了研發(fā)和生產(chǎn)的利器，目前臺式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中主要是用來做形貌觀測，更重要的是做元素分析等。飛納臺式掃描電鏡擁有方便的操作，較好的維護(hù)，而且能結(jié)合能譜進(jìn)行快速的元素分析，可以明顯提高企業(yè)效率，是半導(dǎo)體行業(yè)的**選擇?，F(xiàn)在臺灣的臺積電，臺聯(lián)電紛紛登陸ZG，在武漢設(shè)廠，但是成品率，產(chǎn)值，效益都還很有待提高。大陸越來越有作為半導(dǎo)體代工工廠的能力了，如何扎實做好半導(dǎo)體工藝，提高半導(dǎo)體集成電路設(shè)計水平，是半導(dǎo)體/微電子行業(yè)未來的工作。半導(dǎo)體行業(yè)的市場現(xiàn)狀在日本，有人把半導(dǎo)體比喻為工業(yè)社會的稻米，是近代社會一日不可或缺的。在國防上，惟有扎實的電子工業(yè)基礎(chǔ)，才有強(qiáng)大的國防能力，1991年的波斯灣戰(zhàn)爭中，美國已經(jīng)把新一代電子武器發(fā)揮得淋漓盡致。自1970年后，美國與日本間發(fā)生多次貿(mào)易摩擦，Z后在許多項目中美國都妥協(xié)了，但是為了半導(dǎo)體，雙方均不肯輕易讓步，Z后兩國政府慎重其事地簽訂了協(xié)議，足證對此事的重視程度，這是因為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展的成敗，關(guān)系著國家的命脈，不可不慎。而在臺灣，半導(dǎo)體工業(yè)是新竹科學(xué)園區(qū)的主要支柱，半導(dǎo)體公司也是Z賺錢的企業(yè)，臺灣如果要成為明日的科技硅島，半導(dǎo)體工業(yè)是必經(jīng)的途徑。經(jīng)過幾十年的調(diào)整，在國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)景氣度也持續(xù)好轉(zhuǎn)。2016年，超過六成上市公司業(yè)績預(yù)增。其中，全志科技2015年年報顯示，實現(xiàn)營業(yè)利潤10883.00萬元，比上年同期增長11.02%；歸屬于母公司凈利潤12,797.54萬元，比上年同期增長15.99%。此外，中穎電子發(fā)布的一季報業(yè)績預(yù)告顯示，預(yù)計2016年13月份歸屬于上市公司股東的凈利潤為1300萬至1500萬元，同比增長84.14%至112.46%。其中，半導(dǎo)體及元件行業(yè)平均凈利潤增長率為14.38%。公司表示，報告期內(nèi)，因客戶需求同比增加，銷售同比呈現(xiàn)增長，且因去年同期的盈利基期相對較低，盈利同比則大幅增長。飛納臺式掃描電鏡在半導(dǎo)體存儲芯片中的應(yīng)用1、光學(xué)導(dǎo)航下的半導(dǎo)體樣品，可以清楚的定位到某一個區(qū)域，飛納電鏡du家的光學(xué)導(dǎo)航，具有內(nèi)置彩色光學(xué)顯微鏡，不僅能實現(xiàn)快速定位到樣品感興趣位置，還能對樣品在光學(xué)下進(jìn)行拍照，與電鏡下圖片進(jìn)行對比：[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納臺式掃描電鏡在考古行業(yè)的應(yīng)用

  飛納電鏡在考古行業(yè)的應(yīng)用光學(xué)顯微鏡在很久以前就進(jìn)入文物研究領(lǐng)域，主要作用是分析鑒定文物顏色，形狀，大小測量，紙張等。近年來隨著國家對古文物保護(hù)研究工作的深入和重視，也隨著考古行業(yè)精度的要求越來越高，掃描電鏡也加入文物考古的行業(yè)，特別是對陶器，瓷器，金屬木材，古文書籍的鑒定，掃描電鏡做出了很大的貢獻(xiàn)。傳統(tǒng)意義上的掃描電鏡是只能在室內(nèi)規(guī)定的環(huán)境中工作的，關(guān)于樣品采集之后需要帶回實驗室才可以完成測試，臺式電鏡相對于傳統(tǒng)掃描電鏡在考古行業(yè)優(yōu)勢比較明顯。以飛納臺式掃描電鏡為例，飛納臺式電鏡比較獨特的優(yōu)點是他完全防震，實驗者可以直接搬至現(xiàn)場使用，這一點GX的解決了研究者不能隨時用掃描電鏡測試的難題！圖1.考古室外環(huán)境飛納臺式電鏡很巧妙將光鏡集成在電鏡主機(jī)內(nèi)部，這一點很好的解決了由于光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡不同成像而導(dǎo)致測試位置的偏差以及結(jié)果的準(zhǔn)確性。電鏡內(nèi)部集成光鏡的主要優(yōu)勢，以顏料類樣品舉例（圖2），我們可以清晰看到黃色框內(nèi)彩色光鏡下的樣品形貌以及位置，清晰的看到不同顏料的顏色，以便于在電子模式下進(jìn)行形貌和成分分析（如朱砂和氧化鐵同時紅色顏料，通過光鏡可以看到他們不用程度的紅，然后在進(jìn)行能譜分析就可以區(qū)分他們）。對于研究古代畫圈染料，以及后期的修復(fù)都有很大的幫助，同樣也可用于古代彩陶等陶器的研究。圖2.顏料類樣品圖飛納電鏡是低真空為主的真空設(shè)計：對于不導(dǎo)電樣品可以直接觀測，這對于古代絲綢，紡織等領(lǐng)域的研究，直接觀測無需鍍金，保持樣品Z原始的形貌以及減少對原樣品的損害，如圖3所示為絲綢樣品直接測試結(jié)果。圖3.絲綢樣品直接測試結(jié)果[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納臺式掃描電鏡在鋰電行業(yè)的應(yīng)用

  飛納臺式掃描電鏡在鋰電行業(yè)的應(yīng)用隨著近幾年掃描電鏡臺式化，桌面化，電鏡的操作維護(hù)也越來越簡便，材料研發(fā)及品質(zhì)控制方面，掃描電鏡的使用率越來越高。鋰電材料供應(yīng)廠家在材料出廠后，材料各項指標(biāo)如何，可以通過掃描電鏡等儀器檢測，是否在合理的波動范圍內(nèi)，應(yīng)當(dāng)有清晰的報告，并詳細(xì)地告知電池廠。電池廠可配備掃描電鏡、激光粒度分析儀等齊全的檢測設(shè)備，建立材料分析數(shù)據(jù)庫，形成自己的評價體系，從而有足夠能力選擇及鑒別適合電池生產(chǎn)的材料。如此，雙方都能在鋰電材料上把好關(guān)，創(chuàng)造出**的經(jīng)濟(jì)效益。鋰離子電池的四大關(guān)鍵材料為正極材料、負(fù)極材料、電解液以及隔膜：鋰電正極材料三元材料（測試電鏡型號：飛納電鏡能譜一體機(jī)PhenomProX）鈷酸鋰電池的正極材料是鈷酸鋰LiCoO2，三元材料則是鎳鈷錳酸鋰Li(NiCoMn)O2，三元復(fù)合正極材料前驅(qū)體產(chǎn)品，是以鎳鹽、鈷鹽、錳鹽為原料，里面鎳鈷錳的比例可以根據(jù)實際需要調(diào)整，三元材料做正極的電池相對于鈷酸鋰電池安全性高。鎳鈷錳氫氧化物未噴金（10000倍）[詳細(xì)]

  2024-09-29 06:08

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• 電子半導(dǎo)體材料檢測：飛納臺式掃描電鏡在電子半導(dǎo)體的應(yīng)用方案

  要應(yīng)對如此多樣的材料及復(fù)雜的工藝，需要耗費大量的精力和時間。飛納電鏡可滿足您多樣化的材料檢測要求及復(fù)雜的制程工藝管控，為您提供簡單·時效·精確的半導(dǎo)體檢測方案[詳細(xì)]

  2025-02-25 11:03

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• 飛納臺式掃描電鏡在纖維樣品中的應(yīng)用

  隨著紡織行業(yè)的發(fā)展，紡織品的種類越來越多，例如玻纖、芳綸、海藻、水刺、機(jī)器織物等等，精細(xì)化程度越來越高，對功能的需求也越來越多樣化，因此，對成品紡織品的檢測要求也越來越高，需要看到更細(xì)致的微觀結(jié)構(gòu)，普通的光學(xué)顯微鏡不能滿足精細(xì)化要求，必須要通過掃描電子顯微鏡來完成。通常的掃描電鏡拍不導(dǎo)電的紡織樣品都需要進(jìn)行噴金處理后才能放到電鏡里觀測，飛納臺式掃描電鏡可以不用鍍金直接看，且分辨率極高，圖1是不噴金直接觀測的機(jī)織樣品；圖2是靜電紡絲樣品。圖1圖2[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納臺式掃描電鏡在焊接領(lǐng)域中的應(yīng)用

  在焊接領(lǐng)域中，為了實現(xiàn)焊接工藝優(yōu)化、焊件質(zhì)量把控等工作，通常會使用掃描電鏡（SEM） 介入研發(fā)。焊接工藝參數(shù)如功率、起弧時間、工作距離、送絲速度、保護(hù)氣流速等參數(shù)的變 化會直接對焊件質(zhì)量產(chǎn)生影響，因此，使用掃描電鏡（SEM）對樣品進(jìn)行實時觀察，對焊接 工藝參數(shù)的及時調(diào)整和工藝改進(jìn)過程將大有幫助。通常，掃描電鏡（SEM）可以幫助焊接領(lǐng) 域研究人員實現(xiàn)以下功能。 [詳細(xì)]

  2020-06-29 15:02

  應(yīng)用文章

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• 飛納臺式掃描電鏡在鋰電池隔膜行業(yè)應(yīng)用

  鋰電池的結(jié)構(gòu)中（鋰電池組成結(jié)構(gòu)示意圖見下圖1），隔膜是關(guān)鍵的內(nèi)層組件之一。隔膜的性能決定了電池的界面結(jié)構(gòu)、內(nèi)阻等，直接影響電池的容量、循環(huán)以及安全等特性，性能優(yōu)異的隔膜對提高電池的綜合性能具有重要的作用。而隔膜性能的評測需要借助到掃描電鏡來進(jìn)行檢測。尤其對于鋰電池系列，由于電解液為有機(jī)溶劑體系，因而還需要使用耐有機(jī)溶劑的隔膜材料，目前一般采用的是高強(qiáng)度薄膜化的聚烯烴多孔膜。圖1.鋰電池組成結(jié)構(gòu)示意圖為保證低的電阻和高的離子電導(dǎo)率，對鋰離子有很好的透過性，必須保證隔膜有一定的孔徑和孔隙率，為了檢驗隔膜的這種能力，就需要用到掃描電鏡來進(jìn)行微觀觀測，確保隔膜的孔徑大小尺寸范圍以及孔徑是否均一，膜上是否有劃痕、凹坑等缺陷。為此，飛納臺式掃描電鏡對電池隔膜進(jìn)行了觀測，以下圖片是部分結(jié)果展示：圖2左右兩圖是用飛納臺式掃描電鏡在低倍下拍攝的，可以看到膜上有一些凹坑缺陷，還有一些拉伸不均勻的地方。圖2飛納臺式掃描電鏡低倍下隔膜檢測結(jié)果圖左：500倍結(jié)果圖右：1000倍結(jié)果圖圖3左右兩圖也是用飛納臺式掃描電鏡對膜進(jìn)行觀測的結(jié)果圖片，左圖是放大到15000倍以后的照片，膜表面有大量的孔徑，右圖是對其中一個孔洞進(jìn)行測量，尺寸為58.3nm；膜的孔徑大小都是在10-100nm之間，比較均勻，但是部分地方?jīng)]有拉伸開，會對性能有影響。[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• COXEM臺式掃描電鏡在材料學(xué)中的應(yīng)用-電子半導(dǎo)體

  COXEM臺式掃描電鏡在材料學(xué)中的應(yīng)用-電子半導(dǎo)體[詳細(xì)]

  2024-09-27 23:50

  期刊論文

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• 飛納臺式掃描電鏡進(jìn)入微生物學(xué)研究

  生物膜（biofilm）也稱為生物被膜，是指附著于有生命或無生命物體表面被細(xì)菌胞外大分子包裹的有組織的細(xì)菌群體。由于生物膜在環(huán)境中隨處可見，對抗生素抗性很強(qiáng)，因此，生物膜形成機(jī)理及調(diào)控吸引了很多研究人員的注意。我們使用土壤細(xì)菌，熒光假單胞菌作為模式生物，研究如何控制這種細(xì)菌生物膜的形成。ShiroYoshioka說：“PhenomProX和ParticleMetric軟件結(jié)合使用，有效地統(tǒng)計出生物膜中的桿形細(xì)菌的尺寸信息”轉(zhuǎn)座子突變通常用于標(biāo)識所需的生物膜形成的基因。將轉(zhuǎn)座子插入到參與生物膜的形成的基因中，該突變體可以顯示基于這種基因，生物膜形成增加或減少情況。通過這種技術(shù)，我們找到了負(fù)責(zé)合成細(xì)菌第二信使的一種基因。相對于與野生型菌株，c-di-GMP的損失引起了生物膜形成的減少。在本次研究中，我們也發(fā)現(xiàn)，破壞denovo嘌呤核苷酸生物合成的一個基因也可以引起生物膜形成的減少。因為這種基因?qū)τ谏锖铣赏緩缴系闹匾栽诙喾N細(xì)菌上被報導(dǎo)，我們研究了這些突變體，弄清了這種生物合成途徑與熒光假單胞菌生物膜形成之間的關(guān)系。[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納臺式掃描電鏡鋰離子電池行業(yè)解決方案

  飛納臺式掃描電鏡在鋰離子電池領(lǐng)域的Zxin應(yīng)用結(jié)合手套箱飛納電鏡手套箱版：市面上**一臺可以放置在手套箱內(nèi)進(jìn)行工作的掃描電鏡。鋰電池材料在檢測過程中，為了防止空氣與鋰電池材料的相互反應(yīng)，往往需要在惰性氣體環(huán)境下進(jìn)行工作。氬（Ar）氣手套箱是Z常用的隔絕空氣設(shè)備。飛納電鏡開創(chuàng)了掃描電鏡在氬（Ar）手套箱內(nèi)進(jìn)行正常工作的先例。掃描電鏡如何實現(xiàn)在氬（Ar）手套箱內(nèi)進(jìn)行正常工作？飛納電鏡自身的天然優(yōu)勢是基礎(chǔ)：1.集成化程度高：占用空間小，主機(jī)尺寸僅為286(w)x566(d)x495(h)，可放置在手套箱內(nèi)；2.結(jié)構(gòu)精簡：除主機(jī)系統(tǒng)外，只需要配置一個外置隔膜泵，而隔膜泵管道可以通過feedthrough連接到手套箱外部；3.系統(tǒng)安全性好：飛納電鏡采用Linux系統(tǒng)，無需擔(dān)心系統(tǒng)遭到病毒破壞時，需將電鏡取出修理；4.系統(tǒng)的防震性能：飛納電鏡工作時，全部電子光學(xué)元件連同樣品杯是固定在一起的，外界的震動不會引起圖像成像的模糊，完全可以放置在手套箱這種不是特別穩(wěn)定的工作環(huán)境下；5.上提式艙門進(jìn)樣：相比于傳統(tǒng)正面推拉式進(jìn)樣，或者側(cè)窗快速進(jìn)樣口推拉式進(jìn)樣，飛納電鏡在進(jìn)樣時艙門是上提式打開的，這樣不但節(jié)省了大量空間，用戶還可以清楚看到裝樣的過程，飛納電鏡艙門設(shè)有保護(hù)裝置，可以避免誤操作；6.燈絲壽命長：用戶可以連續(xù)使用數(shù)年而不需要更換燈絲，也就不需要將電鏡從手套箱內(nèi)取出；除了飛納電鏡自身的天然優(yōu)勢，飛納電鏡研發(fā)團(tuán)隊克服了在氬氣環(huán)境下，高壓部件火花放電的問題。掃描電鏡在工作過程中，高壓發(fā)生裝置往往會產(chǎn)生數(shù)十千伏的高壓，而氬氣相比空氣，更容易被電離，引起高壓擊穿，輕則影響高壓的產(chǎn)生，重則損壞儀器元件。飛納電鏡氬（Ar）氣體手套箱版成功地將所有高壓發(fā)生元件束縛在耐高壓樹脂保護(hù)環(huán)境下，成功避免了氬（Ar）氣體環(huán)境下高壓不穩(wěn)定的問題。[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 掃描電鏡在3D打印行業(yè)中的應(yīng)用

  3D打印，即增材制造（AdditiveManufacturing，AM），指用于制作3D打印項目的過程。為了達(dá)到這個目的，在計算機(jī)控制下，逐層形成一個物體。這些物體幾乎可以是任何形狀，并使用3D模型或其他電子數(shù)據(jù)來源產(chǎn)生。但是，在計算機(jī)控制下逐層打印可能會出現(xiàn)結(jié)構(gòu)中斷，從而對打印物體的可靠性產(chǎn)生負(fù)面影響。這些不良的干擾不應(yīng)不被察覺；稍后會在這篇博客中討論一些問題。首先，讓我們一起探討3D打印。3D打?。?DP)即快速成型技術(shù)的一種，它是一種以數(shù)字模型文件為基礎(chǔ)，運用粉末狀金屬或塑料等可粘合材料，通過逐層打印的方式來構(gòu)造物體的技術(shù)。日常生活中使用的普通打印機(jī)可以打印電腦設(shè)計的平面物品，而所謂的3D打印機(jī)與普通打印機(jī)工作原理基本相同，只是打印材料有些不同，普通打印機(jī)的打印材料是墨水和紙張，而3D打印機(jī)內(nèi)裝有金屬、陶瓷、塑料、砂等不同的“打印材料”，是實實在在的原材料，打印機(jī)與電腦連接后，通過電腦控制可以把“打印材料”一層層疊加起來，Z終把計算機(jī)上的藍(lán)圖變成實物。圖1：SEM圖像中的微型兔（低倍下無缺陷顯示）圖2：在較高的放大倍數(shù)下微型像，顯示了表面結(jié)構(gòu)的缺陷[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納臺式掃描電鏡高分辨率專業(yè)版Phenom Pro

  飛納臺式掃描電鏡系列品質(zhì)zhuo越，設(shè)計精巧，操作方便。其中專業(yè)版 Phenom Pro 是一款高端臺式掃描電鏡，成像功能強(qiáng)大，應(yīng)用領(lǐng) 域廣泛。專業(yè)版 Phenom Pro 是飛納電鏡系列中高端的優(yōu)質(zhì)成像系統(tǒng)，結(jié)合豐富的樣品杯選件和拓展的全自動軟件，Phenom Pro 可 以適用于廣泛的研究領(lǐng)域。[詳細(xì)]

  2019-09-02 11:46

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• 飛納（Phenom）臺式掃描電鏡微型工具樣品杯

  Phenom是目前**能夠在不進(jìn)行切割的條件下，對軸狀工具進(jìn)行裝載并觀測的電子顯微鏡，免去了復(fù)雜耗時的制樣過程。如鉆頭、端銑刀、刨刀、鉆桿、刻刀等。這些精密工具的直徑在亞毫米量級，要求極高的加工精度，其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包含電子、YL、自動化、半導(dǎo)體及光學(xué)工業(yè)等。如何進(jìn)行高精度、可重復(fù)的質(zhì)量控制，是生產(chǎn)可靠產(chǎn)品的關(guān)鍵因素。[詳細(xì)]

  2024-09-28 14:06

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• 短波紅外相機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

  　短波紅外相機(jī)可以靠紅外線成像。這點是普通相機(jī)不能做到的。短波紅外的成像原理與可見光十分相似，不同的是短波紅外的波長可以“繞過”煙、霧、霾中的細(xì)小顆粒；相比中波紅外、長波紅外，短波紅外擁有更好的細(xì)節(jié)分辨和解析能力，能夠很好的識別出該目標(biāo)是。這就使得短波紅外在霧霾、煙霧濃重的情況下，仍可對物體清晰成像。 　　現(xiàn)代潛艇的光電桅桿需要多光譜的成像與檢測。例如，可見光成像通常無法透過霧霾、塵、煙觀察目標(biāo)，然而短波紅外卻很容易實現(xiàn)。這種情況下，短波紅外相機(jī)有著更好的成像效果。 　　短波紅外與中長波紅外的一項重要差異是，它利用反射光成像，而不是輻射熱成像。中長波相機(jī)無法看到海上目標(biāo)的重要特征，比如說艦船的名字、船的特征等，短波紅外相機(jī)可以在此提供輔助 　　純凈的硅錠在室溫下是透明的，而摻雜型的硅錠在室溫下是不透明的，并且隨著溫度的升高，不透明度也隨之升高； 短波紅外相機(jī)的感光范圍是900-1700nm，而1200nm以上的光可以輕易的穿透摻雜型硅錠，這使得利用短波紅外在半導(dǎo)體材料的品質(zhì)檢測、硅錠和晶片成品的缺點或裂紋檢測以及晶元切割過程中的激光對準(zhǔn)等方向上大有所為。 [詳細(xì)]

  2024-09-12 16:00

  應(yīng)用文章

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• 特氟龍在半導(dǎo)體行業(yè)的主要應(yīng)用

  特氟龍在半導(dǎo)體行業(yè)的主要應(yīng)用[詳細(xì)]

  2024-09-16 07:42

  安裝說明

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• 金相顯微鏡及掃描電鏡在鋁行業(yè)中的應(yīng)用

  金相顯微鏡及掃描電鏡在鋁行業(yè)中的應(yīng)用[詳細(xì)]

  2024-09-16 00:05

  報價單

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• 飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī)Phenom ProX

  飛納臺式掃描電鏡 (Desktop SEM) Phenom ProX 是的電鏡能譜一體機(jī)，集掃描電鏡成像與能譜元素分析為一體。使用 Phenom ProX 電鏡能譜一體機(jī)，既可以觀察樣品的形貌，同時又能進(jìn)行元素的定性和定量分析。除了元素的點分析，元素的線面 掃功能可以進(jìn)一步分析元素的分布情況。[詳細(xì)]

  2024-09-14 10:16

  產(chǎn)品樣冊

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• 淺談飛納電鏡能譜一體機(jī)在半導(dǎo)體封裝引線鍵合工藝中的應(yīng)用

  淺談飛納電鏡能譜一體機(jī)在半導(dǎo)體封裝引線鍵合工藝中的應(yīng)用隨著移動電子產(chǎn)品越來越精細(xì)，芯片封裝要求也越來越高，這也迫使工廠在做檢測時需要用放大倍數(shù)更大，景深更好的設(shè)備來控制生產(chǎn)中的工藝，傳統(tǒng)光鏡的放大倍數(shù)已經(jīng)無法滿足當(dāng)前半導(dǎo)體封裝尺寸越來越小的要求。飛納臺式掃描電鏡以高亮度，高分辨率，高放大倍數(shù)的“三高”特點成為半導(dǎo)體封裝行業(yè)的得力助手。引線鍵合工藝簡介引線鍵合（WireBonding）是一種使用細(xì)金屬線，利用熱、壓力、超聲波能量使金屬引線與基板焊盤緊密焊合，實現(xiàn)芯片與基板間電氣互連和芯片間信息互通的一種工藝。在理想控制條件下，引線和基板間會發(fā)生電子共享或原子的相互擴(kuò)散，從而使兩種金屬間實現(xiàn)原子量級上的鍵合。通常使用的細(xì)金屬線為高純度的金線（Au）、銅線（Cu）或鋁線（Al）。更通俗的講就是將Pad和引線通過焊接的方法連接起來。Pad是芯片上電路的外接點。封裝工藝中，引線焊接也被認(rèn)為是Z關(guān)鍵的工藝，焊接的好壞也決定了芯片導(dǎo)通的情況，通常焊接完畢后需要做例如金線推拉力、金線弧高、金球厚度、彈坑測試和IMC測試等等，其中金線焊接點的觀察和表面臟污觀察在改善制程控制品質(zhì)方面尤其重要。這就催生出需要放大倍率足夠大，景深足夠好且能夠定性測量元素的儀器電鏡能譜一體機(jī)圖1.FOL-WireBonding引線焊接流程圖飛納電鏡能譜一體機(jī)在WiredBonding工藝中的應(yīng)用飛納電鏡能譜一體機(jī)Zda可以放大130,000倍，分辨率可以達(dá)到10nm以下，以及具有光學(xué)顯微鏡無法比擬的超高景深以及配套的能譜，能譜可以進(jìn)行元素定性半定量。飛納電鏡能譜一體機(jī)在半導(dǎo)體封裝引線鍵合工藝中的主要應(yīng)用為：可以觀察金線焊接情況，并可以通過能譜面掃或者區(qū)域掃來確認(rèn)焊接區(qū)域或者其他區(qū)域是否有其他雜質(zhì)，從而達(dá)到引線鍵合工藝和其他前段工藝的制程管控目的。同時飛納電鏡能譜一體機(jī)對工作環(huán)境無特殊要求，使用的簡便和六硼化鈰燈絲的穩(wěn)定性，也滿足了工廠GX率的要求?？偨Y(jié)，飛納電鏡能譜一體機(jī)是半導(dǎo)體封裝工廠引線鍵合工藝品質(zhì)量管控和制程改善非常GX率的參考工具之一。圖2Phenom看金線形貌圖3Phenom看魚尾紋形貌[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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