本文由 復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司 整理匯編

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• 淺談飛納電鏡能譜一體機(jī)在半導(dǎo)體封裝引線鍵合工藝中的應(yīng)用

  淺談飛納電鏡能譜一體機(jī)在半導(dǎo)體封裝引線鍵合工藝中的應(yīng)用隨著移動(dòng)電子產(chǎn)品越來(lái)越精細(xì)，芯片封裝要求也越來(lái)越高，這也迫使工廠在做檢測(cè)時(shí)需要用放大倍數(shù)更大，景深更好的設(shè)備來(lái)控制生產(chǎn)中的工藝，傳統(tǒng)光鏡的放大倍數(shù)已經(jīng)無(wú)法滿足當(dāng)前半導(dǎo)體封裝尺寸越來(lái)越小的要求。飛納臺(tái)式掃描電鏡以高亮度，高分辨率，高放大倍數(shù)的“三高”特點(diǎn)成為半導(dǎo)體封裝行業(yè)的得力助手。引線鍵合工藝簡(jiǎn)介引線鍵合（WireBonding）是一種使用細(xì)金屬線，利用熱、壓力、超聲波能量使金屬引線與基板焊盤緊密焊合，實(shí)現(xiàn)芯片與基板間電氣互連和芯片間信息互通的一種工藝。在理想控制條件下，引線和基板間會(huì)發(fā)生電子共享或原子的相互擴(kuò)散，從而使兩種金屬間實(shí)現(xiàn)原子量級(jí)上的鍵合。通常使用的細(xì)金屬線為高純度的金線（Au）、銅線（Cu）或鋁線（Al）。更通俗的講就是將Pad和引線通過(guò)焊接的方法連接起來(lái)。Pad是芯片上電路的外接點(diǎn)。封裝工藝中，引線焊接也被認(rèn)為是Z關(guān)鍵的工藝，焊接的好壞也決定了芯片導(dǎo)通的情況，通常焊接完畢后需要做例如金線推拉力、金線弧高、金球厚度、彈坑測(cè)試和IMC測(cè)試等等，其中金線焊接點(diǎn)的觀察和表面臟污觀察在改善制程控制品質(zhì)方面尤其重要。這就催生出需要放大倍率足夠大，景深足夠好且能夠定性測(cè)量元素的儀器電鏡能譜一體機(jī)圖1.FOL-WireBonding引線焊接流程圖飛納電鏡能譜一體機(jī)在WiredBonding工藝中的應(yīng)用飛納電鏡能譜一體機(jī)Zda可以放大130,000倍，分辨率可以達(dá)到10nm以下，以及具有光學(xué)顯微鏡無(wú)法比擬的超高景深以及配套的能譜，能譜可以進(jìn)行元素定性半定量。飛納電鏡能譜一體機(jī)在半導(dǎo)體封裝引線鍵合工藝中的主要應(yīng)用為：可以觀察金線焊接情況，并可以通過(guò)能譜面掃或者區(qū)域掃來(lái)確認(rèn)焊接區(qū)域或者其他區(qū)域是否有其他雜質(zhì)，從而達(dá)到引線鍵合工藝和其他前段工藝的制程管控目的。同時(shí)飛納電鏡能譜一體機(jī)對(duì)工作環(huán)境無(wú)特殊要求，使用的簡(jiǎn)便和六硼化鈰燈絲的穩(wěn)定性，也滿足了工廠GX率的要求?？偨Y(jié)，飛納電鏡能譜一體機(jī)是半導(dǎo)體封裝工廠引線鍵合工藝品質(zhì)量管控和制程改善非常GX率的參考工具之一。圖2Phenom看金線形貌圖3Phenom看魚尾紋形貌[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納電鏡在粉末冶金領(lǐng)域的應(yīng)用

  以金屬粉末（或金屬粉末與非金屬粉末的混合物）為原料，通過(guò)成形、燒結(jié)制成金屬制品或材料的一種冶金工藝技術(shù)。 [詳細(xì)]

  2020-06-30 13:13

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• 飛納電鏡在制藥領(lǐng)域的應(yīng)用

  飛納電鏡在制藥領(lǐng)域的應(yīng)用[詳細(xì)]

  2024-09-18 02:57

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• 飛納臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)Phenom ProX

  飛納臺(tái)式掃描電鏡 (Desktop SEM) Phenom ProX 是的電鏡能譜一體機(jī)，集掃描電鏡成像與能譜元素分析為一體。使用 Phenom ProX 電鏡能譜一體機(jī)，既可以觀察樣品的形貌，同時(shí)又能進(jìn)行元素的定性和定量分析。除了元素的點(diǎn)分析，元素的線面 掃功能可以進(jìn)一步分析元素的分布情況。[詳細(xì)]

  2024-09-14 10:16

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• 飛納電鏡在考古文博中的應(yīng)用

  飛納電鏡在考古文博中的應(yīng)用[詳細(xì)]

  2024-09-27 23:54

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• 飛納臺(tái)式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

  飛納臺(tái)式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用隨著近幾年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)井噴式的增長(zhǎng)，關(guān)鍵技術(shù)中掃描電鏡的使用也受到的重視，如今臺(tái)式電鏡的操作和維護(hù)越來(lái)越簡(jiǎn)便，對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商來(lái)說(shuō)無(wú)疑增加了研發(fā)和生產(chǎn)的利器，目前臺(tái)式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中主要是用來(lái)做形貌觀測(cè)，更重要的是做元素分析等。飛納臺(tái)式掃描電鏡擁有方便的操作，較好的維護(hù)，而且能結(jié)合能譜進(jìn)行快速的元素分析，可以明顯提高企業(yè)效率，是半導(dǎo)體行業(yè)的**選擇?，F(xiàn)在臺(tái)灣的臺(tái)積電，臺(tái)聯(lián)電紛紛登陸ZG，在武漢設(shè)廠，但是成品率，產(chǎn)值，效益都還很有待提高。大陸越來(lái)越有作為半導(dǎo)體代工工廠的能力了，如何扎實(shí)做好半導(dǎo)體工藝，提高半導(dǎo)體集成電路設(shè)計(jì)水平，是半導(dǎo)體/微電子行業(yè)未來(lái)的工作。半導(dǎo)體行業(yè)的市場(chǎng)現(xiàn)狀在日本，有人把半導(dǎo)體比喻為工業(yè)社會(huì)的稻米，是近代社會(huì)一日不可或缺的。在國(guó)防上，惟有扎實(shí)的電子工業(yè)基礎(chǔ)，才有強(qiáng)大的國(guó)防能力，1991年的波斯灣戰(zhàn)爭(zhēng)中，美國(guó)已經(jīng)把新一代電子武器發(fā)揮得淋漓盡致。自1970年后，美國(guó)與日本間發(fā)生多次貿(mào)易摩擦，Z后在許多項(xiàng)目中美國(guó)都妥協(xié)了，但是為了半導(dǎo)體，雙方均不肯輕易讓步，Z后兩國(guó)政府慎重其事地簽訂了協(xié)議，足證對(duì)此事的重視程度，這是因?yàn)榘雽?dǎo)體工業(yè)發(fā)展的成敗，關(guān)系著國(guó)家的命脈，不可不慎。而在臺(tái)灣，半導(dǎo)體工業(yè)是新竹科學(xué)園區(qū)的主要支柱，半導(dǎo)體公司也是Z賺錢的企業(yè)，臺(tái)灣如果要成為明日的科技硅島，半導(dǎo)體工業(yè)是必經(jīng)的途徑。經(jīng)過(guò)幾十年的調(diào)整，在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)景氣度也持續(xù)好轉(zhuǎn)。2016年，超過(guò)六成上市公司業(yè)績(jī)預(yù)增。其中，全志科技2015年年報(bào)顯示，實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)利潤(rùn)10883.00萬(wàn)元，比上年同期增長(zhǎng)11.02%；歸屬于母公司凈利潤(rùn)12,797.54萬(wàn)元，比上年同期增長(zhǎng)15.99%。此外，中穎電子發(fā)布的一季報(bào)業(yè)績(jī)預(yù)告顯示，預(yù)計(jì)2016年13月份歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)為1300萬(wàn)至1500萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)84.14%至112.46%。其中，半導(dǎo)體及元件行業(yè)平均凈利潤(rùn)增長(zhǎng)率為14.38%。公司表示，報(bào)告期內(nèi)，因客戶需求同比增加，銷售同比呈現(xiàn)增長(zhǎng)，且因去年同期的盈利基期相對(duì)較低，盈利同比則大幅增長(zhǎng)。飛納臺(tái)式掃描電鏡在半導(dǎo)體存儲(chǔ)芯片中的應(yīng)用1、光學(xué)導(dǎo)航下的半導(dǎo)體樣品，可以清楚的定位到某一個(gè)區(qū)域，飛納電鏡du家的光學(xué)導(dǎo)航，具有內(nèi)置彩色光學(xué)顯微鏡，不僅能實(shí)現(xiàn)快速定位到樣品感興趣位置，還能對(duì)樣品在光學(xué)下進(jìn)行拍照，與電鏡下圖片進(jìn)行對(duì)比：[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納電鏡 Phenom Nano G2 場(chǎng)發(fā)射臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡能譜一體機(jī)

  飛納電鏡 Phenom Nano G2 場(chǎng)發(fā)射臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡能譜一體機(jī)[詳細(xì)]

  2024-01-12 09:21

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• 飛納電鏡在稀土永磁材料研究中的應(yīng)用

  稀土永磁材料是將釤、釹混合稀土金屬與過(guò)渡金屬（如鈷、鐵等）組成的合金，是現(xiàn)在已知 的綜合性能的一種永磁材料。稀土永磁材料的磁能積、矯頑力、剩磁等性能都顯著高于 鋁鎳鈷合金、鐵氧體磁鐵等。稀土永磁可以產(chǎn)生超過(guò) 1.4 特斯拉的磁場(chǎng)，而傳統(tǒng)鐵氧體磁鐵 可產(chǎn)生的磁場(chǎng)強(qiáng)度大約只有 0.5-1特斯拉。稀土永磁按照組成主要分為兩種：釹鐵硼磁鐵和 釤鈷磁鐵；按照制備工藝主要分為燒結(jié)磁體、熱壓（熱流變）磁體和粘接磁體。[詳細(xì)]

  2020-06-29 15:18

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• 電子半導(dǎo)體材料檢測(cè)：飛納臺(tái)式掃描電鏡在電子半導(dǎo)體的應(yīng)用方案

  要應(yīng)對(duì)如此多樣的材料及復(fù)雜的工藝，需要耗費(fèi)大量的精力和時(shí)間。飛納電鏡可滿足您多樣化的材料檢測(cè)要求及復(fù)雜的制程工藝管控，為您提供簡(jiǎn)單·時(shí)效·精確的半導(dǎo)體檢測(cè)方案[詳細(xì)]

  2025-02-25 11:03

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• 飛納電鏡纖維統(tǒng)計(jì)分析測(cè)量系統(tǒng)在過(guò)濾產(chǎn)品中的應(yīng)用

  飛納電鏡纖維統(tǒng)計(jì)分析測(cè)量系統(tǒng)在過(guò)濾產(chǎn)品中的應(yīng)用[詳細(xì)]

  2022-04-18 11:01

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• 磁性材料放心測(cè)——飛納電鏡在稀土永磁材料研究中的應(yīng)用

  稀土永磁材料是將釤、釹混合稀土金屬與過(guò)渡金屬（如鈷、鐵等）組成的合金，是現(xiàn)在已知 的綜合性能的一種永磁材料。稀土永磁材料的磁能積、矯頑力、剩磁等性能都顯著高于 鋁鎳鈷合金、鐵氧體磁鐵等。稀土永磁可以產(chǎn)生超過(guò) 1.4 特斯拉的磁場(chǎng)，而傳統(tǒng)鐵氧體磁 鐵可產(chǎn)生的磁場(chǎng)強(qiáng)度大約只有 0.5-1 特斯拉。稀土永磁按照組成主要分為兩種：釹鐵硼磁 鐵和釤鈷磁鐵；按照制備工藝主要分為燒結(jié)磁體、熱壓（熱流變）磁體和粘接磁體。 [詳細(xì)]

  2020-06-29 15:00

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• 飛納電鏡冷臺(tái)，神奇在哪里？

  飛納臺(tái)式掃描電鏡溫度控制樣品杯（簡(jiǎn)稱“冷臺(tái)”）是飛納電鏡極具特色的選配件之一。它的出現(xiàn)拓寬了電鏡的觀察樣品范圍，涵蓋了包括液體、含水樣品、溫度敏感樣品、電子束敏感樣品等在內(nèi)的多種一般電鏡很難或無(wú)法成像的樣品。如圖1所示是飛納電鏡溫度控制樣品杯和飛納臺(tái)式掃描電子顯微鏡，由黑色管線連接的部件，從左到右依次是溫控單元、操作面板、樣品杯。目前，溫度控制的范圍可達(dá)-25℃~+90℃，基本能夠滿足大部分的篩樣需求。[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納電鏡鑒定中藥成分-朱砂

  研究證實(shí)，朱砂損害腎小管、腎小球，造成間質(zhì)性腎病、腎壞死等，可導(dǎo)致腎功能衰竭，甚 至造成死亡。由于朱砂在兒童藥物中使用的比例大，對(duì)兒童的損害就更大。 據(jù)國(guó)內(nèi)學(xué)者調(diào)查，含朱砂的中成藥有 60種以上，如朱砂安神丸、冠心蘇合丸、牛黃清心丸、 2 牛黃鎮(zhèn)驚安宮牛黃、柏子養(yǎng)心丸、再造丸、跌打丸、天王補(bǔ)心丹、七厘散、小兒回春丸、小 兒至寶丸、小兒百壽丹、小兒太極丸、小兒牛黃散、小兒保安丸、嬰兒樂(lè)、驚風(fēng)散、小兒祛 痰定驚丸等。 [詳細(xì)]

  2020-06-29 15:34

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• 半導(dǎo)體工藝研究中的SEM應(yīng)用實(shí)例

  半導(dǎo)體工藝研究中的SEM應(yīng)用實(shí)例[詳細(xì)]

  2015-07-30 00:00

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• 飛納電鏡 | 聚合物填料研究的十八般武藝

  有機(jī)聚合物（英語(yǔ)：Polymer）是指具有非常大的分子量的化合物，分子間由結(jié)構(gòu)單位（structural unit）、或單體由共價(jià)鍵連接在一起。這個(gè)聚合物（polymer）是出自于希臘字：polys 代表的是多，而 meros 代表的是小單位（part）[1]，所以很多小單位鏈接在一起的這種特別的分子，我們稱之為聚合物 [2]，例如塑料和高分子。掃描電鏡是研究聚合物材料的常見(jiàn)工具之一。 [詳細(xì)]

  2020-06-30 11:41

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• 飛納臺(tái)式掃描電鏡在纖維樣品中的應(yīng)用

  隨著紡織行業(yè)的發(fā)展，紡織品的種類越來(lái)越多，例如玻纖、芳綸、海藻、水刺、機(jī)器織物等等，精細(xì)化程度越來(lái)越高，對(duì)功能的需求也越來(lái)越多樣化，因此，對(duì)成品紡織品的檢測(cè)要求也越來(lái)越高，需要看到更細(xì)致的微觀結(jié)構(gòu)，普通的光學(xué)顯微鏡不能滿足精細(xì)化要求，必須要通過(guò)掃描電子顯微鏡來(lái)完成。通常的掃描電鏡拍不導(dǎo)電的紡織樣品都需要進(jìn)行噴金處理后才能放到電鏡里觀測(cè)，飛納臺(tái)式掃描電鏡可以不用鍍金直接看，且分辨率極高，圖1是不噴金直接觀測(cè)的機(jī)織樣品；圖2是靜電紡絲樣品。圖1圖2[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 汽車制造巨頭引入飛納電鏡

  2018 年 8 月，廣汽集團(tuán)引進(jìn)飛納臺(tái)式掃描電鏡大樣品室版 Phenom XL。 目前，廣汽集團(tuán)測(cè)樣量的樣品就是零部件的斷裂/開(kāi)裂的失效分析（金屬斷口）。 金屬斷口通常是一個(gè)凹凸不平的粗糙面，而且是塊狀樣品，取樣容易，在掃描電鏡的樣品倉(cāng)中可進(jìn)行傾斜旋轉(zhuǎn)多角度觀察，因此掃描電鏡非常適合斷口分析。 [詳細(xì)]

  2020-06-29 14:46

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• 飛納電鏡在運(yùn)用手套箱行業(yè)的解決方案

  手套箱是一種將高純惰性氣體充入箱體內(nèi)，并循環(huán)過(guò)濾掉其中的活性物質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備， 也稱真空手套箱、惰性氣體保護(hù)箱。手套箱可以有效清除箱體內(nèi)的氧氣、水蒸氣和其他有機(jī) 氣體，多用于創(chuàng)造無(wú)水、無(wú)氧、無(wú)塵的超純環(huán)境，以適應(yīng)一些特殊材料的存放、實(shí)驗(yàn)環(huán)節(jié)， 特別是容易與空氣產(chǎn)生劇烈反應(yīng)的或有毒有害材料，如：鋰離子電池及材料、半導(dǎo)體、超級(jí) 電容、特種燈、激光焊接、釬焊、材料合成、OLED、MOCVD 等。也包括生物方面應(yīng)用， 如厭氧菌培養(yǎng)、細(xì)胞低氧培養(yǎng)等。將這些敏感樣品保存在氬氣等惰性氣體環(huán)境的任務(wù)比較具 有挑戰(zhàn)性，因此手套箱通常設(shè)計(jì)有多個(gè)前室，負(fù)載鎖定及吹掃循環(huán)等復(fù)雜系統(tǒng)。得益于工藝 的進(jìn)步，手套箱的設(shè)計(jì)正在逐步上升，對(duì)樣品的保護(hù)效果也越來(lái)越好。 [詳細(xì)]

  2024-09-11 19:52

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• Panalytical 臺(tái)式能譜儀在油品分析中的應(yīng)用

  Panalytical 臺(tái)式能譜儀在油品分析中的應(yīng)用[詳細(xì)]

  2024-09-19 06:27

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• Panalytical E3x 能譜儀在環(huán)境監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用

  Panalytical E3x 能譜儀在環(huán)境監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用[詳細(xì)]

  2024-09-27 23:50

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