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上海微行爐業(yè)高真空系統(tǒng)

本文由 上海微行爐業(yè)有限公司 整理匯編

2024-09-11 17:48 1446閱讀次數(shù)

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組成,主要應(yīng)用于氣氛保護燒結(jié)、材料還原、材料真空脫氣,精密材料真空熱處理、時效處理、CVD實驗等一些需要高真空或氣氛保護環(huán)境下的熱處理實驗。
設(shè)備特點 外觀精致、操作方便、升溫速度快、保溫性能好、使用壽命長、擴展升級功能廣等特點;
爐體參數(shù) 石英管 Φ60/L1000mm 加熱區(qū)尺寸 440mm
恒溫區(qū)尺寸 氣氛或大氣狀態(tài)≤200mm     真空狀態(tài)≤260mm
極限溫度 氣氛或大氣狀態(tài)≤1200℃    真空狀態(tài)≤1100℃
長時間工作溫度 氣氛或大氣狀態(tài)≤1100℃    真空狀態(tài)≤1000℃
表面溫度 <?60℃(1100℃保溫)
控溫精度 ±1℃
Zda允許正壓 ≤0.02MPa
真空系統(tǒng)參數(shù) 真空抽速 機械泵:4L/S    分子泵:600L/S
前級壓強 ≤5Pa
空爐冷態(tài)極限真空度 1.33×10-4Pa/1.0×10-6torr
壓升率 ≤1Pa/h
真空量程 電阻單元1-1.0×105Pa    電離單元量程1.0-10-5Pa
連接方式 CF60  KF40

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