本文由 北京億路達(dá)機(jī)電設(shè)備有限公司 整理匯編

2024-09-18 18:07 490閱讀次數(shù)

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• 利用掃描電鏡觀察氫氧化鉀蝕刻制備的硅微觀結(jié)構(gòu)

  氫氧化鉀蝕刻（KOH）是制造微型器件的一個(gè)重要工藝，用于從硅片上去除材料。選擇性地蝕刻硅片的某些部分，用一層二氧化硅或掩膜來保護(hù)剩下的部分。然而，殘留物的存在成為這種技術(shù)的一個(gè)缺點(diǎn)，因?yàn)樗鼤ζ骷闹圃爝^程產(chǎn)生負(fù)面影響。在這篇博客中，我們提出了一種利用蝕刻殘留物的方法，將其作為后續(xù)蝕刻的掩膜，以制造兩層微結(jié)構(gòu)。我們還提供了如何有效地利用掃描電鏡SEM對這些微結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像的例子。KOH化學(xué)硅蝕刻技術(shù)蝕刻是微加工中一個(gè)非常重要和關(guān)鍵的過程，在此過程中，材料通過蝕刻劑在硅片表面進(jìn)行化學(xué)去除。蝕刻有兩種:濕蝕刻，蝕刻劑是液體，和干蝕刻，蝕刻劑是等離子體。干蝕刻是各向異性的，因此在蝕刻材料中形成垂直側(cè)壁，如圖1a所示。在另一方面，濕蝕刻劑通常是各向同性，這意味著蝕刻在各個(gè)方向都是均勻的，產(chǎn)生圓壁和削弱效果，如圖1b所示。KOH是一種液相蝕刻劑，在晶體平面上是各向異性的。因此，它對硅片的晶體取向很敏感，產(chǎn)生梯形截面腔，如圖1c所示。KOH蝕刻的主要缺點(diǎn)之一是殘留物的沉積，這是由蝕刻劑和被移出材料之間的相互作用所造成的:是這項(xiàng)技術(shù)Z薄弱的一點(diǎn)。圖1:生成的基體橫截面示意圖，(a)wan美各向異性的侵蝕，(b)一個(gè)完全各向同性的侵蝕，(c)一個(gè)濕蝕刻的各向異性腐蝕劑[詳細(xì)]

  2018-08-22 10:00

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• 使用紅外顯微鏡表征聚合物薄膜的化學(xué)結(jié)構(gòu)

  多層高分子膜在各行業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。其中一個(gè)主要用途是食品和消耗品的包裝材料。由于包裝膜需要滿足各種需求來保護(hù)其內(nèi)部的產(chǎn)品，所以多層膜通常結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜。包裝材料必須能夠包裹住內(nèi)部的產(chǎn)品，有足夠的強(qiáng)度和密封能力，其生產(chǎn)必須機(jī)械化操作而且成本合理。對于食品包裝材料，還要能夠保護(hù)內(nèi)部的食品防止外界的環(huán)境對食品的質(zhì)量和安全造成影響，從而增加儲存時(shí)間。多層膜中的每一層膜都有不同阻隔作用以保護(hù)外界不同因素可能造成的影響，比如濕度、光、氧氣、微生物和其他化學(xué)物質(zhì)。總的來說，傳統(tǒng)的高分子材料例如PET、PE、PS和PP都可以用作包裝材料。這些包裝材料中有很大一部分Z后都被扔至垃圾場或者被回料加工廠回收。這些材料中很多都只能緩慢的生物降解或者不能被生物降解，對環(huán)境污染非常大。因此，使用很多可生物降解聚合物或可分解聚合物來做包裝材料成為了人們的關(guān)注點(diǎn)。生物基材料由部分可再生或全部可再生材料制成，例如纖維素、淀粉或聚乳酸。這些生物基塑料是可生物降解的，但并不是無條件的。在有水、二氧化碳和生物能量的情況下，可分解塑料能夠被微生物完全生物降解。這些環(huán)境友好材料將來的發(fā)展前景更加廣闊。紅外顯微已經(jīng)成為表征多層聚合物膜結(jié)構(gòu)的Z重要的一種技術(shù)了。紅外光譜能夠鑒別材料的結(jié)構(gòu)，而一臺紅外顯微鏡可以對Z小10μm的樣品進(jìn)行分析，包括可以鑒別多層膜中每層膜的結(jié)構(gòu)。本文介紹了紅外顯微鏡在傳統(tǒng)多層膜和新型可分解材料上的應(yīng)用。從文中我們可以看出紅外顯微技術(shù)無論對傳統(tǒng)多層膜包裝材料還是新型生物可降解多層膜包裝材料都能提供很好的表征。對于不同樣品我們可以使用透射或者ATR來對樣品進(jìn)行分析。[詳細(xì)]

  2024-09-11 18:00

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  2018-10-05 10:01

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  2013-12-21 00:00

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