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Filmetrics F3-sX 白光干涉膜厚測量儀

本文由 優(yōu)尼康科技有限公司 整理匯編

2025-06-19 16:48 546閱讀次數

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Filmetrics F3-sX 白光干涉膜厚測量儀利用光譜反射原理,可以測量厚度達到3毫米的眾多半導體及介電層薄膜。相對于較薄的膜層,這種厚膜的表面較粗糙且不均勻,F(xiàn)3-sX系列膜厚儀配置10微米的

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