目前國(guó)內(nèi)疫情多發(fā)，線下活動(dòng)受到了很多限制，但我們?nèi)匀幌Ｍ軌蚩朔咔榈牟淮_定性，貼近客戶為客戶提供交流溝通的平臺(tái)，為此賽默飛世爾科技半導(dǎo)體業(yè)務(wù)部門(mén)計(jì)劃舉辦同“芯”協(xié)力系列云上課堂。

本系列云上課堂將從各項(xiàng)分析技術(shù)的基本原理與優(yōu)勢(shì)出發(fā)，進(jìn)而介紹針對(duì)的應(yīng)用場(chǎng)景與案例，以及相關(guān)技術(shù)與工作流程的最 新開(kāi)發(fā)進(jìn)展。

從技術(shù)類型上該系列課堂將涵蓋用于物性失效分析的掃描電鏡，雙束電鏡，等離子雙束電鏡，Laser PFIB三束系統(tǒng)和透射電鏡，用于電性失效分析的熱失效定位，光學(xué)失效定位，納米探針，電路修補(bǔ)系統(tǒng)，以及靜電放電與電過(guò)應(yīng)力測(cè)試系統(tǒng)。

這些產(chǎn)品看似獨(dú)立，但只有將這些不同的技術(shù)有機(jī)鏈接起來(lái)才能為不同的細(xì)分行業(yè)提供全方位完整的工作流程，這是賽默飛的優(yōu)勢(shì)所在。所以無(wú)論您是行業(yè)新人或是大咖，相信您都可以從中有所獲益，這也是我們舉辦該系列課堂的初衷。

欲知詳情，請(qǐng)關(guān)注我們后續(xù)介紹，并即刻報(bào)名參加將于12月14日14點(diǎn)舉辦的第 一場(chǎng)同“芯”協(xié)力云上課堂。

上周，賽默飛電鏡網(wǎng)絡(luò)講堂系列圓滿落幕，感謝眾多老鐵們的觀看及提問(wèn)。賽默飛電鏡演示微直播仍在火熱進(jìn)行，未來(lái)我們還會(huì)推出更多系列的網(wǎng)絡(luò)講堂，請(qǐng)您持續(xù)關(guān)注！

“TEMGX高質(zhì)量掃描透射成像”直播答疑匯總

Q：Smart Tilt這個(gè)功能大概是哪年開(kāi)始有的？轉(zhuǎn)角度有什么要求？

Smart Tilt是2016年推出的。裝機(jī)工程師做簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)后，用戶只需要使用配套的雙傾樣品桿，按演示的操作即可，非常簡(jiǎn)便。

Q：TEM mode下不斷改放大倍數(shù)會(huì)把CCD燒了嗎？

這次演示的TEM操作是在Talos配備的熒光屏相機(jī)上進(jìn)行的，具有高動(dòng)態(tài)范圍，對(duì)于透射圖像、衍射花樣和菊池線都可以直接觀察。

Q：這次演示的Velox是什么版本？框選放大功能是哪個(gè)版本有的？

這次用的是Z新的Velox 2.11。2.10版本加入了框選放大等功能。Velox還在持續(xù)保持更新，只要用戶的TEM Server版本支持即可自行免費(fèi)升級(jí)。

Q：沒(méi)有球差還能看到原子像？這么厲害？

Talos F200X的STEM分辨率驗(yàn)收指標(biāo)為0.16nm，實(shí)際使用時(shí)分辨率會(huì)優(yōu)于此數(shù)值，Talos上也可以拍出硅[110]帶軸的啞鈴結(jié)構(gòu)（硅啞鈴原子間距0.14nm）。

Q：為什么用鈦酸鍶，是容易看嗎？

在鈦酸鍶[100]帶軸上是可以看到原子像的，鈦和鍶兩種原子在HAADF上有比較好的襯度差異，同時(shí)也可以通過(guò)Z新iDPC技術(shù)獲取HAADF下沒(méi)辦法實(shí)現(xiàn)的氧原子位置的表征，能夠直觀地給大家展示Talos的性能。

Q：做STEM都不用調(diào)Ronchigram了嗎？

Talos上調(diào)Ronchigram不是必須的，系統(tǒng)穩(wěn)定性很好，可以直接調(diào)用STEM光路文件。日常使用也可以用我們演示的AutoSTEM功能自動(dòng)調(diào)整象散。只有在狀態(tài)比較差的情況下才需要檢查Ronchigram。

昨天，“TEM快速準(zhǔn)確的成分分析”微直播受到了眾多老鐵們的追捧及提問(wèn)。明天周五，還有一場(chǎng)“FIB之GX新一代雙束電鏡” 微直播等待大家；四月我們還會(huì)推出更多系列的網(wǎng)絡(luò)講堂，請(qǐng)您持續(xù)關(guān)注！

“TEM快速準(zhǔn)確的成分分析”直播答疑匯總

Q：Velox可以進(jìn)行能譜基線校準(zhǔn)嗎？

在電鏡的安裝調(diào)試階段，會(huì)由安裝工程師使用專用軟件對(duì)譜線峰位進(jìn)行校準(zhǔn)。

Q：扣背底的參數(shù)可以自己調(diào)整嗎？

在Velox自動(dòng)完成扣背底之后，可以在Integrated Spectra上進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整，包括背底模型、背底窗口等參數(shù)。

Q：沒(méi)有Fe等雜峰信號(hào)是Talos的特殊設(shè)計(jì)么？之前的TF20就很高。

Tecnai系列使用側(cè)插能譜，受制于能譜安裝方向和樣品傾轉(zhuǎn)角，會(huì)有較多的鏡筒干擾信號(hào)。Super-X距離樣品較近，且探頭直接朝向樣品，很少會(huì)采集到來(lái)自于鏡筒和極靴的X射線信號(hào)，顯著降低了干擾信號(hào)的接收，能夠獲得目前市面上Z干凈的能譜。電鏡鏡筒內(nèi)實(shí)測(cè)的峰背比至少超過(guò)4000。

Q：請(qǐng)問(wèn)哪里有關(guān)于四種STEM探頭特性的介紹？四個(gè)探頭同時(shí)使用與單個(gè)探頭使用相比，圖像采集時(shí)間是否增加？

Talos 采用的四個(gè)STEM成像探頭同軸安裝于相機(jī)上方，能夠通過(guò)Velox軟件同時(shí)采集并實(shí)現(xiàn)漂移校正（DCFI）功能。不同的探頭接收不同收集角的信號(hào)，從而獲得環(huán)形暗場(chǎng)（ADF）、環(huán)形明場(chǎng)（ABF）以及明場(chǎng)（BF）圖像的采集。此外，調(diào)整相機(jī)長(zhǎng)度可以改變探頭的接受角范圍，實(shí)現(xiàn)不同類型圖像信息的采集，例如用同一個(gè)探頭可以分別獲取ABF和ADF圖像。四個(gè)探頭具備獨(dú)立的信號(hào)通道，數(shù)據(jù)可以同時(shí)采集處理，與單個(gè)探頭使用相同參數(shù)設(shè)置相比，圖像采集時(shí)間沒(méi)有顯著差別。

Q：Velox的能譜數(shù)據(jù)如何導(dǎo)出原始數(shù)據(jù)，比如每個(gè)像素的計(jì)數(shù)，以便后期用其他軟件讀取處理？

Velox處理好的數(shù)據(jù)可以直接輸出tif、mrc等圖像文件和csv等數(shù)據(jù)文件。Velox的能譜原始數(shù)據(jù)使用了HyperSpy數(shù)據(jù)流格式保存，可以用相應(yīng)的軟件查看。

Q：樣品測(cè)量前已經(jīng)知道樣品中包含的元素嗎？還是通過(guò)相互作用判斷出是什么元素？

此次直播演示的樣品，預(yù)先有初步的元素信息。當(dāng)然也可以利用電鏡中的能譜，通過(guò)電子與樣品核外電子相互作用產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于元素的特征能量X射線，來(lái)判斷元素種類。由于TEM是一種在極小尺度上進(jìn)行采樣表征的工具，微納尺度元素分布情況和宏觀有時(shí)會(huì)有出入，因此在TEM測(cè)試前如對(duì)樣品中包含元素情況有基本的了解，會(huì)更容易進(jìn)行元素分析。

Q：樣品厚度怎么測(cè)量？

樣品厚度的測(cè)量在TEM中有兩種常用的方法，一種是通過(guò)電子能量損失譜（EELS），另一種是利用匯聚束電子衍射（CBED）花樣進(jìn)行分析。

Q：如果樣品傾轉(zhuǎn)了這個(gè)吸收矯正還可以用么？四個(gè)能譜探頭一起定量？

樣品傾轉(zhuǎn)后的吸收校正在Talos電鏡中可以實(shí)現(xiàn)。Velox軟件中的吸收校正模型綜合考慮了樣品傾轉(zhuǎn)情形下樣品桿和探頭的幾何分布，能夠處理遮擋、吸收等因素造成的四個(gè)探頭收集信號(hào)不一致等影響，提高定量準(zhǔn)確度。這是其他電鏡的能譜探頭及軟件所不能夠?qū)崿F(xiàn)的。

Q：這個(gè)定量計(jì)算對(duì)樣品有什么要求嗎？

嚴(yán)格的EDS譜定量計(jì)算需要考慮樣品厚度、密度等多種因素。Velox軟件可對(duì)多種定量相關(guān)參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，以便獲得更加準(zhǔn)確的定量結(jié)果。

Q：前處理和后處理有區(qū)別嗎？

前處理Pre-filter基于每個(gè)像素的能譜原始數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，能夠獲得更加準(zhǔn)確可靠的定量結(jié)果，計(jì)算量較大，需要對(duì)分析相關(guān)知識(shí)和樣品情況有一定的了解；后處理Post-filter是對(duì)軟件獲得的面掃結(jié)果進(jìn)行圖像處理，簡(jiǎn)單易用，消耗計(jì)算資源很少。

Q：采集一組EDS Tomography數(shù)據(jù)需要多少時(shí)間？

具體的采集時(shí)間與實(shí)驗(yàn)條件和需求有很大關(guān)系， 可以根據(jù)需求設(shè)置單張EDS Mapping的采集時(shí)間，并根據(jù)角度范圍進(jìn)行估算。

Q：B掃不出來(lái)怎么解決？

B由于是較輕元素，相對(duì)重元素來(lái)說(shuō)信號(hào)產(chǎn)生量低很多，較低含量情況中在EDS采集中比較難以獲得。在Velox軟件中，可以通過(guò)Super-X采集模式的設(shè)置，使用High Resolution模式進(jìn)行優(yōu)化。

Q：做EDX時(shí)，如果要提高FEG的電流，Talos上如何操作？極限電流可以到多少？探頭的dead time 會(huì)飽和嗎？

Talos 200X配備了特有的X-FEG高亮場(chǎng)發(fā)射槍，在保證束斑尺寸和分辨率相同的前提下能夠獲得更高的束斑電流。在操作上，減小Gun Lens、減小Spot Size，使用更大的聚光鏡光闌都可以獲得更高的束流。極限束流能達(dá)到幾十nA。Super-X具有極高的速度，Z高通量超過(guò)800 kcps，在正常使用中基本不會(huì)出現(xiàn)飽和情況。

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賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器安裝

在現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室的分析過(guò)程中，自動(dòng)進(jìn)樣器作為提高工作效率和準(zhǔn)確度的關(guān)鍵設(shè)備，越來(lái)越受到實(shí)驗(yàn)人員的青睞。賽默飛（Thermo Fisher）自動(dòng)進(jìn)樣器是一款在各類實(shí)驗(yàn)分析中廣泛應(yīng)用的高性能設(shè)備，它能夠顯著提高樣品分析的自動(dòng)化水平，減少人為操作的誤差，確保分析結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。本文將詳細(xì)介紹賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器的安裝步驟及相關(guān)注意事項(xiàng)，幫助用戶正確、順利地完成設(shè)備的安裝與調(diào)試。

賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器安裝步驟

1. 準(zhǔn)備工作 在開(kāi)始安裝前，首先需要對(duì)安裝環(huán)境進(jìn)行檢查，確保實(shí)驗(yàn)室的電源、電氣設(shè)施符合賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器的安裝要求。賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器通常需要穩(wěn)定的電壓和適宜的工作溫度。設(shè)備安裝位置應(yīng)確保操作人員能夠方便地進(jìn)行日常維護(hù)，且遠(yuǎn)離強(qiáng)電磁干擾源。

2. 拆箱與檢查設(shè)備 開(kāi)箱后，仔細(xì)檢查設(shè)備和配件是否齊全，有無(wú)運(yùn)輸損壞。賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器的包裝通常包括主機(jī)、電源線、連接線、進(jìn)樣器針、標(biāo)準(zhǔn)樣品架等組件。確保所有組件完好無(wú)損，且符合設(shè)備說(shuō)明書(shū)中的配置清單。

3. 設(shè)備組裝 將自動(dòng)進(jìn)樣器主機(jī)放置在預(yù)定的實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，確保設(shè)備穩(wěn)固。根據(jù)說(shuō)明書(shū)，將樣品架、進(jìn)樣針及其他組件按照正確的順序安裝到位。特別需要注意的是，進(jìn)樣針的安裝要確保其與進(jìn)樣口對(duì)接準(zhǔn)確，以免發(fā)生誤操作。

4. 連接系統(tǒng)與電源 根據(jù)設(shè)備說(shuō)明書(shū)的指導(dǎo)，使用標(biāo)準(zhǔn)電纜連接自動(dòng)進(jìn)樣器與分析儀器（如氣相色譜儀、液相色譜儀等）。安裝過(guò)程中應(yīng)確保電源連接穩(wěn)定可靠，避免電壓波動(dòng)造成設(shè)備故障。完成電源連接后，開(kāi)啟設(shè)備進(jìn)行初步的電氣檢測(cè)，確保設(shè)備正常啟動(dòng)。

   

5. 軟件安裝與調(diào)試 安裝完成后，需要在計(jì)算機(jī)上安裝賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器的控制軟件，并與設(shè)備進(jìn)行連接。通過(guò)軟件界面檢查設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和數(shù)據(jù)傳輸情況。此時(shí)，還需要對(duì)自動(dòng)進(jìn)樣器進(jìn)行軟件參數(shù)的設(shè)置和校準(zhǔn)，確保設(shè)備能夠準(zhǔn)確讀取樣品信息并進(jìn)行自動(dòng)進(jìn)樣。

6. 系統(tǒng)調(diào)試與校驗(yàn) 在完成硬件安裝后，進(jìn)入系統(tǒng)調(diào)試階段。此時(shí)，可以進(jìn)行空樣品或標(biāo)準(zhǔn)樣品的測(cè)試，檢查進(jìn)樣器是否按預(yù)期工作。調(diào)試過(guò)程中，要注意觀察進(jìn)樣量、進(jìn)樣精度及自動(dòng)進(jìn)樣過(guò)程中的異常情況。根據(jù)測(cè)試結(jié)果，進(jìn)行必要的參數(shù)調(diào)整和優(yōu)化。

常見(jiàn)問(wèn)題及解決方案

在安裝賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器時(shí)，用戶可能會(huì)遇到一些常見(jiàn)問(wèn)題，如進(jìn)樣不穩(wěn)定、樣品架無(wú)法正確識(shí)別、軟件無(wú)法連接等。針對(duì)這些問(wèn)題，建議按照設(shè)備說(shuō)明書(shū)中的故障排查指南進(jìn)行逐項(xiàng)檢查。如果問(wèn)題無(wú)法解決，可以聯(lián)系賽默飛的技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)，獲取進(jìn)一步的幫助。

總結(jié)

賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器作為一款高效、的實(shí)驗(yàn)分析設(shè)備，其安裝過(guò)程雖然不復(fù)雜，但每個(gè)環(huán)節(jié)的操作都需要小心謹(jǐn)慎。正確的安裝不僅能夠確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，還能大化地發(fā)揮其分析性能。因此，實(shí)驗(yàn)人員在安裝時(shí)必須嚴(yán)格按照操作手冊(cè)的要求進(jìn)行，確保每個(gè)步驟都做到位。通過(guò)合理的安裝與調(diào)試，賽默飛自動(dòng)進(jìn)樣器將為實(shí)驗(yàn)室的日常分析工作提供可靠的支持，提升工作效率和分析準(zhǔn)確度。