【課程推薦】KLA Instruments | Webinar課程:反射和透射:兩個(gè)優(yōu)于一個(gè)
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優(yōu)尼康課程推薦
KLA Instruments | Webinar課程:反射和透射:兩個(gè)優(yōu)于一個(gè)。
※適合新老客戶了解學(xué)習(xí)膜厚儀的使用;加深對產(chǎn)品的理解。
FILMETRICS
同時(shí)測量光譜反射和透射對分析光學(xué)薄膜來講是非常重要的。歡迎來到F10-RT獨(dú)特的境界里。顯然這會(huì)限制我們只能用透明基底材料, 但這會(huì)讓我們更準(zhǔn)確地測量光學(xué)系數(shù) (特別是消光系數(shù))。除五彩繽紛的介電薄膜外我們還會(huì)討論上百納米厚的金屬薄膜。
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Michelle Shi
應(yīng)用工程師 @KLA Instruments
Michelle Shi 是KLA Instrument Group Filmetrics 光學(xué)輪廓儀以及薄膜測量儀的應(yīng)用工程師。Michelle 于2019年5月加入KLA公司, 擔(dān)任Filmetrics薄膜測量以及光學(xué)輪廓產(chǎn)品的應(yīng)用,客戶支持以及業(yè)務(wù)開發(fā),主要支持Profilm3D光學(xué)輪廓儀以及Filmetrics全系列薄膜測量產(chǎn)品。在加入KLA之前,Michelle在美國俄亥俄大學(xué)獲得物理學(xué)碩士學(xué)位并在NASA Ames硅谷研究ZX進(jìn)行科學(xué)研究,以及在高新科技初創(chuàng)企業(yè)kaiaTech擔(dān)任高級(jí)工藝工程師負(fù)責(zé)半導(dǎo)體薄膜材料的研發(fā)及新應(yīng)用。
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Michelle Shi
應(yīng)用工程師 @KLA Instruments
Michelle Shi 是KLA Instrument Group Filmetrics 光學(xué)輪廓儀以及薄膜測量儀的應(yīng)用工程師。Michelle 于2019年5月加入KLA公司, 擔(dān)任Filmetrics薄膜測量以及光學(xué)輪廓產(chǎn)品的應(yīng)用,客戶支持以及業(yè)務(wù)開發(fā),主要支持Profilm3D光學(xué)輪廓儀以及Filmetrics全系列薄膜測量產(chǎn)品。在加入KLA之前,Michelle在美國俄亥俄大學(xué)獲得物理學(xué)碩士學(xué)位并在NASA Ames硅谷研究ZX進(jìn)行科學(xué)研究,以及在高新科技初創(chuàng)企業(yè)kaiaTech擔(dān)任高級(jí)工藝工程師負(fù)責(zé)半導(dǎo)體薄膜材料的研發(fā)及新應(yīng)用。
- KLA Instruments | Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時(shí)您的得力助手
課程推薦
KLA Instruments | Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時(shí)您的得力助手
※適合新老客戶了解學(xué)習(xí)膜厚儀的使用;加深對產(chǎn)品的理解。
FILMETRICS
超過8微米的厚膜會(huì)產(chǎn)生很多光干涉條紋。分析這樣復(fù)雜光譜的一個(gè)簡潔方法就是用快速傅里葉變換。FILMeasure 軟件包括一系列高智能方法來簡化光譜分析。這包括FFT窗口功能,波長范圍自動(dòng)優(yōu)化,以及光學(xué)厚度濾波。
我們會(huì)講到光斑尺寸的影響以及設(shè)備的選配。還會(huì)講到多層薄膜的應(yīng)用。下期預(yù)告:
時(shí)間:2020年9月17日 上午10點(diǎn)
敬請期待!(屆時(shí)注意查看推送文章)
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