KLA Instruments | Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時您的得力助手
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KLA Instruments | Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時您的得力助手
※適合新老客戶了解學(xué)習(xí)膜厚儀的使用;加深對產(chǎn)品的理解。
FILMETRICS
超過8微米的厚膜會產(chǎn)生很多光干涉條紋。分析這樣復(fù)雜光譜的一個簡潔方法就是用快速傅里葉變換。FILMeasure 軟件包括一系列高智能方法來簡化光譜分析。這包括FFT窗口功能,波長范圍自動優(yōu)化,以及光學(xué)厚度濾波。
我們會講到光斑尺寸的影響以及設(shè)備的選配。還會講到多層薄膜的應(yīng)用。下期預(yù)告:
時間:2020年9月17日 上午10點
敬請期待!(屆時注意查看推送文章)
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超過8微米的厚膜會產(chǎn)生很多光干涉條紋。分析這樣復(fù)雜光譜的一個簡潔方法就是用快速傅里葉變換。FILMeasure 軟件包括一系列高智能方法來簡化光譜分析。這包括FFT窗口功能,波長范圍自動優(yōu)化,以及光學(xué)厚度濾波。
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- 【課程推薦】KLA Instruments | Webinar課程:反射和透射:兩個優(yōu)于一個
優(yōu)尼康課程推薦
KLA Instruments | Webinar課程:反射和透射:兩個優(yōu)于一個。
※適合新老客戶了解學(xué)習(xí)膜厚儀的使用;加深對產(chǎn)品的理解。
FILMETRICS
同時測量光譜反射和透射對分析光學(xué)薄膜來講是非常重要的。歡迎來到F10-RT獨特的境界里。顯然這會限制我們只能用透明基底材料, 但這會讓我們更準(zhǔn)確地測量光學(xué)系數(shù) (特別是消光系數(shù))。除五彩繽紛的介電薄膜外我們還會討論上百納米厚的金屬薄膜。
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Michelle Shi
應(yīng)用工程師 @KLA Instruments
Michelle Shi 是KLA Instrument Group Filmetrics 光學(xué)輪廓儀以及薄膜測量儀的應(yīng)用工程師。Michelle 于2019年5月加入KLA公司, 擔(dān)任Filmetrics薄膜測量以及光學(xué)輪廓產(chǎn)品的應(yīng)用,客戶支持以及業(yè)務(wù)開發(fā),主要支持Profilm3D光學(xué)輪廓儀以及Filmetrics全系列薄膜測量產(chǎn)品。在加入KLA之前,Michelle在美國俄亥俄大學(xué)獲得物理學(xué)碩士學(xué)位并在NASA Ames硅谷研究ZX進行科學(xué)研究,以及在高新科技初創(chuàng)企業(yè)kaiaTech擔(dān)任高級工藝工程師負責(zé)半導(dǎo)體薄膜材料的研發(fā)及新應(yīng)用。
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光學(xué)膜厚儀(SpectraThick series)的特點是非接觸, 非破壞方式測量,無需樣品的前處理,軟件支持Windows操作系統(tǒng)等。
Filmetrics的光學(xué)膜厚儀使用的是白光干涉的原理,從而對樣品表面的膜層進行測量,基本上所有光滑的、半透明的或者地吸收洗漱的薄膜都可以進行測量。
不管是打算測量薄膜厚度,還是光學(xué)常數(shù),或者是打算知道材料的反射率和透過率,優(yōu)尼康科技有限公司提供的儀器都可以滿足你的需求,通過簡單安裝,連接電腦,就可以很快測量出結(jié)果。
這種產(chǎn)品主要應(yīng)用在,
半導(dǎo)體行業(yè)如:光刻膠的厚度測量;加工膜層的厚度測量,介電層的厚度測量等。
液晶顯示器行業(yè)如:OLED領(lǐng)域各種透明薄膜的厚度測量,玻璃上面涂層的厚度測量等
光學(xué)鍍層行業(yè)如:硬涂層,抗反射層等涂層厚度測量。
生物醫(yī)學(xué)行業(yè)如:聚對二甲苯,YL器械等領(lǐng)域可透光涂層膜厚的測量。
光學(xué)膜厚儀應(yīng)用領(lǐng)域極其廣闊,適用于多種行業(yè)以及大學(xué)實驗室等,提供低至納米級別的薄膜厚度測量可能。
優(yōu)尼康科技有限公司還提供專業(yè)的膜厚測量咨詢服務(wù),可以免費測樣,幫助企業(yè)或?qū)W校定制解決方案,更有更多產(chǎn)品等你咨詢了解。
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