微透鏡

(a) 為微透鏡的大視野3D圖像，通過hitachi MAP 3D 將多張3D 圖像拼接而成。

(b) 為（a）中紅框部分的形貌像。通過顏色標(biāo)尺很容易確定高度信息。

(c)(d)是提取的圖.1(b)中劃線區(qū)域的結(jié)果，可以獲得每個(gè)透鏡（箭頭 0-1, 2-3）的水平距離、垂直高度以及頂部和底部的角度。

所以，使用Hitachi Map 3D可以獲得大視野3D圖像和截面輪廓信息。

(a)拼接后的3D圖像(x2k), (b)紅框內(nèi)的形貌圖

（c）(b)中劃線區(qū)域的截面

觀察機(jī)型：FlexSEM1000 

觀察條件：5 kV, 2000倍, 30Pa 軟件：Hitachi Map 3D

Material

【大視野3D觀察】

FlexSEM1000

除了加速電壓、樣品的導(dǎo)電性、電鏡的束流強(qiáng)度，像散、圖像的亮度對(duì)比度等都會(huì)影響掃描電鏡圖像的成像質(zhì)量。

今天，這一篇文章將教大家了解消除像散的重要性，提高樣品的成像質(zhì)量。

像散的定義可能會(huì)比較抽像，所以，小編用近視的散光來進(jìn)行對(duì)比：

當(dāng)近視看月亮?xí)r，月亮?xí)容^模糊，但仍是一個(gè)圓形。

當(dāng)近視有散光看月亮?xí)r，看到的月亮?xí)霈F(xiàn)變形。

電鏡的像散就如同散光，當(dāng)圖像有像散時(shí)，在聚焦的過程中會(huì)發(fā)現(xiàn)圖像拉伸變形，失去原本的形狀，這也是判斷像散的依據(jù)。如果在聚焦的過程中，沒有發(fā)現(xiàn)圖像出現(xiàn)拉伸變形，僅僅只是圖像虛化，那便說明沒有像散。

像散是影響圖像清晰度的重要因素。尤其是高倍圖片——在用高加速電壓、低束流拍攝高倍率圖片時(shí)，一般都需要進(jìn)行消像散。下面，通過幾組圖片，讓大家更好的理解消像散對(duì)高倍率圖像的重要性。

錫球，放大倍數(shù)是 79000 倍，左邊圖像無像散，右邊圖像有像散

電極材料，放大倍數(shù) 50000 倍，左邊圖像無像散，右邊圖片有像散

炭材料，放大倍數(shù) 20000 倍，左邊圖像無像散，右邊圖片有像散

當(dāng)掃描電鏡圖像出現(xiàn)像散時(shí)，對(duì)其進(jìn)行聚焦，圖像會(huì)出現(xiàn)拉伸感，如下圖所示，消像散需要實(shí)驗(yàn)員具有豐富的操作經(jīng)驗(yàn)，才能準(zhǔn)確識(shí)別并消除象散。

飛納電鏡 Rel 4.6 的自動(dòng)消像散功能可以輕松解決掃描電鏡初級(jí)操作者無法熟練消像散的問題。