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求用橢圓偏振法測量薄膜厚度及折射率的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

sunrubing1111 2013-06-04 08:17:19 531  瀏覽
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  • fsq9264543 2013-06-05 00:00:00
    橢圓偏振光法測定介質(zhì)薄膜的厚度和折射率 在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中,薄膜有著廣泛的應(yīng)用。因此測量薄膜的技術(shù)也有了很大的發(fā)展,橢偏法就是70年代以來隨著電子計(jì)算機(jī)的廣泛應(yīng)用而發(fā)展起來的目前已有的測量薄膜的Z精確的方法之一。橢偏法測量具有如下特點(diǎn): 能測量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2個數(shù)量級。 是一種無損測量,不必特別制備樣品,也不損壞樣品,比其它精密方法:如稱重法、定量化學(xué)分析法簡便。 可同時測量膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)。因此可以作為分析工具使用。 對一些表面結(jié)構(gòu)、表面過程和表面反應(yīng)相當(dāng)敏感。是研究表面物理的一種方法 橢偏儀的光路圖 橢偏儀的基本原理 入射光的P分量 入射光的S分量 反射光的P分量和S分量的比值—橢圓參量 r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1, n2, n3,f1,d,l)

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薄膜厚度和表面測量先進(jìn)技術(shù)研討會

會議概況

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專家精彩的報(bào)告

該次邀請了清華大學(xué),北京大學(xué),北京理工大學(xué)的專家作為演講嘉賓,分別與我們分享了On-line 膜厚監(jiān)控在超精密切削加工中的應(yīng)用、可集成自由電子輻射器件的研究、The Research Progresses in 21’ Wafers HVPE System and GaN Single-crystal Substrates。另外還邀請了lingxian的設(shè)備供應(yīng)商KLA-Tencor公司的幾位博士為我們帶來精彩的分享演講。分享的主題分別為:KLA Profiler products introduction and its applications、Advances in Spectral Reflectance Measurement and Cloud-Based 3D Analysis、Nano Indenter G200 and its applications、ZETA Multi-mode optical profiler introduction and applications。

 

研討&展示相得益彰

該研討會,除了聆聽專家分享演講外,受邀參會的高校、科研院所、高科技企業(yè)的人員還可以在現(xiàn)場觀摩我司的產(chǎn)品、技術(shù)應(yīng)用深入交流、現(xiàn)場測樣。其中不乏一些用戶就現(xiàn)場對產(chǎn)品表示的濃烈興趣。參加人員表示,此次活動受益匪淺。


現(xiàn)場精彩時刻


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