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如何測量薄膜的厚度

teng19540810 2018-05-17 00:49:12 821  瀏覽
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全部評論(3條)

  • 玉瑤英蕊 2018-05-18 00:00:00
    親:可以用外徑千分尺來測量薄膜的厚度嘛!

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  • tanvth5173 2018-05-19 00:00:00
    用卡尺,薄膜疊十層測出再除以十。當(dāng)年我就是這么測的。

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  • fnaticzjpi 2018-05-25 00:00:00
    薄膜厚度是否均勻一致是檢測薄膜各項(xiàng)性能的基礎(chǔ)。很顯然,倘若一批單層薄膜厚度不均勻,不但影響到薄膜各處的拉伸強(qiáng)度、阻隔性等,更會(huì)影響薄膜的后續(xù)加工。對于復(fù)合薄膜,厚度的均勻性更加重要。薄膜的厚度測量是薄膜制造業(yè)的基礎(chǔ)檢測項(xiàng)目之一。 目前測量薄膜的厚度的方法有在線測厚和非在線測厚 在線測厚較為常見的在線測厚技術(shù)有β射線技術(shù),X射線技術(shù)和近紅外技術(shù)。 β射線技術(shù)是Z先應(yīng)用于在線測厚技術(shù)上的射線技術(shù)。在上世紀(jì)60年代就已經(jīng)廣泛用于超薄薄膜的在線厚度測量了。它對于測量物沒有要求,但β傳感器對溫度和大氣壓的變化、以及薄膜上下波動(dòng)敏感,設(shè)備對于輻射保護(hù)裝置要求很高,而且信號(hào)源更換費(fèi)用昂貴,Pm147源可以用5-6年,Kr85源可用10年,更換費(fèi)用均在6000美元左右。 X射線技術(shù) 這種技術(shù)極少為塑料薄膜生產(chǎn)線所采用。X光管壽命短,更換費(fèi)用昂貴,一般可用2-3年,更換費(fèi)用在5000美元左右,而且不適用于測量多種元素構(gòu)成的聚合物,信號(hào)源發(fā)射性強(qiáng)。X射線技術(shù)常用于鋼板等單一元素的測量。 近紅外技術(shù) 近紅外技術(shù)在在線測厚領(lǐng)域的應(yīng)用曾受到條紋干涉現(xiàn)象的影響,但現(xiàn)在近紅外技術(shù)已經(jīng)突破了條紋干涉現(xiàn)象對于超薄薄膜厚度測量的限制,完全可以進(jìn)行多層薄膜總厚度的測量,并且由于紅外技術(shù)自身的特點(diǎn),還可以在測量復(fù)合薄膜總厚度的同時(shí)給出每一層材料的厚度。近紅外技術(shù)可用于雙向拉伸薄膜、流延膜和多層共擠薄膜,信號(hào)源無放射性,設(shè)備維護(hù)難度相對較低。 非在線測厚 非在線測厚技術(shù)主要有一觸式測量法和非接觸式測量法兩類,接觸式測量法主要是機(jī)械測量法,非接觸式測量法包括光學(xué)測量法,電渦流測量法、超聲波測量法等。由于非在線測厚儀設(shè)備價(jià)格便宜、體積小等原因,應(yīng)用領(lǐng)域廣闊。 渦流測厚儀和磁性測厚儀 渦流測厚儀和磁性測厚儀一般都是小型便攜式設(shè)備,分別利用了電渦流原理和電磁感應(yīng)原理。專用于各種特定涂層厚度的測量,用于測量薄膜、紙張的厚度時(shí)有出現(xiàn)誤差的可能。 超聲波厚度儀 超聲波厚度儀也多是小型便攜帶設(shè)備,利用超聲波反射原理,可測金屬、塑料、陶瓷、玻璃及其它任何超聲波良導(dǎo)體的厚度??稍诟邷叵鹿ぷ鳎@是很多其它類型的測厚儀所不具備的,但對檢測試樣的種類具有選擇性。 光學(xué)測厚儀 從測量原理上來說光學(xué)測厚儀可達(dá)到極高的測試精度,但是這類測厚儀在使用及維護(hù)上要求極高;必須遠(yuǎn)離振源;嚴(yán)格防塵;專業(yè)操作及維護(hù)等。使用范圍較窄,僅適用于復(fù)合層數(shù)較少的復(fù)合膜。 機(jī)械測厚儀 機(jī)械測厚儀可以分為點(diǎn)接觸式和面接觸式兩類,是一種接觸式測厚方法,它與非接觸式測量方法有著本質(zhì)的區(qū)別——能夠在進(jìn)行厚度測量前給試樣測量表面施加一定的壓力(點(diǎn)接觸力或面接觸力),這樣可以避免在使用非接觸式測厚儀測量那些具有一定壓縮力、表面高低不平的材料時(shí)可能出現(xiàn)數(shù)據(jù)波動(dòng)較大的現(xiàn)象。 所以具體要選擇哪一類測厚儀設(shè)備還需根據(jù)軟包裝材料的種類,廠家對厚度均勻性的要求、以及設(shè)備的測試范圍等因素而定。 本答案源于PP論壇

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專家精彩的報(bào)告

該次邀請了清華大學(xué),北京大學(xué),北京理工大學(xué)的專家作為演講嘉賓,分別與我們分享了On-line 膜厚監(jiān)控在超精密切削加工中的應(yīng)用、可集成自由電子輻射器件的研究、The Research Progresses in 21’ Wafers HVPE System and GaN Single-crystal Substrates。另外還邀請了lingxian的設(shè)備供應(yīng)商KLA-Tencor公司的幾位博士為我們帶來精彩的分享演講。分享的主題分別為:KLA Profiler products introduction and its applications、Advances in Spectral Reflectance Measurement and Cloud-Based 3D Analysis、Nano Indenter G200 and its applications、ZETA Multi-mode optical profiler introduction and applications。

 

研討&展示相得益彰

該研討會(huì),除了聆聽專家分享演講外,受邀參會(huì)的高校、科研院所、高科技企業(yè)的人員還可以在現(xiàn)場觀摩我司的產(chǎn)品、技術(shù)應(yīng)用深入交流、現(xiàn)場測樣。其中不乏一些用戶就現(xiàn)場對產(chǎn)品表示的濃烈興趣。參加人員表示,此次活動(dòng)受益匪淺。


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