1.4.如果峰形解析不正確（未完全分離的重疊峰），可能會被誤認為柱（色譜柱）或緩沖液的問題。

如果僅部分解析兩個峰形（兩個峰僅有部分分開），則可能會認為其是裂峰或雙峰。如圖4顯示的情形。

在圖4a中，可觀察到與圖3極為類似的峰值變形（峰變形），其表明玻璃料被堵塞（篩板堵塞）。

改變柱并未糾正這個問題（更換色譜柱不能解決此問題），所以玻璃料（篩板）堵塞并非導致這一現(xiàn)象的原因。如果柱上樣品的質量減少（減少上樣量）（圖4b），峰形看起來更像是兩個峰，而不是一個肩形峰。

這便需要進一步研究，以確定是否存在第二個峰?？梢酝ㄟ^修改方法條件來完全分離兩個峰（由此進行了進一步的研究，證實了存在第二個峰。

調整方法的條件后，兩個峰完全分離）。

圖4. 由于存在第二個組分而產生分裂峰。

（a）25ng / mL，和（b）等離子體中10ng/ mL的藥物（第二個峰）（10 ng/mL血漿中的藥物（第二個峰））。來源[1]。

作者：郭睿

一 問題的提出

       重疊峰的剝離是電子探針分析的難點之一。例如，TiN 作為涂層材料經(jīng)常被要求給出準確的定量分析數(shù)據(jù)。

       N Kα 和 Ti Ll 線系相差僅 3eV（N Ka=0.392keV；Ti Ll=0.395keV），即使當前Z高 級別的電子探針波譜儀也無法將二者分開。忽略 Ti Ll 線系對 N Kα 線的“貢獻”會造成定量分析結果的嚴重偏差。

       日本電子的探針提供一個標準軟件（Interference Correction），可以很好的解決這一問題。

二 解決辦法的物理背景

       上圖是待測樣品 TiN 的電子探針分析圖。右上圖為 LIH 晶體測得的 Ti 的主線系 Ti Kα， 左上圖為使用 LDE1 晶體測得的 N Kα 譜圖（紅色為 N 的譜圖，黑色為 Ti 的次級線系Ti Ll 和 Ti Ln 的譜圖，以下簡稱為 Ti Ll 譜圖）。左上圖中黃色線段是 Ti 的“貢獻”，是需要扣除的，我們稱之為“干擾峰強度”，紅色線段是我們所需要的 N 的真實峰值，我們稱之為“待測元素實際強度”。

       Interference Correction 方法的關鍵點就是準確測量校正系數(shù) α，α=標準樣品 Ti Ll 強度值/標準樣品 Ti Kα 標準樣品強度值，如下圖所示：

干擾峰 Ti Ll 的強度值=α*待測樣品 Ti Kα 的實際強度值

待測元素 N Kα 的強度值（凈值）=N Kα 峰值處實測強度值 - 干擾峰 Ti Ll 的強度值

操作步驟如下：

       ? 選擇區(qū)別于待測樣品 TiN 的含 N 標準樣品，例如 BN，準確測量 N 的峰值和左、右

背景值

       ? 選擇區(qū)別于待測樣品 TiN 的含 Ti 標準樣品，例如純 Ti，準確測量 Ti 的 Ti Kα 峰值以及在 N 元素峰值處的 Ti Ll 強度值（注意不是 Ti Ll 的峰值），以便獲得準確的干擾系數(shù) α ? 實測待測樣品 TiN 中的 Ti Kα 的強度值以及 N 元素 Kα 峰值處的強度值，程序會自動獲得 N 元素 Kα 的凈值

三 具體實驗步驟

1．標準樣品的錄入和標樣的測量

       ? 將 Ti 的標準樣品純 Ti 和 N 的標準樣品 BN，以及 TiN 樣品裝入探針內

       ? 錄入 Ti 的標樣和 N 的標樣信息，注意：準確找到標準樣品位置，將十字叉絲調節(jié)清晰，錄入標準樣品的名稱，成份信息，以及位置信息

       ? 將 N 標樣 BN 進行標樣檢測，電子光學條件是 20kV，50nA，如下圖所示：

       ? 將 Ti 的標樣進行標樣檢測，電子光學條件同上，如下圖所示：

2． 常規(guī)方法進行未知樣品 TiN 的定量分析（不使用 Interference Correction 校正） 

       ? “未知樣品”選擇的是國產標樣 TiN（Ti:77.37%;N: 27.6%;純度 99.97%） 

       ? 對上述 TiN 樣品進行常規(guī)定量分析，電子光學條件 20kV,50nA，Ti 選擇的是 PETJ

       晶體，N 選擇的是 LDE1H，并采用的 Metal-ZAF 定量分析方法，如下圖所示：

       ? 注意上述紅框中未“勾選”，這意味著定量分析未進行重疊峰校正

       ? 鼠標單擊 Data-Selection 對話框中的文件夾，可以進行標樣的存儲路徑選擇，選擇合適的標樣

       ? N 元素的左、右背景值分別選擇 10mm，選擇好 N 的標準樣品數(shù)據(jù)

       ? 執(zhí)行定量分析后，得到如下圖的結果。與國產標樣 TiN 的真實含量進行比對，發(fā)現(xiàn)定量數(shù)據(jù)偏差較大，而且總量偏差也較大

       標樣數(shù)值：Ti:77.37%;N: 22.6%;純度 99.97% 

       未經(jīng)重疊峰校正的定量分析數(shù)值：Ti:79.46%;N: 25.96%;總量 105.4%

3. 使用 Interference Correction 校正進行未知樣品 TiN 的定量分析

       ? 將 TiN 作為待測樣品進行檢測，電子光學條件 20kV,50nA，Ti 選擇的是 PETJ，N 選擇的是 LDE1H，采用的是 Metal-ZAF 定量分析條件，

       如下圖所示：

       ? 鼠標單擊 Data-Selection 對話框中的文件夾，可以進行標樣的存儲路徑選擇，選擇合適的標樣

       ? N 元素的左、右背景值選擇 10mm，選擇好 N 的標準樣品數(shù)據(jù)

       ? 在 Quantitative analysis condition 中，在 Interference Correction下面的 Apply 前的復選框打鉤。在 Element 下選擇 N 以及通道和分光晶體，注意，這里選擇的是被干擾元素。這與 Analysis Element Condition中選擇 N 的通道和分光晶體對應。在 Interference 下面選擇 Ti 以及通道和分光晶體，注意，這里選擇的是干擾元素。這與 Analysis ElementCondition 中選擇 Ti 的通道和分光晶體對應。

       ? 點擊 Calibrate，目的是要計算 Ratio，會有對話框彈出，再確認 Ti 的標準樣品（純 Ti）以及 N 的標準樣品（BN）的坐標位置，以及十字叉絲調節(jié)清晰，確認無誤后，點擊 Start。

       ? Ratio 下面顯示開始運行“Running”

       ? 程序運行完成后，Radio 得到值 0.0100（程序運算值），并自動顯示

       ? 執(zhí)行定量分析后，得到如下圖的結果，與 TiN 的真實含量以及未經(jīng)校正得到的定量數(shù)據(jù)比對，發(fā)現(xiàn)經(jīng)過重疊峰校正后的數(shù)據(jù)明顯、大幅改善，說明該種校正非常有效。

       標樣數(shù)值：Ti:77.37%;N: 22.6%;純度 99.97% 

       經(jīng)重疊峰校正的定量分析數(shù)值：Ti:78.96%;N: 21.09%;總量 100.05%

四 總結

       ? Interference Correction 可以有效地解決電子探針中重疊峰的問題，對重疊峰有效地剝離，正確的計算出兩個重疊元素各自真實的含量。

       ? 電子探針中還有其它重疊峰剝離方法，例如 Spectrum De-convolution Analysis Program 程序，該程序是利用Z小二乘法進行重疊峰的剝離，屬于選購軟件，我們不建議推薦該軟件。因為標準配Interference Correction 方法能夠勝任大多數(shù)工作。

五 小知識

       ? 如何判斷出兩個元素重疊與否呢？在 Analysis Element Condition 中，選擇這兩個元素，如下圖所示，選擇 Ti 與 N，點擊 Peak Overlap

       ? 如下圖所示，藍色區(qū)域：N Kα 線峰 peak 位置和 Ti Ll 一階線非常相近，兩條線的 L 值的“diff”距離是 0.889mm；N Kα 線下背底“bg-”位置和 Ti LN 一階線非常相近，兩條線的 L 值的“diff”距離是 1.922mm