文丨儲(chǔ)金村
編輯丨市場(chǎng)部
發(fā)布丨先鋒科技
技術(shù)背景與行業(yè)痛點(diǎn)
半導(dǎo)體制造進(jìn)入納米級(jí)工藝時(shí)代,晶圓缺陷檢測(cè)面臨三大挑戰(zhàn):
1)深紫外波段光學(xué)噪聲干擾:傳統(tǒng)偏振片在200-400nm波段透光率不足,導(dǎo)致缺陷信號(hào)被噪聲掩蓋;
2)真空腔體污染風(fēng)險(xiǎn):雜散光吸收材料釋氣率超標(biāo)引發(fā)EUV光刻系統(tǒng)穩(wěn)定性下降;
3)套刻誤差測(cè)量精度不足:位置探測(cè)器線性度誤差>0.5%時(shí),28nm以下圖形套刻偏差難以控制。
本方案整合Moxtek、Acktar、On-Trak三家光學(xué)元件產(chǎn)品,覆蓋“光路控制-雜散光抑制-定位測(cè)量”等方面檢測(cè)需求,為28nm以下晶圓缺陷檢測(cè)技術(shù)提供關(guān)鍵光學(xué)元件支撐。
核心光學(xué)元件技術(shù)解析
Moxtek金屬線柵紫外偏振片
型號(hào):UVT240A / UVX240A / UVD240A / UCMNATC0
??名家專欄 | 量子科技在光電領(lǐng)域的應(yīng)用
??【聚焦光譜】斯坦福(SRS)品牌儀器現(xiàn)貨供應(yīng)!
??【聚焦光度色度】光度色度學(xué)基礎(chǔ)知識(shí)介紹
全部評(píng)論(0條)
登錄或新用戶注冊(cè)
請(qǐng)用手機(jī)微信掃描下方二維碼
快速登錄或注冊(cè)新賬號(hào)
微信掃碼,手機(jī)電腦聯(lián)動(dòng)
PR1050超寬動(dòng)態(tài)范圍光譜式輻射亮度計(jì)
報(bào)價(jià):面議 已咨詢 29次
手電筒式紫外燈
報(bào)價(jià):面議 已咨詢 9次
光源影像式角度計(jì)SIG-400
報(bào)價(jià):面議 已咨詢 57次
USB2.0 B系列帶幀緩沖相機(jī)
報(bào)價(jià):面議 已咨詢 0次
手持無(wú)風(fēng)扇紫外燈-uVision系列
報(bào)價(jià):面議 已咨詢 8次
先鋒代理-PB2X系列硫化鉛探測(cè)器
報(bào)價(jià):面議 已咨詢 23次
紫外交聯(lián)儀
報(bào)價(jià):面議 已咨詢 6次
鍍磷光材料CCD相機(jī)
報(bào)價(jià):面議 已咨詢 2次
①本文由儀器網(wǎng)入駐的作者或注冊(cè)的會(huì)員撰寫并發(fā)布,觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表儀器網(wǎng)立場(chǎng)。若內(nèi)容侵犯到您的合法權(quán)益,請(qǐng)及時(shí)告訴,我們立即通知作者,并馬上刪除。
②凡本網(wǎng)注明"來(lái)源:儀器網(wǎng)"的所有作品,版權(quán)均屬于儀器網(wǎng),轉(zhuǎn)載時(shí)須經(jīng)本網(wǎng)同意,并請(qǐng)注明儀器網(wǎng)(m.sdczts.cn)。
③本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明來(lái)源的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或證實(shí)其內(nèi)容的真實(shí)性,不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品來(lái)源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
④若本站內(nèi)容侵犯到您的合法權(quán)益,請(qǐng)及時(shí)告訴,我們馬上修改或刪除。郵箱:hezou_yiqi
斷路器柜局放監(jiān)測(cè)裝置-實(shí)時(shí)響應(yīng)
參與評(píng)論
登錄后參與評(píng)論