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產(chǎn)品速遞|半導體專用超純水機ω系列

來源:島津(上海)實驗器材有限公司 更新時間:2023-09-27 11:53:51 閱讀量:1234
導讀:將零雜質(zhì)、多用途、高配置做到極致。



半導體專用

超純水機ω系列




半導體芯片、半導體材料以及半導體器件制造過程中如果有痕量元素污染會影響硅片性能從而導致缺陷,因此在晶圓制造過程中都需要使用超純水和高純度化學品以Z大程度降低污染,在對應控制實驗室也要求使用超純水對半導體行業(yè)中所用的高純化學品進行超痕量分析,為了保證檢測結(jié)果,需要低背景超純水。




將零雜質(zhì)做到”極致”

對痕量分析、高靈敏度分析產(chǎn)生影響的超純水水質(zhì),超純水的質(zhì)量影響微量分析和高靈敏度分析。無限純凈的“H2O",電阻率 18.2MΩ?cm,TOC≦1ppb,二氧化硅<0.1ppb,硼<10ppt。采用高品質(zhì)下一代超純水離子交換樹脂。


將多用途做到“極致”

為了能夠無污染地使用超純水,功能方面也做到了極致。采用可進行單滴取水的高性能取水器,可做到定量取水、腳踏開關(guān)水采樣。


將高配置做到“極致“

考慮到實驗室的安裝環(huán)境,簡單是Z好的!純水水箱內(nèi)置的一體機包裝,無需多余架臺。 裝置附有腳輪,易于移動和搬遷。


用途


超純水的雜質(zhì)主要分為三類:

痕量金屬雜質(zhì),容易污染的比如鈉、鉀、鈣、鎂、硼等,同時需要控制特殊工藝受到影響的元素。

痕量陰陽離子雜質(zhì),如常見的陰離子為氟離子、氯離子、硝酸根、硫酸根、磷酸根等,陽離子如銨根、鋰、鈉、鉀、鎂、鈣等離子。

痕量的有機污染物等。


由于雜質(zhì)要求達到ppt等級時,電導率不再是可以表征超純水中雜質(zhì),特別是金屬雜質(zhì)和陰陽離子雜質(zhì)的有效手段。只能通過用先進的分析儀器來測定金屬和離子的真實含量,才能了解超純水的真實質(zhì)量。




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