KLA R54 四探針電阻率測(cè)量?jī)x是KLA的電阻率測(cè)量產(chǎn)品。從半導(dǎo)體制造到實(shí)現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要。KLA R54 四探針電阻率測(cè)量?jī)x在功能上針對(duì)金屬薄膜均勻性測(cè)繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測(cè)量以及非接觸式薄膜厚度測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化。

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該儀器傳感器陣列由16(12)個(gè)獨(dú)立傳感器組成，每個(gè)傳感器都可以測(cè)得一條套管壁厚曲線，即可測(cè)量?jī)?nèi)層管厚度及損傷情況，還可測(cè)量外層套管的厚度。

美國(guó)Extech CG204型電磁/電渦流測(cè)厚儀，雙技術(shù)提供自動(dòng)識(shí)別鐵基和非鐵基。