布魯克eWARP直接電子探測EBSD+EDS QUANTAX XFlash 760同步聯(lián)用模式，實現(xiàn)同一像素、同一時間、同步采集兩組核心數(shù)據(jù)：EBSD菊池衍射花樣（晶體學(xué)信息）+ EDS能譜（元素定量定性信息），用成分?jǐn)?shù)據(jù)彌補晶體學(xué)分辨短板，實現(xiàn)精準(zhǔn)相分離。

參數(shù)設(shè)置（低電壓、小步長，適配超細晶銅組織）：

10 kV 

1245 pps

30 nm pixel size 

僅使用EBSD采集時，Cu 與 Al雖成分截然不同，但均為 FCC 結(jié)構(gòu)、晶體學(xué)特征相近，因而其菊池衍射花樣的幾何特征高度相似，系統(tǒng)無法通過衍射特征判別相種類，最終相圖僅呈現(xiàn)Cu相，無有效相區(qū)分，微觀組織分布完全失真，無法支撐后續(xù)分析。

啟用EDS與EBSD同步聯(lián)用后，依托EDS精準(zhǔn)定量Cu、Al元素分布，結(jié)合EBSD晶體學(xué)數(shù)據(jù)進行聯(lián)合重分析，實現(xiàn)Cu、Al兩相完美物相分離，此外，借助eWARP超高靈敏度特性，使用低電壓進行EBSD分析，輕松表征變形超細晶銅組織。

無論是金屬合金、礦物材料還是功能陶瓷，這套方案都能提供更全面、更精準(zhǔn)的微觀表征解決方案，助力科研與工業(yè)質(zhì)控提質(zhì)增效。

布魯克 EDS-EBSD 同步聯(lián)用技術(shù)，以成分定量 + 晶體學(xué)解析雙維度約束，讓同構(gòu)異質(zhì)雙相材料的物相分離，從 “難以分辨” 變?yōu)?“精準(zhǔn)高效”，為材料微觀表征提供更可靠的解決方案

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布魯克電子顯微分析

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