【參會(huì)指南】

?? 時(shí)間：2025年3月26日-28日

?? 地點(diǎn)：上海新國(guó)際博覽中心

（上海市浦東新區(qū)龍陽(yáng)路2345號(hào)上海新國(guó)際博覽中心）

?? Park展位號(hào)：E6館 6455

?? 電子版邀請(qǐng)函請(qǐng)點(diǎn)擊文末‘閱讀原文’鎖定專屬洽談時(shí)段！

展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)準(zhǔn)備了潔凈室拼裝積木，保溫杯，Park吉祥物娃娃，毛絨鑰匙扣，手機(jī)支架，VIP套裝等上千份禮品，歡迎您的光臨！

? NX-TSH 400TF

半導(dǎo)體Tape Frame封裝納米計(jì)量解決方案

- Tape Frame無(wú)縫兼容： 

NX-TSH400TF支持薄膜Tape Frame樣品的直接測(cè)量，實(shí)現(xiàn)高效無(wú)損的操作流程。

- 納米級(jí)測(cè)量精度: 

實(shí)現(xiàn)晶圓圖案臨界尺寸（CD）、深度及表面粗糙度的納米級(jí)精確測(cè)量。

- 精準(zhǔn)量化的3D形貌: 

完整量化 Cu Pad Recess、Ox層粗糙度等納米級(jí)測(cè)量細(xì)節(jié)，滿足 Hybrid Bonding等先進(jìn)封裝的量測(cè)需求。

- 全流程自動(dòng)化: 

集成晶圓自動(dòng)傳輸系統(tǒng)，涵蓋自動(dòng)定位、測(cè)量與分析等，確保工業(yè)級(jí)測(cè)量吞吐量。

- 超穩(wěn)定測(cè)量環(huán)境: 

采用多級(jí)隔離技術(shù)，有效抑制顆粒污染、噪聲、環(huán)境振動(dòng)及靜電干擾，保障測(cè)量重復(fù)性與穩(wěn)定性。

FX300 IR

納米級(jí)紅外光譜與原子力顯微鏡聯(lián)用技術(shù)，

支持高精度化學(xué)表征。

? AFM與紅外光譜聯(lián)用系統(tǒng)升級(jí)分析

?PiFM納米級(jí)分子分析能力， 能夠提供~5 nm空間分辨率的紅外光譜分析。

? 自動(dòng)化IR激光校準(zhǔn)系統(tǒng)