四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。

       四探針測試儀操作規(guī)程:

      1.接上電源,開啟主機(jī),此時(shí)"Rn"和"I”指示燈亮。預(yù)熱約5分鐘。

      2.檢查工作條件:工作溫度23+2°C ,相對濕度為65% ,滿足以.上條件方可進(jìn)行下面操作。

      3.根據(jù)硅片的直徑厚度以及探針的修正系數(shù),計(jì)算出所測硅片和標(biāo)準(zhǔn)樣片的電流值。

      4.取下測頭保護(hù)罩,用酒精棉球擦拭測頭及工作平臺(tái)。

      5.根據(jù)每個(gè)合同所要求電阻率值的范圍,按說明書選擇電流量程。

      6.用標(biāo)準(zhǔn)樣片對測試儀進(jìn)行校正,在硅片中心處至少檢測3點(diǎn),其.平均值和標(biāo)準(zhǔn)樣片電阻值進(jìn)行比較,差值在1.5%之內(nèi),即可進(jìn)行檢測。

      7.將已噴砂好的硅棒或者表面潔凈的硅片放入探針架測試臺(tái)面中心位置進(jìn)行測試。

      8.探針壓在硅棒/片端面.上的中心點(diǎn),十點(diǎn)法要求對.上、下端面測量，測量值穩(wěn)定此時(shí)讀取顯示屏顯示的電阻率值,并記錄測量值。如果有軸向測試要求,則將硅棒軸向端面進(jìn)行打磨后測試軸向電阻率。

      9.若測量過程中,顯示屏出現(xiàn)測量值波動(dòng)不穩(wěn)定,*出偏差范圍停止工作,檢查室溫、硅棒測量面、及顯示器是否出現(xiàn)異常。

      10.整批測量完成,探針加上護(hù)罩,升降架下降到測量臺(tái)面.上方5cm-8cm處。關(guān)閉電源開關(guān)。

      四探針測試儀采用了* 新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。