雙電測數(shù)字式四探針測試儀/雙電測四探針檢測儀 型號(hào):HAD-2263 概述 HAD-2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測-改進(jìn)形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)利用電流探針電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高極ng確度，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測試 儀器成套組成：由主機(jī)選配的四探針探頭測試臺(tái)以及PC軟件等部分組成 主機(jī)主要由精密恒流源高分辨率ADC嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成，USB通訊接口儀器主機(jī)所有參數(shù)設(shè)定功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入；具有零位滿度自校功能；測試功能可自動(dòng)/手動(dòng)方式；儀器操作可由配套軟件在PC機(jī)上操作完成，也可脫P(yáng)C機(jī)由四探針儀器面板上獨(dú)立操作完成測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示，也可連機(jī)由軟件界面同步顯示分析保存和打印！ 探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體金屬導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜金屬涂層或薄膜陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻換上四端子測試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻金屬導(dǎo)體的低中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量 測試臺(tái)選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配HAD-A或HAD-B或HAD-C或HAD-F型測試臺(tái) 詳見四探針儀器探頭和測試臺(tái)的特點(diǎn)與選型參考 儀器具有測量精度高靈敏度高穩(wěn)定性好智能化程度高測量簡便結(jié)構(gòu)緊湊使用方便等特點(diǎn) 儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠科研單位高等院校對(duì)導(dǎo)體半導(dǎo)體類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測試 三基本技術(shù)參數(shù) 3.1 測量范圍 電阻率：1×10-4～2×105 -cm，分辨率：1×10-5～1×102 -cm 方 阻：5×10-4～1×106 /，分辨率：5×10-5～1×102 / 電 阻：1×10-5～2×105 ，分辨率：1×10-6～1×102 3.2 材料尺寸(由選配測試臺(tái)決定和測試方式?jīng)Q定) 直 徑：HAD-A圓測試臺(tái)直接測試方式 15～130mm，手持方式不限 HAD-B/C/F方測試臺(tái)直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限. 長(高)度：測試臺(tái)直接測試方式 H100mm, 手持方式不限. 測量方位: 軸向徑向均可 量程劃分及誤差等級(jí) 滿度顯示 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 常規(guī)量程 k-cm/ k-cm/ -cm/ m-cm/ 基本誤差 ±2%FSB ±4LSB ±1.5%FSB ±4LSB ±0.5%FSB±2LSB ±1.0%FSB ±4LSB 四探針探頭（選配其一或加配全部） (1)碳化鎢探針：0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào) (2)薄膜方阻探針：0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào) 3.6 電源 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W 3.7 外形尺寸： 主機(jī) 220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高）