某專門生產(chǎn)半導(dǎo)體配件公司采用移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 對(duì)高端不銹鋼管, 閥門和歧管等配件進(jìn)行檢漏, 以驗(yàn)收管件是否達(dá)標(biāo). 其產(chǎn)品漏率值需要達(dá)到 10-9mar l/s.
伯東 Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜測漏儀 ASM390 技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | ASM390 |
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 |
Z小檢測漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
對(duì)氦氣的抽速 | 10 l/s |
前級(jí)泵抽速 | 35 m3/h |
進(jìn)氣口Z/大壓力 | 20 mbar |
無校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間(20°C) | 2 min |
進(jìn)氣口 | DN 40 ISO-KF |
響應(yīng)時(shí)間 | < 1 s |
Interface, 選配 | RS-232, I/O, Ethernet |
噪音 | ≤ 55 dB (A) |
重量 | 125 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm |
待檢漏產(chǎn)品:
半導(dǎo)體配件-不銹鋼管檢漏方法工作示意圖如下:

移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測試時(shí)間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng)
5. 完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
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