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伯東氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM390 用于不銹鋼管檢漏

來源:伯東企業(yè)(上海)有限公司 更新時(shí)間:2021-08-05 16:00:53 閱讀量:409

某專門生產(chǎn)半導(dǎo)體配件公司采用移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 對(duì)高端不銹鋼管, 閥門和歧管等配件進(jìn)行檢漏, 以驗(yàn)收管件是否達(dá)標(biāo). 其產(chǎn)品漏率值需要達(dá)到 10-9mar l/s.

 

 伯東 Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜測漏儀 ASM390 技術(shù)參數(shù):

 型號(hào)

ASM390

 檢測氣體

4He, 3He, H2

 Z小檢測漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍/模式: 1X10-8 mbar l/s

 對(duì)氦氣的抽速

10 l/s

 前級(jí)泵抽速

35 m3/h

 進(jìn)氣口Z/大壓力

20 mbar

 無校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間(20°C)

2 min

 進(jìn)氣口

DN 40 ISO-KF

 響應(yīng)時(shí)間

< 1 s

 Interface,  選配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

 重量

125 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm


待檢漏產(chǎn)品:
氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體配件檢漏


半導(dǎo)體配件-不銹鋼管檢漏方法工作示意圖如下:

氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體配件檢漏

 

移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:

1. 強(qiáng)大的抽空能力

2. 極短的測試時(shí)間

3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸

4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng)

5. 完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
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