氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法有許多種，目前比較成熟的檢漏方法有噴吹法、氦罩法、充壓法、吸槍法、檢漏盒法、累積檢漏法、背壓法及四極質(zhì)譜檢漏法等等。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法

　　氦質(zhì)譜檢漏儀通常采用較多且操作簡(jiǎn)便的檢漏方法方法有2種，一種為正壓法檢漏，另一種為負(fù)壓法檢漏。

　　1、正壓法檢漏：示漏氣體He充入容器里面，處于正壓，然后用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測(cè)，容器外圍是否有氣體He，如果容器外有氣體He，則容器有漏。用這種方式能檢測(cè)出漏點(diǎn)，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。

　　2、負(fù)壓法檢漏：示漏氣體He噴在容器外面，用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測(cè)容器里面是否有氣體He。這種方式能檢測(cè)出漏點(diǎn)，并能測(cè)知漏率。這種檢漏方式叫負(fù)壓檢漏，也叫真空檢漏。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。

氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)量過程

　　氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，對(duì)應(yīng)正壓法檢漏和負(fù)壓法檢漏。詳細(xì)測(cè)量工作過程如下：

　　在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測(cè)試端口與氦質(zhì)譜檢漏儀相連，待測(cè)器件被氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待測(cè)器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提GX率)。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精確的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的位置，可以通過對(duì)可疑位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來完成。

　　與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測(cè)量待測(cè)器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測(cè)器件內(nèi)充入一定氦氣，封閉測(cè)試端口，將嗅探探頭連接至氦質(zhì)譜檢漏儀，用嗅探探頭對(duì)待測(cè)器件表面的可疑部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測(cè)器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測(cè)器壁外的大氣來進(jìn)行測(cè)量的，大氣中的氦會(huì)帶來一個(gè)較高的漏率本底。這個(gè)本底雖可通過置零來清除，但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式Z小可檢測(cè)漏率小于5×10-6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的逆向流技術(shù)和雙流技術(shù)

　　2種方式下，Zda的可檢測(cè)漏率均為1hPa·L/s。從5×10-10Pa·L/s到1hPa·L/s，如此大的可檢測(cè)范圍是通過逆向流、雙流等技術(shù)得到的。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀開始檢漏后，閥門V2打開，粗抽泵對(duì)待測(cè)器件或者嗅探探頭進(jìn)行初步的抽真空。當(dāng)真空規(guī)管P2測(cè)得粗抽泵已將真空抽至氣壓小于15hPa后，閥門V1打開，由于分子泵A和B的壓縮能力與氣體分子的質(zhì)量相關(guān)，較輕的氦可以部分地逆著分子泵氣流的方向到達(dá)氦傳感器，而重的氣體被阻擋在外，這就是逆向流技術(shù)。這時(shí)候雖然真空度并不高，但通過逆向流技術(shù)，對(duì)氣流進(jìn)行采樣，也能夠?qū)Ψ浅８叩穆┞蔬M(jìn)行測(cè)量。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀雙流技術(shù)分2個(gè)階段。當(dāng)P2氣壓低于5hPa時(shí)，閥門V2關(guān)閉，V1和V3打開，分子泵B與粗抽泵級(jí)聯(lián)，待測(cè)器件或者探頭被抽至高真空。此時(shí)，只有分子泵A工作于逆向流方式，但由于真空度已經(jīng)較高(意味著較低的漏率)，到達(dá)氦傳感器的氦仍然能夠得到有效的控制以確保不超出氦傳感器的測(cè)量范圍，這便是低雙流模式。當(dāng)P2氣壓低于0.5hPa時(shí)，閥門V3關(guān)閉，V4打開，分子泵A和B均與粗抽泵級(jí)聯(lián)，待測(cè)器件或探頭被抽至更高的真空(漏率更低)，此時(shí)，不再使用逆向流對(duì)氣體進(jìn)行采樣，而直接利用氦傳感器對(duì)漏率進(jìn)行測(cè)量，以達(dá)到極高的檢漏靈敏度，這便是高雙流模式。

　　當(dāng)然，如果待檢測(cè)容器內(nèi)或者測(cè)試環(huán)境中氦濃度較高，氦質(zhì)譜檢漏儀也可以使用其他氣體比如He3，或者H2作為探測(cè)氣體。