成都松盛測控技術(shù)有限公司生產(chǎn)的本體數(shù)顯熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計BDD系列產(chǎn)品,采用全數(shù)字架構(gòu),本體OLED彩色顯示,采用新型的傳感制作工藝,更好的保證了流量測控的穩(wěn)定以及更快的相應(yīng)速度,支持本地和遠程操作控制。
本公司生產(chǎn)的熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計均采用進口標準的全新技術(shù),新型的傳感制作工藝,兼容模擬/數(shù)字通訊方式,更快的響應(yīng)速度,更穩(wěn)定的精準控制,更廣的測量范圍是我們產(chǎn)品的主要優(yōu)勢。
本公司的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于SPUTTER磁控濺射臺、等離子刻蝕、石油化工、高校實驗室、科研單位、航空航天、光伏行業(yè)、半導體行業(yè)、真空鍍膜行業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、離子注入、精密半導體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
BDD系列的數(shù)顯熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計作為新型的精密氣體流量調(diào)節(jié)控制裝置主要是利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳遞分布效應(yīng)而制成,即熱分布式流量計,采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設(shè)定的電壓進行比較,用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,通過閉環(huán),去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器在主通道和毛細管間產(chǎn)生層流,控制輸出的流量檢測電壓與流過通道的流量成比例。
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