1. 什么是質(zhì)量流量計？什么是質(zhì)量流量控制器？

質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種極ng確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

2. 質(zhì)量流量控制器的原理是什么？
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。

3. 怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位？
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內(nèi)計量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會制定的SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)。

4.  什么情況下用質(zhì)量流量計, 什么情況下用質(zhì)量流量控制器 ?
一般而言，僅對流量進(jìn)行計量或監(jiān)測時，用質(zhì)量流量計；需要對流量進(jìn)行控制時，用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，如對毛細(xì)管流通能力的測量,當(dāng)定壓測流的時候, 用質(zhì)量流量計; 當(dāng)定流測壓時, 需要用質(zhì)量流量控制器。注意, 當(dāng)質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時, 也可以當(dāng)質(zhì)量流量計使用, 只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計大一些。

5.  質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點是什么？
(1)  流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計。
(2)  測量控制的自動化
質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進(jìn)行自動控制。
(3)  極ng確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以極ng確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4)  適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品Z小流量范圍可達(dá)0～5 sccm，Zda流量范圍可達(dá)0～200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~1**% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

6. 質(zhì)量流量計的缺點是什么? 使用質(zhì)量流量控制器Z害怕什么?
相對廉價的轉(zhuǎn)子流量計來說, 質(zhì)量流量計的主要缺點就是價格比較昂貴。
使用質(zhì)量流量控制器有四怕:
**怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計會堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過濾器;
第二怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理;
第四怕在使用強腐蝕性、易燃易爆、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴(yán)重的損失。正確使用, 安全操作, 對每個用戶都是Z重要的。

7. 質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于Zdi值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于Z高值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

8. 質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: **, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 第二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  第三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點,  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。

9. 使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?
部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源(如用丙酮等), 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通常可以定制工作壓差低于0.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時, 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露, 結(jié)露會影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露, 可以對管路和MFC適當(dāng)加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。

10.  質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議**采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 有機溶劑汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡膠; 三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等——需要采用全氟橡膠。

11. 選擇產(chǎn)品和訂貨時應(yīng)當(dāng)注意什么？
這一點關(guān)系到用戶的切身利益，涉及的問題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應(yīng)當(dāng)全面衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽等因素。
(2) 注意選擇正確的量程
A. 將您需要的流量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。
B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮氣（標(biāo)定氣體）等價的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實際使用的氣體標(biāo)定，請向廠家說明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問題，以下還有進(jìn)一步解答。
C. 確定所需標(biāo)準(zhǔn)量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程，您實際使用的流量Zda值應(yīng)接低于某個標(biāo)準(zhǔn)量程值。標(biāo)準(zhǔn)量程的選取要避免過大或過小。質(zhì)量流量的誤差指標(biāo)是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實際流量較小而量程值選取過大，則測量值的相對誤差較大。
(3) 注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)
不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同，注意選擇適合自己的產(chǎn)品。
質(zhì)量流量控制器（MFC）除Zda工作壓力之外，還有另一項工作壓力指標(biāo)：工作壓差，即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差，選型時要注意，使用時也要注意。
(4) 注意選擇合適的精度指標(biāo)
準(zhǔn)確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項指標(biāo)，其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場合尤為重要。指標(biāo)不一定追求Z高，應(yīng)考慮自己的實際需要。
如果對廠家給出的指標(biāo)不放心，有條件的用戶也可以自己標(biāo)定一下。標(biāo)定的方法參見下面的有關(guān)內(nèi)容。
(5) 注意選擇合適的響應(yīng)時間指標(biāo)
有的應(yīng)用系統(tǒng)對MFC的響應(yīng)時間有較高的要求，用戶應(yīng)根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應(yīng)時間指標(biāo)的同時，還應(yīng)注意其響應(yīng)過程及動態(tài)特性。
(6) 注意對安裝位置有無要求
有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。
(7) 注意使用氣體和適用范圍
MFM/MFC 對使用的環(huán)境及介質(zhì)溫度﹑氣源壓力﹑介質(zhì)（特別是使用對腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。
(8) 注意接頭形式
通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于高端應(yīng)用。
(9) 訂貨應(yīng)注明：
產(chǎn)品名稱、型號、流量規(guī)格、標(biāo)定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數(shù)量。

12. 買質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器時，還需要買其它配套產(chǎn)品嗎？
一般需要流量顯示儀與之配套使用。流量顯示儀為MFM/MFC提供工作電源，進(jìn)行流量顯示，對MFC進(jìn)行流量設(shè)定操作。如果將MFM/MFC直接和計算機測控系統(tǒng)相連，視情況也可以不配流量顯示儀。
另外根據(jù)系統(tǒng)的需要可以選購截止閥﹑過濾器﹑干燥器﹑單向閥﹑管接頭﹑減壓器﹑背壓閥等。

13. 怎樣選擇流量顯示儀？
我們的流量顯示儀非常豐富，可供用戶選擇的余地很大。
我們有單通道（配接一臺MFM/MFC）和多通道（配接多臺MFM/MFC）產(chǎn)品；多通道產(chǎn)品中又有共用顯示和分別顯示之分（前者體積較小，價格稍便宜，但顯示需切換；后者體積較大，但顯示直觀）；有臺式﹑儀表式﹑和上架機箱式；有輸入輸出只能是電壓信號的，也有電壓和電流信號都行的；多數(shù)產(chǎn)品使用交流220V電源，也有產(chǎn)品可使用交流110V電源；有MFC和MFM都能配的，也有單配MFM的。
還有流量積算儀可進(jìn)行瞬時流量和累積流量的顯示。
將流量顯示儀安裝在機柜上的用戶，請注意安裝的開孔尺寸。

14. 怎樣選擇流量顯示單位？
我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據(jù)用戶的要求設(shè)定。按百分比顯示的方式，即是將 MFM / MFC 的流量測量值按其占滿量程的百分比來顯示，例如，規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC，當(dāng)顯示值為80%時，實際的流量為40SCCM。對任何一種規(guī)格的MFM/MFC，滿量程值都顯示為1**%。這種方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直觀，有的用戶不習(xí)慣。
按 SCCM或 SLM顯示，出廠時對流量顯示范圍與相應(yīng)的MFM/MFC的量程進(jìn)行匹配，使用時顯示值即是流量值，很直觀，符合習(xí)慣，為多數(shù)用戶所采用。 匹配好后，原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是顯示值需要修正，見下述有關(guān)問題。

15. 一定要按實際使用氣體標(biāo)定顯示嗎？
不一定。按實際實際使用氣體標(biāo)定顯示，顯示的是實際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實際應(yīng)用場合，只需要找到一個合適的流量參數(shù)并保證測量和控制的重復(fù)性，至于該氣體的實際質(zhì)量流量是多少，用戶并不是特別關(guān)心。在這種情況下，您直接使用廠家的標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（氮氣標(biāo)定顯示）也可以。當(dāng)然，如前面所提到的，您在選定流量規(guī)格時，需要換算一下，以選擇合適的量程。對于某些用戶，同一個產(chǎn)品有時可能會通不同的氣體，這種情況下，直接使用氮氣標(biāo)定出廠的產(chǎn)品更方便。