四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。

       四探針測試儀由主機(jī)、探針測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由四探針測試儀主機(jī)直接顯示，亦可與計算機(jī)相連接通過四探針軟件測試系統(tǒng)控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

       四探針測試儀采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

       四探針測試儀設(shè)備保養(yǎng)方法：

       1.經(jīng)常保持設(shè)備和計算機(jī)的清潔、衛(wèi)生。

       2.預(yù)防高溫、過濕、灰塵、腐蝕性介質(zhì)、水等浸入機(jī)器或計算機(jī)內(nèi)部。 

       3.定期檢查，保持零件、部件的完整性。