" Nature 566(7745): 523-527。光在微結構內(nèi)通過全內(nèi)反射反彈,并且在經(jīng)歷不同反射路徑的光線之間發(fā)生光學干涉。
我們設計微結構化表面來控制光的反射和產(chǎn)生的顏色。我們需要測量表面地形,以便將光學性質(zhì)與表面幾何形狀關聯(lián)起來。微結構的幾何形狀,如它們的深度、寬度、角度和表面粗糙度都會影響光學性質(zhì)。我們使用光學輪廓儀來表征微結構的表面輪廓和表面上的均勻性。有時我們的結構具有陡峭的角度,所以能夠使用不同的表面輪廓測量模式對于獲得最準確的微結構幾何形狀判斷非常重要。



使用輪廓儀,我們能夠以高XYZ空間分辨率成像我們的微結構化表面,為我們提供關于樣本表面粗糙度、結構復制后的可重復性以及可能影響光學性質(zhì)的表面上的變化的重要信息。
Sensofar的S lynx輪廓儀對我們來說是*佳選擇,因為它在成像模式上的多功能性。有時我們需要在表面上得到高精度的高度分布,并選擇使用白光干涉。其他時候,我們需要獲取具有相對陡峭角度的微結構側壁的信息,所以共焦成像更為合適。選擇使用Sensofar的S lynx意味著我們可以同時使用這兩種成像方式,這意味著我們可以獲得關于我們的樣品的更多信息,而不僅僅是使用共焦輪廓儀或白光干涉儀。Sensofar與我們緊密合作,為我們選擇了*適合特定樣本和成像需求的專用輪廓儀和附加選項。
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