AeroTrak?便攜式粒子計數(shù)器9110型

9110型高靈敏度粒子計數(shù)器，它能精確測量0.1μm的粒子，粒徑范圍為0.1至10 μm，可同時檢測多達八個通道（0.10, 0.15, 0.20, 0.25, 0.30, 0.50, 1.0, 5.0 μm）的粒子數(shù)據(jù)，1.0 CFM (28.3 L/min)流速，在半導體超凈環(huán)境控制中，能夠實時、準確地檢測空氣中的塵埃粒子數(shù)，為產(chǎn)品良率保駕護航。

特點與優(yōu)勢

• 精確檢測0.1μm的粒子

• 粒徑范圍0.1至10 μm

• 可同時檢測多達八個通道的粒子數(shù)據(jù)

• 1.0 CFM (28.3 L/min)流速

• 符合ISO 21501-4標準中所有要求

• I級和II級無塵室檢測最佳選擇

• 完全符合ISO 21501-4要求

• 可生成ISO-14644-1，EU GMP Annex1和FS209E的符合性報告

• 通過TRAKPRO Lite Secure軟件輸出的外部認證報告

• 采用增強HeNe激光

• 高可重復和高可靠檢測/數(shù)據(jù)

• 數(shù)據(jù)存儲：250區(qū)，999個位置和10,000個樣本

• USB、以太網(wǎng)和脈沖輸出

• 工業(yè)級高分貝報警

• 允許存儲和回放特定測試/配置

• 顯示多達三個環(huán)境參數(shù)

• 不銹鋼外殼

• 無縫整合M32-01多點采樣器

• 無塵室分類達到ISO I級

9110粒子計數(shù)器多功能的配置可以根據(jù)不同需要，既可以作為單機粒子計數(shù)器使用，也可以集成于在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)。適用于粒子污染監(jiān)測、已安裝過濾器檢漏測試、無塵室認證等領域。

隨著半導體行業(yè)朝著越來越小的工藝尺寸和復雜性發(fā)展，對潔凈室工藝制程關鍵區(qū)域的環(huán)境粒子精確測量至關重要，把先進的塵埃粒子檢測技術集成到半導體制造工藝中，是半導體制造質(zhì)量和卓越的基石，支持關鍵半導體技術的進步。

潔凈技術應用綜合解決方案提供商

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