標(biāo)準(zhǔn)樣品在評(píng)估檢測(cè)設(shè)備性能和狀態(tài)、對(duì)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)中不可或缺。對(duì)于電鏡來講，放大倍率、圖像畸變等都是影響微觀尺寸測(cè)量結(jié)果的重要參數(shù)，這些都需要高質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)樣品來進(jìn)行評(píng)估和校準(zhǔn)。在如此小的尺度上對(duì)細(xì)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行加工，目前最可靠的方法就是使用聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）。賽默飛世爾Helios系列FIB，配備先進(jìn)的Tomahawk或Phoenix離子鏡筒，其獨(dú)有的飛行時(shí)間（TOF）校正功能，可確保高速離子運(yùn)動(dòng)精度，實(shí)現(xiàn)無偏差的微納加工；Helios同時(shí)搭配Elstar電子鏡筒，可以實(shí)現(xiàn)無與倫比的成像能力，有效消除畸變、尺寸不準(zhǔn)確對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)樣品制備的影響。

能源的清潔化讓鋰離子電池的需求呈爆發(fā)性增長，而先進(jìn)的電極材料的研發(fā)和制造決定了鋰電池的能量密度和安全性。在對(duì)電池材料進(jìn)行電鏡表征之前，研發(fā)和質(zhì)量控制人員需要對(duì)電池樣本進(jìn)行拆解、切割從而暴露出感興趣的區(qū)域（ROI）。但電極材料往往對(duì)空氣極其敏感，一經(jīng)暴露就會(huì)失去其本征狀態(tài)，導(dǎo)致錯(cuò)誤的表征結(jié)果從而讓研發(fā)和質(zhì)控工作變得低效。

針對(duì)這一挑戰(zhàn)，賽默飛世爾開發(fā)了CleanConnect解決方案，使電極樣品從拆解、切割、制樣到SEM、TEM觀察都不接觸空氣，保持樣品本征狀態(tài)。如果這一方法能夠成為鋰電池行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)方法，我們就可以在產(chǎn)業(yè)鏈中建立更高水品的數(shù)據(jù)可靠性，讓大家對(duì)自己的工作成果更有信心。

無論是在金屬的表面處理還是半導(dǎo)體硅材料的表面改性中，表面氧化層厚度的準(zhǔn)確測(cè)量對(duì)于材料和器件性能的影響都至關(guān)重要。XPS除了作為一種表面分析工具以外，還可以利用離子槍進(jìn)行逐層剝離分析（深度剖析），從而根據(jù)元素和化學(xué)態(tài)的變化推測(cè)氧化層厚度。在這一過程中，離子的刻蝕速率對(duì)于獲取準(zhǔn)確的尺寸信息至關(guān)重要。速率受儀器性能、參數(shù)、樣品情況影響，必須用標(biāo)準(zhǔn)的方法使其具有重復(fù)性。所以賽默飛世爾一直在與客戶合作，推進(jìn)這一方法的標(biāo)準(zhǔn)化，從而讓應(yīng)用者獲得更準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。