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2025-01-10 10:52:30二氧化人工氣候箱: 二氧化人工氣候箱是一種高精度的環(huán)境模擬設(shè)備，主要用于植物生理學(xué)、生態(tài)學(xué)及農(nóng)業(yè)科學(xué)等領(lǐng)域的研究。它通過精確控制箱體內(nèi)的溫度、光照、濕度及二氧化碳濃度等環(huán)境因素，模擬出不同的氣候條件，以滿足科研實(shí)驗(yàn)中對(duì)植物生長(zhǎng)環(huán)境的需求。該設(shè)備具有操作簡(jiǎn)便、控制精度高及穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)植物生長(zhǎng)環(huán)境的精確模擬和調(diào)控，為科研實(shí)驗(yàn)提供可靠的環(huán)境保障。

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二氧化人工氣候箱問答

2023-06-29 10:32:01二氧化鈰 CMP 漿料監(jiān)測(cè): 全文共 1490 字，閱讀大約需要 5 分鐘化學(xué)機(jī)械拋光/平坦化 (CMP) 是微電子行業(yè)廣泛使用的一種工藝，通過化學(xué)力和機(jī)械力來進(jìn)行平坦化處理。該工藝使用磨料和腐蝕性漿料來幫助平坦化晶圓表面。漿料的粒度分布是控制平坦化工藝成功的關(guān)鍵參數(shù)。氧化鈰 (ceria) 的漿料廣泛地應(yīng)用于集成電路 (IC) 制造的各種 CMP工藝中，本應(yīng)用說明記錄了 AccuSizer? Mini FX 準(zhǔn)確測(cè)量二氧化鈰 CMP 漿料的平均粒徑和濃度，并檢查是否存在尾端大粒子的實(shí)際案例。1、簡(jiǎn)介CMP 工藝和 CMP 漿料廣泛用于微電路制造過程中的拋光流程，CMP 漿料的性能對(duì)于提高設(shè)備產(chǎn)量至關(guān)重要，需要定期測(cè)量漿料的粒度分布 (PSD)。除測(cè)量平均粒徑之外，還應(yīng)對(duì)尾端大顆粒的存在（即遠(yuǎn)離主峰的較大顆粒的濃度）進(jìn)行測(cè)量。這些尾端可能來自工藝過程中的污染物，由于化學(xué)變化、CMP 輸送系統(tǒng)或施加的剪切力而導(dǎo)致的聚集。晶圓中缺陷與劃痕的數(shù)目與尾端大顆粒計(jì)數(shù) (LPC) >0.5-1 μm 有關(guān)，理想的表征系統(tǒng)應(yīng)提供準(zhǔn)確的 LPC 值。2、顆粒粒徑/計(jì)數(shù)技術(shù)有許多顆粒表征技術(shù)可用于測(cè)量 CMP 漿料中顆粒的粒徑分布。包括動(dòng)態(tài)光散射 (DLS) 和激光衍射在內(nèi)的光散射技術(shù)可以測(cè)量粒徑大小和粒徑分布，但不能提供任何有用的濃度信息。單顆粒光學(xué)技術(shù) (SPOS) 在顆粒通過狹窄的測(cè)量室時(shí)一次測(cè)量一個(gè)顆粒，從而提供準(zhǔn)確的粒徑和濃度（顆粒/mL）結(jié)果。SPOS 本質(zhì)上是一種高分辨率的技術(shù)，能夠檢測(cè)從偏離主峰的尾端大粒子分布。它常用來檢測(cè)尾端大粒子濃度和數(shù)量，而 LPC 是 CMP 漿料造成晶圓缺陷和劃痕的主要原因。AccuSizer ? Mini可以在實(shí)驗(yàn)室中使用，也可以在線點(diǎn)對(duì)點(diǎn)使用。3、ACCUSIZER MINI AccuSizer 多年來一直被 CMP 漿料制造商和最終用戶用來檢測(cè)尾端大顆粒是否存在，根據(jù)漿料的不同，可以選擇直接進(jìn)行測(cè)量，也可以通過自動(dòng)稀釋來優(yōu)化分析條件。上圖所示的 AccuSizer Mini FX 系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于檢測(cè)較小尾端大顆粒和高濃度樣品。FX 傳感器使用聚焦光束來減少檢測(cè)的總體積，從而提高傳感器的濃度限制，通常無需稀釋即可進(jìn)行測(cè)量。FX 傳感器可測(cè)量 0.65–20 μm 的顆粒，其濃度比標(biāo)準(zhǔn)消光/遮光或散射傳感器高 200 倍。結(jié)果最多可以顯示在 512 個(gè)大小的通道中。AccuSizer Mini系統(tǒng)是完全自動(dòng)化的，專為滿足生產(chǎn)線的要求而設(shè)計(jì)。內(nèi)置的觸摸屏電腦控制著操作。用戶連接化學(xué)機(jī)械拋光液的旁路、過濾后的去離子水(如有必要，用于清洗和稀釋)、50兆帕的空氣管路以控制氣動(dòng)，以及排泄管路。4、使用的樣品本研究使用了兩個(gè)二氧化鈰樣品；二氧化鈰 A 具有較小的尾端大顆粒，二氧化鈰B具有較大的尾端大顆粒。5、結(jié)果對(duì)二氧化鈰 A 進(jìn)行了四次分析，以確定基礎(chǔ)樣品中顆粒的尺寸分布和濃度。四次分析的結(jié)果如圖 1 所示（濃度為線性標(biāo)度）和圖 2（濃度為對(duì)數(shù)標(biāo)度）。圖 1. 二氧化鈰 A濃度，線性標(biāo)度圖 2. 二氧化鈰 A，對(duì)數(shù)標(biāo)度接下來，二氧化鈰A 中摻入約 1000000 顆粒/mL 的 1.36μm 聚苯乙烯乳膠 (PSL) 標(biāo)準(zhǔn)顆粒，以證明檢測(cè)大顆粒的能力。結(jié)果如圖 3 和圖 4 所示。圖 3. 二氧化鈰A（紅色）+ 1.36 μm PSL 尖峰（黑色）圖 4. 與圖 3 相同，但 y 軸擴(kuò)展 8 倍然后，在二氧化鈰 A 中摻入 1%（圖 5）和 10%（圖 6）的二氧化鈰 B，后者含有較長(zhǎng)尾端大顆粒。圖 5 和圖 6 中的結(jié)果顯示了 AccuSizer 對(duì)尾端大顆粒的敏感性以及良好的重復(fù)性。圖 5. 二氧化鈰 A 添加了 1% 二氧化鈰B圖 6. 二氧化鈰A 添加了 10% 二氧化鈰 B6、結(jié)論這些結(jié)果證實(shí) AccuSizer Mini FX 是一種準(zhǔn)確、易于使用的分析工具，可檢測(cè)低濃度 LPC 顆粒的存在。該系統(tǒng)可在實(shí)驗(yàn)室或工廠中使用。Mini FX 分析儀可以位于流程中的任何位置，通常放置在最終過濾器之后，在漿料與拋光工具中的晶片接觸之前進(jìn)行監(jiān)測(cè)，如圖7所示。圖 7. 晶圓加工過程中的 AccuSizer Mini

2019-06-26 14:06:19LED人工氣候箱的技術(shù)使用: LED人工氣候箱品適用于植物的生長(zhǎng)和組織培養(yǎng)，種子發(fā)芽、育苗、微生物的培養(yǎng)試驗(yàn)；昆蟲小動(dòng)物的飼養(yǎng)；水質(zhì)監(jiān)測(cè)的BOD測(cè)定；藥材、木材、建材的老化及使用壽命測(cè)試等，以及其他用途的光照，恒溫、恒濕的專用試驗(yàn)設(shè)備。LED人工氣候箱結(jié)構(gòu)特色：具有光照、加濕功能的高精度冷熱恒溫設(shè)備。采用先進(jìn)的微電腦可編程技術(shù)控溫，可設(shè)置多種參數(shù)(包括溫度、濕度、光照度)模擬自然氣候。光照采用特殊高亮度日光燈。輕觸式調(diào)節(jié)開關(guān)，輕便靈活。LED數(shù)字顯示，多種模式控制可調(diào)，操作簡(jiǎn)便。在檢測(cè)中，有時(shí)需要對(duì)被測(cè)物進(jìn)行預(yù)處理，比如鍋爐燃料檢測(cè)前要在特定溫濕環(huán)境下靜置，另外在其他性能如保溫測(cè)試中，被測(cè)物在不同使用環(huán)境下的性能會(huì)有改變。這時(shí)就需要一個(gè)環(huán)境氣候模擬箱。目前，市場(chǎng)上在農(nóng)業(yè)等其他行業(yè)氣候箱已廣泛應(yīng)用，而鍋爐的測(cè)試需要的LED人工氣候箱在溫度選擇，風(fēng)速控制中有著獨(dú)特的要求，目前在市場(chǎng)上還是很少見，只是在品檢測(cè)或者大型檢測(cè)設(shè)備中有應(yīng)用，但是其價(jià)格和體積都不適合大面積推廣。為此，我們應(yīng)用機(jī)電一體化技術(shù)設(shè)計(jì)制作一臺(tái)新型鍋爐測(cè)SY人工氣候箱，來彌補(bǔ)市場(chǎng)空缺。本新型鍋爐測(cè)SY人工氣候箱主要由兩部分組成。確定冷光源LED人工氣候箱的三大重要參數(shù)： ①溫度：由于光照培養(yǎng)箱和人工氣候箱都會(huì)帶上一個(gè)光照的功能，所以在看溫度的時(shí)候當(dāng)然就會(huì)分成兩段，如果廠家直報(bào)一個(gè)溫度范圍給你，那我們就要謹(jǐn)慎選擇咯，一般打開光照的情況下，溫度范圍會(huì)比不開光照情況下的窄，理由很簡(jiǎn)單開了光照溫度會(huì)高一些。常見的一個(gè)情況是有光照溫度范圍在：10~50℃，無光照溫度范圍在：4~50℃。 ②控濕范圍：濕度，是光照培養(yǎng)箱和LED人工氣候箱Z大的區(qū)別所在，光照培養(yǎng)箱是不帶濕度控制的，一般就只控制溫度和光照，而冷光源人工氣候箱是帶控濕功能的，所以我們只要問問自己是否對(duì)濕度有控制的要求，就可以確定是選擇光照培養(yǎng)箱還是人工氣候箱了。根據(jù)實(shí)驗(yàn)的樣本，常見的濕度范圍是50-90%RH ③光照強(qiáng)度：光照強(qiáng)度會(huì)根據(jù)光照方式和燈管的數(shù)量有所不同，簡(jiǎn)單來說一般Z大的有0-30000LX，也有偏小一些范圍的，我們選擇的時(shí)候，主要還是根據(jù)自己的要求進(jìn)行選擇，并不是范圍越大越好的哦