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2025-12-15 14:35:02空間電荷評(píng)估: 空間電荷評(píng)估是一種用于測(cè)量和分析材料中空間電荷分布的技術(shù)。它通過分析材料內(nèi)部電荷的分布情況，來評(píng)估材料的電性能、絕緣性能以及電荷陷阱等特性。這種評(píng)估技術(shù)對(duì)于理解材料的電氣行為、優(yōu)化材料性能以及預(yù)測(cè)材料在電場(chǎng)中的表現(xiàn)具有重要意義。在電力、電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域，空間電荷評(píng)估被廣泛應(yīng)用于絕緣材料、半導(dǎo)體材料、聚合物材料等的性能研究與改進(jìn)中。

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從微觀角度分析絕緣材料老化和擊穿原因--空間電荷測(cè)量裝置

從微觀角度分析絕緣材料老化和擊穿原因—研制了一套基于電聲脈沖法（PEA）直接測(cè)量聚合物中空間電荷分布的試驗(yàn)裝置。

北京華測(cè)試驗(yàn)儀器有限公司 173
2024-10-29
空間電荷評(píng)估空間電荷分布空間電荷測(cè)量裝置

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空間電荷評(píng)估問答

2025-12-16 18:00:55選對(duì)LIMS不踩坑！三大維度解鎖性能評(píng)估秘籍: 評(píng)估LIMS（實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)）軟件性能，是實(shí)驗(yàn)室數(shù)字化轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵決策。為確保系統(tǒng)精準(zhǔn)匹配核心需求，可從以下三大維度系統(tǒng)化考量：一、功能適配性：貼合業(yè)務(wù)，合規(guī)高效全流程覆蓋：支持樣本從登記、任務(wù)分配、檢測(cè)、復(fù)核到報(bào)告生成與歸檔的全生命周期管理，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)追蹤。自動(dòng)化與智能：具備自動(dòng)數(shù)據(jù)采集、智能計(jì)算能力，減少人為誤差，提升效率與數(shù)據(jù)可靠性。合規(guī)內(nèi)嵌：內(nèi)置ISO/IEC 17025、CNAS等標(biāo)準(zhǔn)要求，支持審計(jì)追蹤、電子簽名、防篡改機(jī)制，確保數(shù)據(jù)可溯、可審。智能報(bào)表：支持?jǐn)?shù)據(jù)標(biāo)簽化、結(jié)構(gòu)化處理，提供多維統(tǒng)計(jì)分析與一鍵生成合規(guī)報(bào)表，賦能管理決策。用戶體驗(yàn)與擴(kuò)展性：界面簡(jiǎn)潔易用，降低培訓(xùn)成本；支持與ERP、OA等系統(tǒng)集成，并具備模塊化擴(kuò)展能力，適配未來發(fā)展。二、技術(shù)架構(gòu)：穩(wěn)定可靠，靈活安全高兼容集成：支持與LIS、EMR及各類儀器設(shè)備無縫對(duì)接，打通數(shù)據(jù)孤島，構(gòu)建統(tǒng)一信息生態(tài)。彈性可擴(kuò)展：采用微服務(wù)或低代碼架構(gòu)，支持模塊化部署、按需擴(kuò)容，適應(yīng)高并發(fā)與業(yè)務(wù)演進(jìn)。高等級(jí)安全：具備完善的權(quán)限控制與數(shù)據(jù)保護(hù)機(jī)制，保障數(shù)據(jù)完整性、保密性與可用性。三、服務(wù)能力：專業(yè)服務(wù)保落地，長(zhǎng)期護(hù)航無顧慮LIMS的核心價(jià)值不僅體現(xiàn)在產(chǎn)品本身，更在于供應(yīng)商提供的全周期服務(wù)支持。從項(xiàng)目部署上線到后期運(yùn)維迭代，專業(yè)的服務(wù)體系能大幅降低實(shí)施風(fēng)險(xiǎn)，最大化提升系統(tǒng)使用價(jià)值。實(shí)施周期：重點(diǎn)評(píng)估供應(yīng)商的部署效率與靈活配置能力，例如青軟青之提供的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)軟件包7天即可快速上線，各功能模塊支持獨(dú)立選購(gòu)、按需升級(jí)，同時(shí)可根據(jù)實(shí)驗(yàn)室個(gè)性化需求提供定制化服務(wù)，兼顧實(shí)施效率與需求適配性。售后服務(wù)：需配備穩(wěn)定、專業(yè)的售后支持團(tuán)隊(duì)，提供技術(shù)咨詢、定期維護(hù)、需求迭代等全流程服務(wù)。青軟青之高度重視用戶體驗(yàn)，售后團(tuán)隊(duì)兼具深厚的實(shí)驗(yàn)室業(yè)務(wù)認(rèn)知與扎實(shí)的軟件實(shí)施維護(hù)技術(shù)，可通過售后熱線、QQ等多渠道快速響應(yīng)用戶訴求；對(duì)于電話、郵件無法解決的問題，將派遣專業(yè)工程師上門服務(wù)。同時(shí)，為每家客戶建立專屬客服檔案，由客服經(jīng)理主動(dòng)通過電話、公函、電子郵件、定期回訪等方式跟蹤服務(wù)，搭建暢通的信息反饋渠道，確保問題及時(shí)解決、系統(tǒng)持續(xù)優(yōu)化。行業(yè)經(jīng)驗(yàn)：優(yōu)先選擇具備豐富相關(guān)行業(yè)成功案例的供應(yīng)商。這類供應(yīng)商更熟悉行業(yè)核心痛點(diǎn)、合規(guī)要求及業(yè)務(wù)流程，能結(jié)合自身實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)為實(shí)驗(yàn)室提供更貼合實(shí)際需求的解決方案，有效降低項(xiàng)目實(shí)施風(fēng)險(xiǎn)，提升系統(tǒng)適配精度與落地效果。

2023-02-15 14:27:47腫瘤疫苗生物學(xué)活性評(píng)估: 腫瘤疫苗背景腫瘤疫苗，是一種具有預(yù)防和治療潛力的有吸引力的替代免疫治療選擇，是近年研究的熱點(diǎn)之一。針對(duì)腫瘤相關(guān)抗原（Tumor-associated antigen,TAA）或腫瘤特異性抗原 (Tumor specific antigen,TSA) 的疫苗可以特異性地攻擊和破壞抗原過表達(dá)的惡性細(xì)胞，并由于免疫記憶而實(shí)現(xiàn)慢性治療反應(yīng)。因此，與其他免疫療法相比，癌癥疫苗提供了特異性、安全性和可耐受的治療。根據(jù)腫瘤抗原的組分，癌癥疫苗大致可以分為四種類型：基于 DNA 的疫苗，基于 RNA 的疫苗，基于多肽的疫苗和基于免疫細(xì)胞的疫苗。FDA 批準(zhǔn)的首個(gè)個(gè)性化腫瘤疫苗 PROVENGE (Sipuleucel-T) 是一種基于免疫細(xì)胞的疫苗，用于激素難治性前列腺癌的治療。除此之外，Moderna，BioNTech 都在布局基于 mRNA 的腫瘤疫苗。圖 1 腫瘤疫苗抗原呈遞平臺(tái)示意圖腫瘤疫苗有效性評(píng)估方法生物體接種疫苗后，腫瘤抗原被帶到淋巴結(jié)，進(jìn)而激活抗原特異性的 B 細(xì)胞和 T 細(xì)胞，活化的 B 細(xì)胞產(chǎn)生的抗體及活化的效應(yīng) T 細(xì)胞會(huì)使腫瘤內(nèi)脹并誘導(dǎo)腫瘤細(xì)胞死亡。圖 2 腫瘤疫苗誘導(dǎo)的免疫反應(yīng)示意圖如何有效的評(píng)估腫瘤疫苗的有效性是一個(gè)非常值得探討的問題，常用的腫瘤疫苗有效性驗(yàn)證的方法，包括細(xì)胞因子檢測(cè)、CTL 活性檢測(cè)、T 細(xì)胞活化標(biāo)志物檢測(cè)、抗體滴度檢測(cè)、ADCC 檢測(cè)等。1、細(xì)胞因子檢測(cè)細(xì)胞因子是由免疫細(xì)胞經(jīng)過刺激而合成并分泌的小分子蛋白質(zhì)，在免疫應(yīng)答中起著非常重要的作用，因此可以通過細(xì)胞因子的分泌能力來反應(yīng)疫苗誘導(dǎo)的細(xì)胞免疫的水平。常見的細(xì)胞因子有白介素 (IL) 、干擾素 (IFN)、腫瘤壞死因子 (TNF) 等。下面比較了幾種常見的檢測(cè)方法。ELISA 是一種非常經(jīng)典的細(xì)胞因子的檢測(cè)方法，例如在王曉東等人發(fā)表的關(guān)于胃癌疫苗研究的文章中，提到了用 ELISA 的方法檢測(cè)接種疫苗后小鼠骨髓源樹突狀細(xì)胞（BMDCs）分泌細(xì)胞因子的能力，檢測(cè)方法如下：BMDCs 在含有 10ng/mL GM-CSF 和 10ng/mL IL-4 的 X-vivo 15 培養(yǎng)基中培養(yǎng)，37℃下培養(yǎng) 6 天，然后以每孔 5×104 細(xì)胞的密度在 96 孔板中接種。以 5μM 或 10μM 的最終濃度加入疫苗抗原，孵育 24 小時(shí)。使用小鼠 TNF-α 和 IL-12 p70 ELISA Ready-SET-Go 試劑組定量培養(yǎng)上清中的 TNF-α 和 IL-12 。首先在 4℃下用捕獲抗體包被 ELISA 板過夜，然后在室溫下依次加入阻斷液、細(xì)胞培養(yǎng)上清和檢測(cè)抗體，孵育 1h 。最后加入終止液和顯色劑，用酶標(biāo)儀 (BioTek) 在 450nm 處記錄 OD 值。檢測(cè)結(jié)果如下：從檢測(cè)結(jié)果可以看出，T7（TLR7 激動(dòng)劑）的存在可以顯著提升 ML/MB 抗原誘導(dǎo)的免疫反應(yīng)。圖 3 ELISA 法測(cè)定小鼠骨髓樹突狀細(xì)胞 (BMDCs) 分泌TNF-α (a) 和 IL-12 (b) 的水平Ankita Leekha 等人發(fā)表的關(guān)于 SRAS-COV2 疫苗文章中，提到了用 ELISPOT 的方法評(píng)估細(xì)胞因子的分泌水平，可以作為參考。具體方法如下：從小鼠中分離脾細(xì)胞和肺細(xì)胞，使用小鼠 IFNγ ELISpot 基礎(chǔ)試劑盒和小鼠 IL4 ELISpot 基礎(chǔ)試劑盒 (Mabtech, VA, USA) 進(jìn)行 IFNγ 和 IL4 ELISpot 檢測(cè)。在 37℃ 下，在預(yù)包被抗體的 ELISpot 板中，用抗原刺激脾細(xì)胞和肺細(xì)胞，培養(yǎng) 16-18 小時(shí)。第二天，洗掉細(xì)胞，加入生物素化的檢測(cè)抗體。洗板后，加入 1:30000 稀釋的 Extravidi-ALP 偶聯(lián)物，室溫孵育 1 小時(shí)。洗板后，每孔添加 70μL 顯色液，孵育 20-30min，形成斑點(diǎn)，然后用水清洗，干燥。使用 Cytation 7 (BioTek) 對(duì)斑點(diǎn)進(jìn)行量化。每個(gè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)一個(gè)單獨(dú)的細(xì)胞因子分泌細(xì)胞。檢測(cè)結(jié)果如下：圖 4 ELIPSOT 方法檢測(cè)小鼠脾細(xì)胞和肺細(xì)胞分泌細(xì)胞因子的水平2、CTL 活性檢測(cè)疫苗誘導(dǎo)的細(xì)胞毒性 T 淋巴細(xì)胞 (CTL) 可以直接殺傷腫瘤細(xì)胞，起到抗腫瘤的作用，因此可以通過檢測(cè) CTL 的殺傷效應(yīng)來反應(yīng)疫苗的效果。常用的檢測(cè)細(xì)殺傷效應(yīng)的方法有很多，下表列舉了一些常用的方法。王曉東等人發(fā)表的文章中提到了 LDH 檢測(cè)，檢測(cè)方法如下：從接種疫苗小鼠的脾臟中分離淋巴細(xì)胞（效應(yīng)細(xì)胞）。EAC 腫瘤細(xì)胞（靶細(xì)胞）與淋巴細(xì)胞（效應(yīng)細(xì)胞-靶細(xì)胞比例為 50:1）共培養(yǎng) 4h，使用乳酸脫氫 (LDH) 法測(cè)定細(xì)胞毒性。將培養(yǎng) 4h 后的培養(yǎng)上清加入在 ELISA 板中，室溫下加入底物溶液，孵育 30min。最后，加入終止液終止反應(yīng)，并用酶標(biāo)儀 (BioTek) 在 490nm 處檢測(cè)光密度。檢測(cè)結(jié)果如下：相對(duì)于 PBS 對(duì)照組來說，T7-MB 組 CTL 細(xì)胞具有顯著的殺傷效應(yīng)。圖 5 LDH 法測(cè)定 CTL 介導(dǎo)的 EAC 靶細(xì)胞的裂解水平3、抗體滴度及親和力檢測(cè)腫瘤疫苗除了可以誘導(dǎo)細(xì)胞免疫之外，也可誘導(dǎo)體液免疫，對(duì)此可通過對(duì)抗體滴度及親和力進(jìn)行檢測(cè)來反應(yīng)疫苗抗腫瘤的效果，ELISA 是一種非常經(jīng)典的檢測(cè)方法。上述關(guān)于胃癌疫苗的文章中通過 ELISA 方法測(cè)定小鼠接種疫苗后血清中總 IgG 含量，具體檢測(cè)過程如下：小鼠接種疫苗后收集血液樣本，通過 3000g 離心 15 分鐘獲得血清樣本。ELISA 板預(yù)先在 4℃ 包被 BSA-MG1 過夜，然后在室溫下依次加載封閉溶液 2h，血清樣品 (1:50 稀釋) 和檢測(cè)抗體 1h。最后，在體系中加入 p-NPP 底物 (Millipore) 和終止液，用酶標(biāo)儀 (BioTek) 在 405nm 處記錄 OD 值。檢測(cè)結(jié)果如下：相對(duì)于 PBS 對(duì)照組來說，T7-MB 組抗體含量明顯上升。圖6 ELISA法測(cè)定疫苗誘導(dǎo)的血清抗體水平除此之外，在 Emily C. Gale 等人發(fā)表的關(guān)于 mRNA 遞送系統(tǒng)及輔劑研究的文章中，通過 ELISA 的方法測(cè)定了 mRNA OVA 模式疫苗誘導(dǎo)的 OVA 特異性抗體的絕對(duì)含量及其親和力。具體檢測(cè)方法如下：抗體濃度：小鼠接種加強(qiáng)疫苗后，采集血液樣品，血清按照 1:100 000 進(jìn)行稀釋。采用 anti-OVA mouse IgG1 ELISA (Cayman Chemicals) 試劑，按照試劑廠家的說明進(jìn)行 ELISA 實(shí)驗(yàn)。使用 Synergy H1 Microplate Reader (BioTek) 在 450nm 處記錄 OD 值。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)曲線計(jì)算血清抗體濃度，表示 mg/mL?？贵w親和性：將 12 個(gè)梯度稀釋的血清與恒定濃度標(biāo)記 HRP 的 anti-OVA 抗體 (3nM) 混合，并在 OVA 抗原包被的板中室溫孵育 2 小時(shí)，洗板后用 TMB 底物孵育，用 HCl 停止反應(yīng)。測(cè)定 450nm 處的 OD 值。根據(jù)業(yè)內(nèi)發(fā)現(xiàn)的單克隆抗體的共同親和力，假設(shè)對(duì)照抗體的 KD 為 1nM 對(duì)實(shí)驗(yàn)組的 KD 值進(jìn)行統(tǒng)計(jì)。這一假設(shè)僅影響報(bào)告的絕對(duì) KD 值，而不影響實(shí)驗(yàn)組之間的相對(duì)差異。檢測(cè)結(jié)果如下：pIC 為雙鏈 RNA 結(jié)構(gòu)模擬物，圖E中比較了可溶性的 pIC 和不同納米顆粒遞送系統(tǒng)誘導(dǎo)的絕對(duì)抗體含量，從圖 E 中可以看出 2B 遞送系統(tǒng)誘導(dǎo)的 OVA 特異性抗體含量最高。從F和G可以看出 2B 遞送系統(tǒng)相對(duì)于可溶性 pIC 來說誘導(dǎo)的 IgG 親和力也顯著升高。圖 7 pIC/PBAE NPs 增強(qiáng)體液免疫4、ADCC 檢測(cè)疫苗誘導(dǎo)體液免疫產(chǎn)生的抗體能夠捕捉目標(biāo)抗原，阻斷這個(gè)靶分子的功能，也可以引導(dǎo)其他免疫細(xì)胞（如巨噬細(xì)胞和自然殺傷細(xì)胞）殺死表達(dá)抗原的靶細(xì)胞，在腫瘤治療中，特別是血液腫瘤中，抗體依賴的細(xì)胞介導(dǎo)的細(xì)胞毒性作用 (ADCC) 起著關(guān)鍵作用，ADCC 常用的檢測(cè)方法包括細(xì)胞活力檢測(cè)、LDH 檢測(cè)、工程細(xì)胞株、Delfia、RTCA、細(xì)胞成像檢測(cè)等。王曉東等人發(fā)表的關(guān)于胃癌疫苗研究的文章中，提到了 LDH 方法檢測(cè) ADCC，檢測(cè)方法如下：小鼠接種疫苗后，采集其血清樣本（1:25 稀釋），然后與 EAC 細(xì)胞（靶細(xì)胞）在 37°C 孵育 30min。使用小鼠 NK 細(xì)胞分離試劑盒從正常 BALB/c 小鼠中分離出自然殺傷 (NK) 細(xì)胞（效應(yīng)細(xì)胞），與抗體標(biāo)記的 EAC 細(xì)胞以效靶比 50:1 共培養(yǎng) 4 小時(shí)。采用 LDH 法 (Promega) 測(cè)定細(xì)胞毒性，檢測(cè)方法與之前提到的 CTL 活性檢測(cè)的方法一致。檢測(cè)結(jié)果如下：相對(duì)于 PBS 對(duì)照組來說，T7-MB 組產(chǎn)生的抗體具有顯著的殺傷效應(yīng)。圖 8 LDH 法測(cè)定血清抗體介導(dǎo)的 EAC 靶細(xì)胞的裂解水平腫瘤疫苗生物學(xué)活性檢測(cè)解決方案推薦本文介紹了腫瘤疫苗活性檢測(cè)的常用方法，包括細(xì)胞因子檢測(cè)、CTL 活性檢測(cè)、抗體滴度及親和力檢測(cè)、ADCC 檢測(cè)等方法，涉及到了酶標(biāo)儀、成像系統(tǒng)、流式、RTCA、洗板分液系統(tǒng)等設(shè)備。Agilent 細(xì)胞分析事業(yè)部可以從多個(gè)角度為用戶提供從樣品處理，到結(jié)果檢測(cè)再到數(shù)據(jù)分析的全面解決方案。

2023-01-31 15:25:45使用眼科手術(shù)顯微鏡術(shù)中OCT進(jìn)行殘留碎片評(píng)估: 憑借顯著優(yōu)化視野的高jingzhun性和同步性，眼科手術(shù)顯微鏡術(shù)中OCT成像系統(tǒng)可以幫助眼科醫(yī)生在眼科手術(shù)中實(shí)現(xiàn)高水準(zhǔn)的手術(shù)效果。眼外科醫(yī)生分享了在白內(nèi)障和視網(wǎng)膜手術(shù)中使用眼科手術(shù)顯微鏡術(shù)中OCT的經(jīng)驗(yàn)。關(guān)鍵經(jīng)驗(yàn)眼科手術(shù)顯微鏡有一種內(nèi)置術(shù)中OCT的高級(jí)成像解決方案，設(shè)計(jì)用于改善眼前后節(jié)手術(shù)的工作流程，實(shí)現(xiàn)高精準(zhǔn)度。醫(yī)生分享了在白內(nèi)障手術(shù)中使用眼科手術(shù)顯微鏡術(shù)中OCT成像系統(tǒng)的體驗(yàn)。醫(yī)生特別強(qiáng)調(diào)了使用這款成像解決方案在檢測(cè)和處理殘余晶狀體碎片的優(yōu)勢(shì)。由于這些晶狀體碎片會(huì)被手術(shù)切口或水腫遮擋，因此很難看到。眼科手術(shù)顯微鏡術(shù)中OCT可以有效定位殘留晶狀體碎片，從而改善手術(shù)效果，降低術(shù)后并發(fā)癥和二次手術(shù)的風(fēng)險(xiǎn)。關(guān) 于 EnFocusEnFocus是用于眼科手術(shù)顯微鏡的術(shù)中OCT。它可以呈現(xiàn)出高度清晰的實(shí)時(shí)眼前節(jié)和眼后節(jié)圖像，便于觀察眼底下表面顯微結(jié)構(gòu)。除了角膜移植術(shù)和白內(nèi)障手術(shù)，在角膜、青光眼和視網(wǎng)膜手術(shù)中，術(shù)中OCT同樣可以提供相同的優(yōu)勢(shì)。它也是基因治療中一項(xiàng)重要的輔助工具。EnFocus可以結(jié)合眼科手術(shù)顯微鏡使用，提供全面的可視化效果。免責(zé)聲明：本文中醫(yī)療專業(yè)人員的陳述和解釋僅代表其個(gè)人觀點(diǎn)和經(jīng)驗(yàn)，并不代表其所屬機(jī)構(gòu)的觀點(diǎn)。殘留晶狀體碎片評(píng)估除了視網(wǎng)膜手術(shù)這一典型的適用領(lǐng)域，術(shù)中OCT在白內(nèi)障手術(shù)中也能夠發(fā)揮重要的作用，尤其是用于評(píng)估殘留晶狀體碎片。手術(shù)結(jié)束時(shí)，我懷疑存在晶狀體碎片。借助術(shù)中OCT，可以突出顯示殘留碎片。碎片尺寸較大，隱藏在主切口的水腫后面。當(dāng)碎片尺寸相對(duì)較小，隱藏在輔助切口后面。然而，這些碎片受切口附近的角膜水腫影響，很難發(fā)現(xiàn)。這時(shí)候術(shù)中OCT便可以發(fā)揮重要的作用。一般是對(duì)眼后節(jié)進(jìn)行360°環(huán)形掃描。使用顯微鏡腳踏開關(guān)，可以返回手術(shù)區(qū)域并分析圖像。這樣就可以看到輔助切口水腫后面有一個(gè)隱藏的殘留碎片。在別的眼科手術(shù)中也能看到虹膜角膜角度有微小的殘留碎片。術(shù)中OCT的優(yōu)勢(shì)在眼科手術(shù)中，術(shù)中OCT可以在白內(nèi)障手術(shù)中發(fā)揮重要的作用。醫(yī)生可以用它發(fā)現(xiàn)殘留碎片，避免幾天或幾周后進(jìn)行二次手術(shù)，還可以減少術(shù)后并發(fā)癥。所以說，術(shù)中OCT是一種提高白內(nèi)障手術(shù)質(zhì)量和完善性的有效工具。

2023-06-26 14:52:50無損無接觸定量評(píng)價(jià)！GaN晶體質(zhì)量評(píng)估新思路——ODPL法！: 隨著疫情三年的結(jié)束，大家又開始馬不停蹄出差、旅游、返鄉(xiāng)，生活的壓力讓人喘不過氣。更別提出行的時(shí)候，還需要背一個(gè)很沉的電腦，以及與它適配的、同樣很沉的、形狀不規(guī)律的、看著就很糟心的電源適配器！有沒有一種東西，能夠讓大家的出行變得更加輕松（物理上）？那必須是現(xiàn)在越來越流行的氮化鎵（GaN）充電器了！一個(gè)氮化鎵充電器幾乎可以滿足所有出行充電的需求，并且占地空間小，簡(jiǎn)直是出行神器！圖1 氮化鎵（GaN）充電器氮化鎵是一種無機(jī)物，化學(xué)式GaN，是氮和鎵的化合物，一種直接能隙（direct bandgap）的半導(dǎo)體材料。GaN材料具有寬禁帶、高臨界電場(chǎng)強(qiáng)度和高電子飽和速度等特點(diǎn)，其器件耐高溫、耐高壓、高頻和低損耗，大大提升電力器件集成度，簡(jiǎn)化了電路設(shè)計(jì)和散熱支持，具有重要的價(jià)值和廣泛的應(yīng)用，是現(xiàn)在最火熱的第三代半導(dǎo)體材料，沒有之一。GaN的應(yīng)用不止在流行的充電器上，早在2014年日本科學(xué)家天野浩就憑借基于GaN材料的藍(lán)光LED獲得了諾貝爾獎(jiǎng)。不過GaN就沒有缺點(diǎn)了嗎？或者說GaN沒有改善的地方了嗎？并不是， GaN技術(shù)的難點(diǎn)在于晶圓制備工藝。由于制備GaN的單晶材料無法從自然界中直接獲取，所以GaN的主要制備方法是在藍(lán)寶石、碳化硅、硅等異質(zhì)襯底上進(jìn)行外延。而現(xiàn)在由異質(zhì)外延生長(zhǎng)的GaN普遍存在大量缺陷的問題。缺陷的存在勢(shì)必會(huì)影響到晶體的質(zhì)量，從而影響到材料和器件的電學(xué)性能，最終影響到未來半導(dǎo)體科技的快速發(fā)展。因此，降低GaN晶體里面的缺陷量，提高晶體質(zhì)量，是當(dāng)前第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域研究很重要的一個(gè)課題。GaN晶體質(zhì)量/缺陷評(píng)估的方法GaN晶體里面的雜質(zhì)、缺陷是非常錯(cuò)綜復(fù)雜的，無法單純通過某一項(xiàng)缺陷濃度或者雜質(zhì)含量來定量描述GaN晶體是否是高質(zhì)量，因此現(xiàn)在評(píng)價(jià)GaN晶體質(zhì)量的手段比較有限。根據(jù)現(xiàn)有的報(bào)道，大致有以下幾種：多光子激發(fā)光致發(fā)光法（Multiphoton-excitation photoluminescence method，簡(jiǎn)稱MPPL）、蝕坑觀察法（Etch pit method）以及二次離子質(zhì)譜（Secondary-ion mass spectrometry，簡(jiǎn)稱SIMS)。MPPL法多光子激發(fā)光致發(fā)光法采用長(zhǎng)波長(zhǎng)激發(fā)，遠(yuǎn)大于帶邊熒光波長(zhǎng)。激發(fā)過程需要同時(shí)吸收二個(gè)或者多個(gè)光子。通過吸收多個(gè)脈沖光子，在導(dǎo)帶和價(jià)帶形成電子空穴對(duì)，隨后非輻射馳豫到導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂,最后產(chǎn)生帶邊發(fā)光和缺陷發(fā)光。通過濾波片獲得帶邊和缺陷發(fā)光光譜和光強(qiáng)，改變?nèi)肷涔獍叩奈恢茫瑥亩玫綐悠返臒晒庑盘?hào)三維分布，即三維成像。多光子熒光三維成像技術(shù)可以識(shí)別和區(qū)分不同類型的位錯(cuò)，但是無法定量評(píng)估GaN的晶體質(zhì)量，而且多光子激發(fā)的系統(tǒng)造價(jià)高。圖2 (a) Optical microscope image of etch pits. (b) 42 × 42 μm2 2D MPPL image taken at a depth of 22 μm. (c) 42 × 42 × 42 μm3 3D MPPL image, shown with contrast inverted參考文獻(xiàn)：Identification of Burgers vectors of threading dislocations in free-standing GaN substrates via multiphoton-excitation photoluminescence mapping' by Mayuko Tsukakoshi et al; Applied Physics Express, Volume 14, Number 5 (2021)蝕坑觀察法蝕坑觀察法通過適當(dāng)?shù)那治g可以看到位錯(cuò)的表面露頭，產(chǎn)生比較深的腐蝕坑，借助顯微鏡可以觀察晶體中的位錯(cuò)多少及其分布。該方法只適合于位錯(cuò)密度低的晶體，如果位錯(cuò)密度高，蝕坑互相重疊，就很難將它們區(qū)分。并且該方法是對(duì)晶體有損傷的，做不到無損無接觸。圖3 蝕坑觀察法SIMS技術(shù)SIMS是利用質(zhì)譜法分辨一次離子入射到測(cè)試樣品表面濺射生成的二次離子而得到材料表面元素含量及分布的一種方法。SIMS可以進(jìn)行包括氫在內(nèi)的全元素分析，并分辨出同位素、化合物組分和部分分子結(jié)構(gòu)的信息。二次離子質(zhì)譜儀具有ppm量級(jí)的靈敏度，最高甚至達(dá)到ppb的量級(jí)，還具有進(jìn)行微區(qū)成分成像和深度剖析的功能。但是SIMS對(duì)晶體有損傷，無法做到無損。圖4 SIMS技術(shù)以上三種技術(shù)均是評(píng)估GaN晶體缺陷的方法，但是每一種都有其缺憾的地方，它們無法做到定量的去評(píng)價(jià)GaN晶體的質(zhì)量，而且具有破壞性。為了更好地定量評(píng)估GaN晶體質(zhì)量，濱松公司和日本Tohoku University的Kazunobu Kojima教授以及Shigefusa Chichibu教授從2016年開始合作研發(fā)了一套基于積分球的全向光致發(fā)光系統(tǒng)（Omnidirectional Photoluminescence，以下簡(jiǎn)稱ODPL），該系統(tǒng)是第一個(gè)無損無接觸定量去評(píng)價(jià)GaN晶體質(zhì)量的方法/系統(tǒng)。ODPL系統(tǒng)ODPL系統(tǒng)是首個(gè)無接觸無損評(píng)價(jià)半導(dǎo)體材料晶體質(zhì)量的方法，通過積分球法測(cè)量半導(dǎo)體材料、鈣鈦礦材料的內(nèi)量子效率。該產(chǎn)品可以直接測(cè)量材料 IQE，具有制冷型背照式 CCD 高靈敏度以及高信噪比。圖5 ODPL測(cè)量方法示意圖傳統(tǒng)光致發(fā)光的量子效率測(cè)量指的是晶體的PLQY，即光致發(fā)光量子效率，其定義為：PLQY = 樣品發(fā)射的光子數(shù)/樣品吸收的光子數(shù)圖6 GaN樣品在積分球下的發(fā)射光譜PLQY是表征晶體發(fā)光效率最常見的參數(shù)之一，對(duì)于絕大多數(shù)的發(fā)光材料，PLQY都是黃金標(biāo)準(zhǔn)。但是對(duì)于GaN晶體，PLQY的表征顯得不足。上圖可見，GaN的光致發(fā)射光譜呈雙峰形狀，這是由于GaN晶體中的缺陷等，會(huì)將GaN本身發(fā)射的PL再次吸收然后發(fā)射（光子回收Photon Recycling現(xiàn)象）。圖7 ( a ) PL and ODPL spectra of the HVPE / AT - GaN crystal and ( b ) detectable light - travelling passes considered in the simulation of light extraction :(1) direct escaping from the surface :( ii ) scattered at the bottom and escaping from the surface : and ( ii ) direct eseaping from the edge .( c ) Refractive index and absorption spectra of HVPE / AT - GaN .因?yàn)榇嬖赑hoton Recycling的現(xiàn)象，GaN的PLQY不足以表征其發(fā)光轉(zhuǎn)化效率，而真正可以表征GaN晶體發(fā)光轉(zhuǎn)化效率的定義是其真正的內(nèi)量子效率：IQE = 樣品產(chǎn)生的光子數(shù)/樣品吸收的光子數(shù)圖8 GaN樣品的標(biāo)準(zhǔn)發(fā)射光譜IQE是GaN晶體的PLQY考慮LEE和光子回收現(xiàn)象以后的參數(shù)，更能直觀、定量反映GaN晶體的質(zhì)量。圖9 高IQE和低IQE晶體的對(duì)比高IQE的GaN晶體通常表現(xiàn)為：高載流子濃度、低穿透位錯(cuò)密度、低雜質(zhì)濃度、低點(diǎn)缺陷濃度、高激發(fā)功率密度。圖10 不同穿透位錯(cuò)密度晶體的IQE結(jié)果對(duì)比免費(fèi)樣機(jī)預(yù)約ODPL現(xiàn)在ODPL樣機(jī)開放免費(fèi)預(yù)約試用活動(dòng)，有意向的客戶請(qǐng)?jiān)谠u(píng)論區(qū)留言“樣機(jī)試用”小編看到之后會(huì)第一時(shí)間與您聯(lián)系，樣機(jī)數(shù)量有限，先到先得喲~圖11 ODPL樣機(jī)展示以上有關(guān)新品的信息已經(jīng)全部介紹完畢了，如有任何疑問，歡迎在評(píng)論區(qū)留言喲。