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2025-01-10 10:53:25氣相沉積碳化硅: 氣相沉積碳化硅是一種通過氣相沉積技術在特定基底上形成的碳化硅薄膜或涂層。該技術利用高溫下氣態(tài)前驅物的化學反應，在基底表面沉積出碳化硅材料。氣相沉積碳化硅具有高硬度、高耐磨性、高熱穩(wěn)定性和良好的化學惰性，被廣泛應用于切割工具、耐磨部件、高溫傳感器及電子器件等領域。其制備過程可控，能實現(xiàn)碳化硅材料的精確結構和性能調控，滿足不同應用場景的需求。

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氣相沉積碳化硅問答

2020-12-03 16:08:48從測試含有納米顆粒的碳化硅樣品看Bettersize2600的優(yōu)良性能: 要準確測試含有微米和納米這種“跨界”樣品的粒度分布，是一件困難的事：一是需要有一臺既能測微米、又能測納米的粒度儀，這一點就不容易滿足；二是要對樣品進行充分分散，包括選擇合適的介質、合適的分散劑和適當?shù)耐饬Ψ稚⒎椒?；三是要對測試結果進行合理性驗證，這一點極其重要。最近，百特實驗室用Bettersize2600激光粒度儀測了一個碳化硅樣品，粒度分布圖如下：圖1：Bettesize2600測某碳化硅樣品粒度分布圖開始，我們對這個結果產生了疑惑：以往的碳化硅樣品的粒度分布圖形不都是很漂亮的嗎？為什么這個碳化硅會是這樣的峰形呢？前面的峰到底有沒有呢？測的數(shù)據(jù)對嗎？準嗎？帶著這些疑惑，我們對這個碳化硅樣品進行處理，通過配置一定濃度的懸浮液（圖2），靜置24小時后（圖3），來看到底有沒有納米顆粒。圖2：制備后進行測試的液體圖3：靜置一段時間后的液體我們發(fā)現(xiàn)，靜置24小時后的懸浮液有明顯的分層現(xiàn)象，但上清液呈乳白透明狀，說明上清液中還有小顆粒。我們通過Stokes沉降定律計算，這些乳白透明狀的顆粒ZD直徑不大于1μm。我們取上清液，用Bettersize2600激光粒度儀進行粒度分布測試，結果是D10=41nm，D50=72nm，D90=371nm，Dmax=900nm。說明這個碳化硅樣品是納米和微米顆粒的混合物。初步判斷圖1的結果是正確的。圖4為了更進一步考察，我們對這個碳化硅樣品用場發(fā)射掃描電鏡進行拍照，看看是否存在納米顆粒。從不同倍數(shù)的電鏡照片看，ZD顆粒有10μm左右，100納米及以下的顆粒（紅圈內）也確確實實存在的，而且含量非常多。證明Bettersize2600激光粒度儀的測試結果（圖1）是正確的。從這個樣品的測試和驗證過程證明，Bettersize2600激光粒度儀能準確測量納米和微米混合樣品的粒度分布。從Bettersize2600激光粒度儀的設計來看也具備這個能力，因為它采用了正反傅里葉結合光路，能準確探測前向、側向和后向散射光，實現(xiàn)了全角度測量，從而保證了細顆粒端的測量精度。圖：Bettersize2600測試原理圖：Bettersize2600激光粒度分布儀