- 2025-01-10 17:03:54MEMS工藝
- MEMS工藝即微機(jī)電系統(tǒng)工藝，是一種集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路等于一體的微型系統(tǒng)制造工藝。它利用半導(dǎo)體制造技術(shù)，如光刻、蝕刻、薄膜沉積等，在微小尺度上加工出具有特定功能的結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)可以感知環(huán)境參數(shù)（如壓力、溫度、加速度等），進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，并作出響應(yīng)。MEMS工藝因其體積小、功耗低、性能穩(wěn)定等特點(diǎn)，在消費(fèi)電子、汽車電子、醫(yī)療器械等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
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