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儀器網(wǎng)/ 應(yīng)用方案/ 介紹SFT9500的極薄膜Au鍍層的測量事例

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近年來隨著科技的進步，產(chǎn)品的小型化・鍍層厚 度的超薄膜化也進步了，特別是鍍金層厚度也達到 了納米等級由于膜厚變薄了，熒光X射線的測量 靈敏度不足，測量就變得困難了因此，對于以往 儀器測量困難的納米等級的膜厚管理，在這里介紹 使用配備有高計數(shù)率半導(dǎo)體檢測器的SFT9500的 測量事例 日立FT110A X射線鍍層測厚儀

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