近幾年來(lái)，微納米表征技術(shù)已經(jīng)飛速發(fā)展，微納米表征檢測(cè)早已變得膾炙人口，無(wú)損檢測(cè)使用三維共聚焦顯微鏡；精度要求非常高的接觸測(cè)試選擇原子力顯微鏡；這些已經(jīng)成為科研和生產(chǎn)企業(yè)的標(biāo)配，但眾所周知，普通微納米表征的設(shè)備載物臺(tái)都不大，即使定制也只能做到幾十厘米的尺寸，如果樣品是大型軸承印刷輥大面積的玻璃平板或鋼材等，又該如何解決呢？ 移動(dòng)式3D測(cè)量系統(tǒng)