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超純水(UPW)生產(chǎn)的一致性對(duì)微電子制造至關(guān)重要,并且有助于保護(hù)產(chǎn)品質(zhì)量。除基本的超純水監(jiān)測(cè)以外,在如何對(duì)偏離趨勢(shì)的結(jié)果迅速做出反應(yīng),并進(jìn)行有效的故障排查和過程控制方面,微電子工廠也面臨著挑戰(zhàn)。其他關(guān)注領(lǐng)域包括,確?;瘜W(xué)品純度以改善工藝性能和批量生產(chǎn),以及監(jiān)測(cè)廢水和回用水。

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