現(xiàn)代電子產(chǎn)品的特征尺寸不斷縮小——接近甚至小于光的波長(zhǎng)。為了檢測(cè)更小的結(jié)構(gòu)，設(shè)備制造商正在尋找新的方法來提高其系統(tǒng)的光學(xué)分辨率，其中一種方法是減小照明的波長(zhǎng)。

在過去，已將光源移至可見光譜的藍(lán)端，而如今一些應(yīng)用正在轉(zhuǎn)向近紫外、深紫外 (DUV) 甚至極紫外 (EUV)波段。

為了應(yīng)對(duì)在紫外線（UV）下工作的挑戰(zhàn)，制造商提高產(chǎn)品設(shè)計(jì)的同時(shí)也使用改性材料，讓新一代傳感器成功適用于UV應(yīng)用。