KLA FilmetricsF20是一款高精度薄膜厚度測(cè)量?jī)x，采用光譜反射技術(shù)，測(cè)量范圍覆蓋1納米至3毫米，具備一鍵操作、非接觸測(cè)量及多層結(jié)構(gòu)分析能力，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、OLED、光伏、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，兼具高精度與易用性。

產(chǎn)品特性： ?薄膜行業(yè)厚度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)配置，適用于高精度測(cè)量，內(nèi)置測(cè)帽調(diào)平機(jī)構(gòu)、避免反復(fù)設(shè)置系數(shù) ?全自動(dòng)測(cè)量，避免人為因素干擾，提高精度，數(shù)值自動(dòng)上傳電腦保存，可實(shí)現(xiàn)測(cè)量過(guò)程無(wú)人值守，減負(fù)增效 ? 測(cè)量精度高，分辨率可達(dá)0.1μm ? 測(cè)量速度快，結(jié)果響應(yīng)時(shí)間為0.015s ? 大理石臺(tái)面00級(jí)，精度高，質(zhì)地硬，永不生銹 ? 德國(guó)Mahr的品質(zhì)保證，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期高穩(wěn)定性的測(cè)量 ? 薄膜行業(yè)專(zhuān)用軟件Filder 1.0，具有數(shù)據(jù)管理，用戶(hù)管理等強(qiáng)大功能 軟件特性：Filder 1.0 特別為薄膜行業(yè)開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì) 可實(shí)時(shí)顯示記錄測(cè)量值，并計(jì)算Z大值，Z小值，平均值，偏差值等一系列參數(shù) 軟件自動(dòng)繪制厚度曲線和偏差圖 測(cè)量結(jié)果可導(dǎo)出至Excel表格 軟件具有用戶(hù)管理功能，可設(shè)置不同的人員權(quán)限，有效防止誤操作和數(shù)據(jù)的誤刪除 具有數(shù)據(jù)管理功能，測(cè)量數(shù)據(jù)及相關(guān)產(chǎn)品、人員信息永久保存，便于測(cè)量數(shù)據(jù)的追蹤和溯源