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英國(guó)SPTS
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- SPTS Technologies是KLA的一家公司，設(shè)計(jì)，制造，銷(xiāo)售和支持蝕刻，PVD，CVD和MVD資本設(shè)備，為半導(dǎo)體和微電子行業(yè)提供先進(jìn)的晶片處理技術(shù)和解決方案。終端應(yīng)用包括微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS），先進(jìn)封裝，LED，高速RF器件IC和功率半導(dǎo)體。
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