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英國SPTS
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- SPTS Technologies是KLA的一家公司，設計，制造，銷售和支持蝕刻，PVD，CVD和MVD資本設備，為半導體和微電子行業(yè)提供先進的晶片處理技術和解決方案。終端應用包括微機電系統(tǒng)（MEMS），先進封裝，LED，高速RF器件IC和功率半導體。
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