離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

離子濺射儀鍍膜步驟

1、對(duì)Ar閥是否處于開(kāi)啟狀態(tài)進(jìn)行檢查，將閥壓力調(diào)節(jié)到0.3bar（若接空氣那么就沒(méi)有必要）。

（1）對(duì)time value等于30秒進(jìn)行檢查，若有必要，則重新進(jìn)行設(shè)定。

（2）等到壓力穩(wěn)定以后，對(duì)壓力是否為0.08mb進(jìn)行檢查，若不是，則重新進(jìn)行設(shè)定。

2、將TEST鍵按下，將后面的濺射電流控制旋鈕調(diào)節(jié)到20毫安，再將TEST鍵釋放。

3、將start鍵按下，鍍膜開(kāi)始。

4、結(jié)束鍍膜以后，將濺射頭上蓋的放氣閥拔出放氣。

5、在完全放氣以后，能夠?qū)R射時(shí)間進(jìn)行更改，shou先不要對(duì)電流或者氣體壓力進(jìn)行更改。

離子濺射儀保養(yǎng)

1、離子濺射儀需要保持干燥、干凈的工作環(huán)境，離子濺射儀需要遠(yuǎn)離熱源。

2、用沾有少量丙酮的抹布對(duì)真空室進(jìn)行定期用擦拭，值得注意的是不要將玻璃真空圈打破。

3、需要在專業(yè)的指導(dǎo)下對(duì)靶材進(jìn)行更換。

4、真空泵油更換周期為：12個(gè)月。

5、油霧過(guò)濾器更換周期為：24個(gè)月。