離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

離子濺射儀的工作原理和組成：

離子濺射儀的工作原理是在一個(gè)較低真空的腔體內(nèi)，將超過(guò)幾百伏特的電壓加載在負(fù)電極和正電極之間，使得輝光放電產(chǎn)生，使得正離子在電場(chǎng)的作用下對(duì)靶電極(負(fù)極)的轟擊加速，造成靶中原子濺射，使得一層簿膜在樣品上形成。10電子伏特為濺射原子的平均能量，因此會(huì)有非常大的熱量產(chǎn)生，為了使樣品不被灼傷，需要對(duì)被鍍材料特性以及是否需要采取特殊的防護(hù)方法格外注意。

離子濺射儀的一般操作步驟：

1、對(duì)樣品進(jìn)行放置，將上蓋合上。

2、對(duì)濺射時(shí)間進(jìn)行選擇。

3、將電源開關(guān)打開，對(duì)真空指示表進(jìn)行觀察，當(dāng)真空度達(dá)到4×-100托時(shí)，能夠?qū)ξ⒄{(diào)進(jìn)氣閥進(jìn)行調(diào)整使得真空度降低到適合的值。

4、對(duì)啟動(dòng)開關(guān)進(jìn)行觸按，定時(shí)器發(fā)出的計(jì)時(shí)音能夠聽到，觀察到有輝光從樣品室中發(fā)出。

5、對(duì)電流表指示進(jìn)行觀察。按照需要對(duì)微調(diào)進(jìn)氣閥門進(jìn)行調(diào)整，對(duì)電離電流進(jìn)行提高或降低。

6、計(jì)時(shí)歸零，結(jié)束提示發(fā)出。