掃描電鏡一種新型的多功能的，用途Z為廣泛的電子光學儀器。數(shù)十年來，掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學、醫(yī)學、冶金學等學科的領(lǐng)域中，促進了各有關(guān)學科的發(fā)展。

掃描電鏡在材料領(lǐng)域中的應(yīng)用

　　掃描電鏡采用場致發(fā)射電子槍代替普通鎢燈絲電子槍，可得到很高的二次電子像分辨率。采用場發(fā)射電子槍需要很高的真空度，在高真空度下由于電子束的散射更小，其分辨率進一步得到提高。同時，采用磁懸浮技術(shù)，噪音振動大為降低，燈絲壽命也有增加。掃描電鏡的特點是二次電子像分辨率很高，如果采用低加速電壓技術(shù)，在TV狀態(tài)下背散射電子(BSE)成像良好，對于未噴涂非導電樣品也可得到高倍像。所以，掃描電鏡對半導體器件、精密陶瓷材料、氧化物材料等的發(fā)展起到很大作用。

　　掃描電鏡配備能譜儀，主要能分析材料表面微區(qū)的成分，分析方式有定點定性分析、定點定量分析、元素的線分布、元素的面分布。例如夾雜物的成分分析。兩個相中元素的擴散深度、多相顆粒元素的分布情況。

　　掃描電鏡配備EBSD附件，主要做單晶體的物相分析，同時提供花樣質(zhì)量、置信度指數(shù)、彩色晶粒圖，可做單晶體的空間位向測定、兩顆單晶體之間夾角的測定，可做特選取向圖、共格晶界圖、特殊晶界圖，同時提供不同晶界類型的數(shù)量和相對比例，還可做晶粒的尺寸分布圖，將多顆單晶的空間取向投影到極圖或反極圖上，可做二維或三維織構(gòu)分析。

　　掃描電鏡可以對浸出渣、鐵的水解產(chǎn)物、轉(zhuǎn)爐渣等物質(zhì)進行成分分析、形貌觀察，可以對連鑄坯的帶狀偏析及夾雜物進行分析。同時，也可以用于冶金輔材的顯微組織及形貌分析與測量。如：冶金高爐塔垢顯微組織分析，冶金燒結(jié)礦顯微組織分析，保護渣渣皮形貌及渣皮厚度測量等。

　　掃描電鏡結(jié)合上述各種附件，其應(yīng)用范圍很廣，包括斷裂失效分析、產(chǎn)品缺陷原因分析、鍍層結(jié)構(gòu)和厚度分析、涂料層次與厚度分析、材料表面磨損和腐蝕分析、耐火材料的結(jié)構(gòu)與蝕損分析等等。

掃描電鏡在新型陶瓷材料領(lǐng)域中的應(yīng)用

　　顯微結(jié)構(gòu)的分析：在陶瓷的制備過程中，原始材料及其制品的顯微形貌、孔隙大小、晶界和團聚程度等將決定其Z后的性能。掃描電鏡可以清楚地反映和記錄這些微觀特征，是觀察分析樣品微觀結(jié)構(gòu)方便、易行的有效方法，樣品無需制備，只需直接放入樣品室內(nèi)即可放大觀察;同時掃描電鏡可以實現(xiàn)試樣從低倍到高倍的定位分析，在樣品室中的試樣不僅可以沿三維空間移動，還能夠根據(jù)觀察需要進行空間轉(zhuǎn)動，以利于使用者對感興趣的部位進行連續(xù)、系統(tǒng)的觀察分析。掃描電鏡拍出的圖像真實、清晰，并富有立體感，在新型陶瓷材料的三維顯微組織形態(tài)的觀察研究方面獲得了廣泛地應(yīng)用。

　　納米尺寸的研究：納米材料是納米科學技術(shù)Z基本的組成部分，現(xiàn)在可以用物理、化學及生物學的方法制備出只有幾個納米的“顆?！?。納米材料的應(yīng)用非常廣泛，比如通常陶瓷材料具有高硬度、耐磨、抗腐蝕等優(yōu)點，納米陶瓷在一定的程度上也可增加韌性、改善脆性等，新型陶瓷納米材料如納米稱、納米天平等亦是重要的應(yīng)用領(lǐng)域。納米材料的一切獨特性主要源于它的納米尺寸，因此必須首先確切地知道其尺寸，否則對納米材料的研究及應(yīng)用便失去了基礎(chǔ)?？v觀當今國內(nèi)外的研究狀況和Zxin成果，目前該領(lǐng)域的檢測手段和表征方法可以使用透射電子顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡等技術(shù)，但高分辨率的掃描電鏡在納米級別材料的形貌觀察和尺寸檢測方面因具有簡便、可操作性強的優(yōu)勢被大量采用。

　　鐵電疇的觀測：掃描電鏡觀測電疇是通過對樣品表面預先進行化學腐蝕來實現(xiàn)的，由于不同極性的疇被腐蝕的程度不一樣，利用腐蝕劑可在鐵電體表面形成凹凸不平的區(qū)域從而可在顯微鏡中進行觀察。因此，可以將樣品表面預先進行化學腐蝕后，利用掃描電鏡圖像中的黑白襯度來判斷不同取向的電疇結(jié)構(gòu)。對不同的鐵電晶體選擇合適的腐蝕劑種類、濃度、腐蝕時間和溫度都能顯示良好的疇圖樣。

掃描電鏡在地質(zhì)領(lǐng)域中的應(yīng)用

　　掃描電鏡主要通過對微體古生物、巖石、礦物的形態(tài)和結(jié)構(gòu)構(gòu)造特征的研究，巖石、礦物的元素組成、變化規(guī)律及其賦存狀態(tài)的研究，解決地質(zhì)科研和生產(chǎn)中的各種問題。它直接或間接應(yīng)用于古生物學(主要是微體古生物)、礦物學、巖石學、隕石學、礦床學、構(gòu)造地質(zhì)學、礦床綜合評價和礦產(chǎn)綜合利用等方面的研究。

掃描電鏡在醫(yī)學和生物學領(lǐng)域中的應(yīng)用

　　隨著掃描電鏡分辨力溝不斷提高和樣品制備技術(shù)的逐步改善，它在醫(yī)學生物學的研究中發(fā)揮了巨大作用，具有重要約實用價值。特別是近年來，由于冷凍割斷法、化學消化法以及樹脂鑄型法等新技術(shù)的創(chuàng)建，使人們在掃描電鏡下可以直接觀察組織細胞內(nèi)部超微結(jié)構(gòu)的立體圖象，能夠顯示器官內(nèi)微血管和其他管道系統(tǒng)在組織內(nèi)的三維構(gòu)筑，為醫(yī)學生物學亞顯微領(lǐng)域的深入探討，提供了更為良好的條件。