氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。目前，氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用已從科學(xué)院、大專院校、實(shí)驗(yàn)室及少數(shù)科研機(jī)構(gòu)走向工礦企業(yè)，甚至鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)、個體企業(yè)，可以說應(yīng)用領(lǐng)域極其寬廣。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于航空航天高科技工業(yè)

　　例如火箭發(fā)動機(jī)及姿態(tài)發(fā)動機(jī)，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現(xiàn)在重新改進(jìn)工藝用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結(jié)合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發(fā)動機(jī)質(zhì)量?；鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結(jié)合。由于檢漏技術(shù)的應(yīng)用，提高了檢漏靈敏度，彌補(bǔ)了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。

　　KM6空間環(huán)模裝置設(shè)備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統(tǒng)多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質(zhì)譜檢漏儀負(fù)壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統(tǒng)將盒內(nèi)抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關(guān)閉預(yù)抽閥，開啟檢漏閥。由于盒內(nèi)氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。

　　航天工業(yè)中，衛(wèi)星、各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀及其檢漏技術(shù)。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于電力行業(yè)

　　SF6高壓開關(guān)和氧化鋅避雷器是發(fā)電廠及野外輸變電的重要組成部分，往往因泄漏造成大面積或局部停電，影響工業(yè)生產(chǎn)，又妨礙人們的正常生活。因此帶來的經(jīng)濟(jì)損失有時是難以估量的。

　　高壓開關(guān)在連箱是鋁鑄件，往往容易有砂眼，且漏孔結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不易清洗。一般采用檢漏盒或氦罩法，即把被檢件抽真空，然后向罩內(nèi)充入氦氣，等待一定時間，確定總漏率的大小。因氦氣的用量小，檢測靈敏度就高。

　　氧化鋅避雷器，是根據(jù)電壓高低要求，采用不同截面積、不同厚度和不同數(shù)量的氧化鋅片，裝在瓷套中，充入氮?dú)夂竺芊狻Ｆ涔ぷ髟硎窃诟邏狠敵鲋腥缬隼讚?，氧化鋅片電阻變小，大電流對地短路，輸電線路被保護(hù)。如果泄漏造成內(nèi)外沒有壓差，外部潮濕氣體有可能進(jìn)入，而破壞氧化鋅片特性，造成爆炸。

　　電力行業(yè)中，電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關(guān)管及其它元器件也都相應(yīng)的采用氦質(zhì)譜檢漏儀，用不同方法進(jìn)行檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于電子行業(yè)

　　氦質(zhì)譜檢漏儀可用于微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)

　　氦質(zhì)譜檢漏儀可用于管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機(jī)組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機(jī)、激光軸分離器、高能加速器、醫(yī)用加速器、輻照加速器、鍍膜機(jī)、薄膜真空計(jì)。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于核工業(yè)

　　氦質(zhì)譜檢漏儀可用于鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于制冷行業(yè)

　　氦質(zhì)譜檢漏儀可用于冰箱、空調(diào)、溴化鋰制冷機(jī)組、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機(jī)、低溫儲槽。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于不銹鋼保溫器皿

　　氦質(zhì)譜檢漏儀可用于真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于的其它應(yīng)用

　　氦質(zhì)譜檢漏儀可用于汽車制造業(yè)，已有30多種零部件在使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、轉(zhuǎn)向系統(tǒng)、避震系統(tǒng)、甚至汽車輪轂。

　　有待于開拓的檢漏領(lǐng)域還很多，但由于思想觀念的束縛以及經(jīng)費(fèi)等諸多原因，在很多領(lǐng)域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。產(chǎn)品合格率和生產(chǎn)效率低。從某種意義上講，這種工作方式制約了生產(chǎn)力的發(fā)展。因此，對于真空專業(yè)技術(shù)人員，特別是從事真空設(shè)備的研制和生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀的專業(yè)廠家，應(yīng)在氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用推廣上進(jìn)一步下功夫，為推動我國真空技術(shù)的發(fā)展而努力。