氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度Zgao，用得Z普遍的檢漏儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀的分類

　　氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10^-9～10^-12Pam³/s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀與單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀相比較，本底噪聲顯著減小，其靈敏度可達(dá)10^-14～10^-15Pam³/s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點。適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10^-12Pam³/s。

　　1、單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

　　單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源;由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器;由YZ柵、收集極及高阻組成收集器;diyi級放大靜電計管和冷陰極電離規(guī)。

　　在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過加速極S1的縫隙進(jìn)入分析器。

　　2、雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

　　由于兩次分析，減少了非氦離子到達(dá)收集器的機率。并且，如在兩個分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設(shè)置加速電場，使離子在進(jìn)入第二個分析器前再次被加速。那些與氦離子動量相同的非氦離子，雖然可以通過diyi個分析器，但是，經(jīng)第二次加速進(jìn)入第二個分析器后，由于其動量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。

　　3、逆流氦質(zhì)譜檢漏儀

　　逆流氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如，多級油擴散泵對氦氣的壓縮比為100;對空氣中其它成分的壓縮比為10^4～10^6。檢漏時，通過被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。

氦質(zhì)譜檢漏儀的特點

　　全自動氦質(zhì)譜檢漏儀的顯著優(yōu)點：

　　1、操作簡便：全自動氦質(zhì)譜檢漏儀結(jié)合簡捷的雙鍵操作功能及內(nèi)置智能化系統(tǒng)可以提供簡單但強大的測試性能。

　　2、功能強大：適用于各種檢漏方法，優(yōu)化設(shè)計的質(zhì)譜室及真空系統(tǒng)功能強大，能適合各種檢漏方法的要求，以滿足各種各樣的檢漏應(yīng)用。

　　3、配置齊全：多種系統(tǒng)配置，多種可選件，可以靈活地組成各種各樣的系統(tǒng)配置。

　　4、堅固耐用：在堅固耐用方面的革新設(shè)計，使得全自動氦質(zhì)譜檢漏儀能適應(yīng)各種惡劣的工業(yè)環(huán)境。

　　臺式氦質(zhì)譜檢漏儀的顯著優(yōu)點：

　　1、適合批量測試使用：臺式氦質(zhì)譜檢漏儀包含兩臺前級泵、高傳到液壓集成和三個檢漏儀，大大縮短檢漏周期。

　　2、前級泵可選擇性：可以根據(jù)不同需求選擇不能類型的前級泵。

　　3、操作簡便：自動調(diào)整、校準(zhǔn)、回零，使得檢漏操作簡便可靠。

　　4、運行穩(wěn)定：單極開關(guān)啟動或關(guān)閉，高性能閥門，保證設(shè)備可穩(wěn)定運行百萬次;自保系統(tǒng)可保證設(shè)備在誤操作或電源故障條件免于損壞。

　　便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的顯著優(yōu)點：

　　1、性價比高：便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款Z實用的檢漏儀，可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域，競爭性的價格及較低的使用成本，大抽速前級泵的設(shè)計，可縮短抽氣時間，提高使用效率;

　　2、自我保護(hù)功能：在突然暴露大氣和突然斷電時具有保護(hù)功能，系統(tǒng)的逆擴散設(shè)計保護(hù)了質(zhì)譜室的清潔、真空，且不需要液氮;

　　3、結(jié)構(gòu)靈活：可采用主機與前級泵單獨采買，前級泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀，既可選擇帶有連接配件的主機形式，也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。