氦質(zhì)譜檢漏儀應用讓我國許多設備的運轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設備的質(zhì)量檢驗之中，應用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設備的檢測極ng準度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。

氦質(zhì)譜檢漏儀的發(fā)展

　　從20世紀60年代開始，氦質(zhì)譜檢漏儀被廣泛應用于航天、電子、原子能、制冷、電力、化工、汽車及食品等各個行業(yè)。特別是原子能、航天技術(shù)的發(fā)展，使氦質(zhì)譜檢漏儀得到了飛速的發(fā)展。從早期的噴吹法開始，到如今己有了氦罩法、吸槍法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、吸槍累積法、背壓法及前級泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏儀。

　　1956年，Schumacher開始研究背壓檢漏，并將它應用到密閉電子器件的檢漏中去。1973年。Howl先生對背壓檢漏方法進行了詳盡的數(shù)學分析，他推導的漏率計算公式就是現(xiàn)在使用的背壓檢漏用的經(jīng)典公式。

　　在國內(nèi)，從20世紀60年代末開始，蘭州物理所開展了大容器檢漏方法研究，將擬質(zhì)譜檢漏技術(shù)應用于衛(wèi)星環(huán)模設備、鐵路運輸液氫槽車、運載火箭氫氧液體燃料箱等大型容器的檢漏中。1996年，北京衛(wèi)星制造廠閏治平等人采用氦質(zhì)譜的非真空收集法對衛(wèi)星整體進行檢漏。近年來，曹輝玲等人將前級泵出口采樣法應用于電力工業(yè)及其他大型真空設備的檢漏中，采用特制的油污過濾裝置對氦具有和積累作用，提高了檢漏靈敏度?，F(xiàn)在，氦質(zhì)譜檢漏儀己成為迄今Z靈敏、Z有效、Z方便也是應用Z廣的檢漏手段。

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇

　　選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：

　　1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸槍法檢漏;有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有雙工位的檢漏儀。

　　2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。

　　3、被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。

　　4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。

　　5、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。

　　6、如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運氦質(zhì)譜檢漏儀時，就要選擇小型便攜式儀器。

　　7、在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。

氦質(zhì)譜檢漏儀的進展

　　在科學技術(shù)的不斷發(fā)展的時代，氦質(zhì)譜檢漏儀也在不斷的發(fā)展與完善。這主要由兩方面的因素所決定：一方面，檢漏應用技術(shù)不斷的對檢漏儀提出新的要求，迫使氦質(zhì)譜檢漏儀自身的更新;另一方面，檢漏技術(shù)也在隨時隨地補充現(xiàn)有氦質(zhì)譜檢漏儀在應用過程中存在的某些不足，因此二者的關(guān)系是相互補充、相互促進的。經(jīng)過半個多世紀的努力，今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。集中體現(xiàn)在如下幾個方面：

　　1、便攜式：Z近各國推出的小型便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

　　2、高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

　　3、自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

　　4、全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

　　5、檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。