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為什么掃描電鏡(SEM)的束斑直徑那么重要

本文由 復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司 整理匯編

2018-08-22 10:00 524閱讀次數(shù)

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近年來(lái),隨著科技的發(fā)展和材料尺寸的不斷縮小,掃描電鏡(SEM)已經(jīng)成為一種非常有價(jià)值的表征方法。SEM作為一種通用的工具,方便用戶可以對(duì)各種各樣的材料進(jìn)行多種不同類型的分析。為獲得更好的結(jié)果,用戶應(yīng)該仔細(xì)設(shè)定SEM參數(shù)。其中一個(gè)設(shè)置是束斑直徑,即照射在樣品上的電子束直徑。在這篇博客中,闡述了如何在SEM中調(diào)整束斑直徑,以及如何在高分辨率成像和大束流之間實(shí)現(xiàn)平衡,以獲得**結(jié)果。如何在SEM下調(diào)整束斑直徑描述SEM中電子束性質(zhì)的四個(gè)主要參數(shù)如圖1所示:使電子在電鏡腔室中運(yùn)動(dòng)的加速電壓電子束的會(huì)聚角轟擊樣品的電子束流大小到達(dá)樣品表面的Z終束斑直徑。圖1:SEM中電子束的四個(gè)主要參數(shù):加速電壓、會(huì)聚角、電子束流和束斑直徑

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