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用INFICON 3000微型GC分析六氟化硫的純度(SF6)
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2024-09-27 23:47 746閱讀次數(shù)
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用INFICON 3000微型GC分析六氟化硫的純度(SF6)
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用INFICON 3000微型GC分析六氟化硫的純度(SF6)
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- 如何選擇INFICON真空計(jì) 一,皮拉尼真空計(jì) 1.皮拉尼真空計(jì)原理 加熱電阻絲,使之升溫至需要的工作溫度 由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開(kāi)時(shí)帶走了能量,電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化 熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系 2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī) 1,穩(wěn)定溫度,測(cè)量施加的電壓變化等效測(cè)量真空度(INFICONPSG500) 2,穩(wěn)定電壓,測(cè)量溫度變化等效測(cè)量真空度(熱偶規(guī)) 3.氣體的熱傳導(dǎo),與下列提條件有關(guān): 1,氣體類型 2,壓力大小 4.皮拉尼真空計(jì)測(cè)量范圍與精度 測(cè)量范圍(空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?x10-4至1000mbar 精度(氮?dú)猓?1x10-3…100毫巴±15% 5x10-4…1x10-3毫巴±50% 100...1000毫巴±50% 5.皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn) 燈絲部分在不影響精度與速度的情況下,加以Zda的保護(hù),大大延長(zhǎng)了燈絲的使用壽命 6.皮拉尼真空計(jì)具體型號(hào) lPSG050/051 lPSG100-SPSG101-S lPSG500/500-SPSG502 l皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400PCG410PCG550 1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起 2.兩種原理的規(guī)管全過(guò)程都工作 3.100mbar1000mbar使用薄膜規(guī)信號(hào) 4.1mbar100mbar兩規(guī)信號(hào)同時(shí)采用 5.5x10-4mbar1mbar采用皮拉尼信號(hào) 6.輸出的真空度信號(hào)(電壓)連續(xù),無(wú)跳躍 7.皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè) l各種高真空泵的前級(jí)壓力測(cè)量,如光伏,鍍膜,等離子行業(yè) l各種中低真空測(cè)量,如照明,冶金 l真空連鎖控制,高真空計(jì)的點(diǎn)火開(kāi)關(guān)控制,如PEG100 lPSG050可完全替代TR211,PSG051可完全替代TR216 lPCG400PCG410(現(xiàn)在已升級(jí)為PCG550,PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn))與PSG500基本相同,但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測(cè)量段精度不足的弱點(diǎn),而且不受氣體類型的影響,在真空爐,單晶爐,多晶爐,藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用 lPSG100PSG101,與PSG500/PSG050基本相同,但因?yàn)榫哂型ㄓ崊f(xié)議功能,在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛 二,電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045/100/160/200 1.電容薄膜規(guī)工作原理 l壓力使膜片變形,變形量與壓力大小成比例關(guān)系 l通過(guò)測(cè)量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測(cè)量真空度 2.電容薄膜規(guī)特點(diǎn) l以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成 l在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測(cè)量 l快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率 lzhuo越的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性 l由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性 l對(duì)環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測(cè)量更穩(wěn)定 l快速預(yù)熱在開(kāi)機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入準(zhǔn)備使用狀態(tài) l一鍵按鈕:調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整 l抗腐蝕超純陶瓷傳感器 l能經(jīng)受數(shù)百萬(wàn)次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無(wú)任何降低性能的跡象 l暴露大氣壓后快速恢復(fù),無(wú)需隔離閥 l對(duì)蒸氣介質(zhì)不敏感 l先進(jìn)的傳感器屏蔽(ZL)延長(zhǎng)真空計(jì)在污染的工藝過(guò)程中的使用壽命 3.INFICON陶瓷技術(shù) l陶瓷技術(shù)的優(yōu)越性 1,無(wú)“記憶”效應(yīng) 2,陶瓷無(wú)疲勞問(wèn)題 3,**的溫度補(bǔ)償 4,zhuo越的零點(diǎn)穩(wěn)定性 l低使用成本 1.非凡的使用壽命 2.無(wú)需隔離閥 4.SkyCDG025D測(cè)量范圍 5.加熱型薄膜規(guī) 6.加熱型優(yōu)點(diǎn) l零飄極小0.1%FS/年(干凈真空環(huán)境) l更高的精度 l環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對(duì)精度無(wú)影響 l比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’ l快速恢復(fù)時(shí)間大氣壓<1minwithin5mV l任意安裝角度 l抗污染,可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響 7.電容薄膜規(guī)的應(yīng)用 要求高的應(yīng)用條件下,極ng確而快速的壓強(qiáng)測(cè)量 l用于刻蝕,CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造,如太陽(yáng)能光伏行業(yè)的PECVD用的很多,刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多,抗污染性能比較好。一般國(guó)內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多,如德國(guó)Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3,國(guó)內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。 l資料貯存和顯示器制造設(shè)備 l工業(yè)真空設(shè)備 l常用高精度真空測(cè)量 三,熱電離規(guī) 1.熱電離規(guī)原理 Richardson效應(yīng):高溫?zé)艚z發(fā)射電子,高能量電子撞擊氣體分子,氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去,形成帶正電的離子 1)帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出 2)離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系 2.兩種類型熱電離規(guī) 3.熱電離型復(fù)合規(guī) lHPG400 lBPG400/-SP/-SD/SR lBPG402 lBCG450B-A規(guī),皮拉尼規(guī),薄膜規(guī)三種型號(hào)復(fù)合在一起 l 4.優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用 lBPG n測(cè)量范圍寬,一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-101000mbar n精度高,極好的重復(fù)性5% n燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力,皮拉尼自鎖保護(hù),使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀?! 方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié) n注意事項(xiàng): u對(duì)氣體有選擇性 u抗污染能力弱 n普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測(cè)量 n在工業(yè),半導(dǎo)體,研究行業(yè)應(yīng)用廣泛 lBPG402 n雙燈絲,大大延長(zhǎng)使用壽命 n電離規(guī)的工作可以自定義控制 n探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù),保證精度與重復(fù)性 lHPG400 n電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合 n皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī) n電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義 n簡(jiǎn)易的校準(zhǔn)功能 n相對(duì)便宜的價(jià)格 lBCG450 n可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn) n的重復(fù)性 n極ng確的大氣端測(cè)量 四,冷電離規(guī)(潘寧規(guī)) 1.冷電離規(guī)原理 通過(guò)氣體放電方式產(chǎn)生電子,通過(guò)磁場(chǎng)使電子獲得能量將氣體分子電離 2.潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用 l測(cè)量范圍:5x10-9to1x10-2mbar l全金屬密封 l無(wú)燈絲 l易清洗 l應(yīng)用于普通的高真空測(cè)量 3.冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用 l冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合 l測(cè)量范圍廣:5x10-9-1000mbar l易于保養(yǎng)清洗 l無(wú)高真空燈絲, l應(yīng)用于普通高真空測(cè)量 4.冷規(guī)及復(fù)合規(guī)性能比較[詳細(xì)]
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2024-09-21 20:36
產(chǎn)品樣冊(cè)
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MICRO GC FUSION微型氣相色譜儀產(chǎn)品樣冊(cè)
- MICRO GC FUSION微型氣相色譜儀產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2024-09-16 21:55
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水純度的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
- 水純度的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)[詳細(xì)]
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2024-09-29 05:28
選購(gòu)指南
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DSC純度的測(cè)定
- 純度的測(cè)定圖1.40給出了一組不同純度的苯甲酸的DSC曲錢(qián),圖中示出純度越高,熔點(diǎn)越高.熔融峰越尖陡。利用因材科不純而導(dǎo)致點(diǎn)下降這一原理來(lái)測(cè)定物質(zhì)純度的方法叫熔點(diǎn)下降法?;瘜W(xué)熱力學(xué)中叫凝固點(diǎn)下降。熔點(diǎn)下降與雜質(zhì)量之間的關(guān)系用Van’tHoff方程表示。式中△H是摩爾熔融熱焓,R是氣體常數(shù),X2是雜質(zhì)的摩爾數(shù),T0是純物質(zhì)的熔點(diǎn),而Tm是已摻雜材料的熔點(diǎn).因?yàn)門(mén)m很難求準(zhǔn),一般用作圖法求:定義f為試樣在溫度為T(mén)s時(shí)已溶化的分?jǐn)?shù)將Ts對(duì)1/f作圖應(yīng)為直線,其斜率=To一Tm,即熔點(diǎn)下降值.將斜率代入Van’tHoff方程,就求出X2。美國(guó)PerkinE1mer公司用DSC方法測(cè)定罩丸甾酮的純度,如圖1.4l所示。曲線上標(biāo)出的幾個(gè)溫度值是試樣熔融部分的百分比在1050%范圍內(nèi)的幾個(gè)點(diǎn)上測(cè)得的。以A點(diǎn)為例,從A作基線的垂線AB,AB線以前的面積即為已熔面積A1,DSC曲線下總面積為AT,所以A點(diǎn)的已熔分?jǐn)?shù)從A按純金屬銦(99.999%)熔融峰起始邊的斜率向基線引AD,交基線于D,此點(diǎn)的溫度即Ts用同樣的方法求出其它點(diǎn)的Ts和f,把各點(diǎn)的Ts對(duì)1/f作圖,得到如圖1.42所示的直線.因此從斜率可求出X2=0.0042,即試樣純度為99.6%。這種方法測(cè)定純度的公式是從C1ausius-Clapeyron。方程及Raoult定律推導(dǎo)出來(lái)的,有一定的假設(shè)條件。只有當(dāng)試樣純度高于99%時(shí)用凝固點(diǎn)下降原理才能夠得到高的準(zhǔn)確度。隨雜質(zhì)含量的增加,準(zhǔn)確性下降.為了改善純度測(cè)定的準(zhǔn)確性,考慮被忽略的預(yù)熔部分,可用償試誤差法解決Ts1/f不成直線的問(wèn)題。由于DSC曲線基線取法對(duì)面積值影響很大,特別對(duì)純度低的試樣影響更嚴(yán)重.假設(shè)誤差為δ,則式中AT為DSC曲線峰總面積,A1,A2,…為已熔部分的降面積,f1,f2,…為已熔化分?jǐn)?shù).若Ts1/f不成直線,就改變?chǔ)闹?,直到Ts1/f成直線為止,這樣就可以較準(zhǔn)確地求得T0一Tm值,圖1.43示出的是苯純度測(cè)定中的直線化方法.D.L.Sondack提出在DSC測(cè)定純度過(guò)程中用一個(gè)簡(jiǎn)單方程對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行直線化的方法.目前PerkinElmer公司出售的DSC2C儀或DSC7儀都有純度測(cè)定軟件。[詳細(xì)]
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2024-09-30 07:52
產(chǎn)品樣冊(cè)
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SF6密度繼電器校驗(yàn)儀 MHY-26299
- SF6密度繼電器校驗(yàn)儀MHY-26299采用微機(jī)技術(shù),能對(duì)各種SF6密度繼電器進(jìn)行校驗(yàn),以及對(duì)SF6氣體任意環(huán)境溫度下的壓力進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)換算的一種便攜式校驗(yàn)儀器,為SF6電氣產(chǎn)品的生產(chǎn)、安全運(yùn)行、預(yù)試和維護(hù)提供方便。產(chǎn)品特征a.儀器采用小型真空泵,探頭與主機(jī)為分體式。b.機(jī)電一體化設(shè)計(jì),精度高,重復(fù)性好,可靠性高c.能同時(shí)測(cè)試一組報(bào)警信號(hào)、二組閉鎖信號(hào)d.配有多種型號(hào)過(guò)渡接頭,大多數(shù)型號(hào)開(kāi)關(guān)的密度繼電器不用拆卸即可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)校驗(yàn);e.除密度繼電器校驗(yàn)功能外,本儀器還具有20℃壓力表校驗(yàn)和常溫壓力表校驗(yàn)功能f.漢字報(bào)表式打印測(cè)試結(jié)果,并對(duì)試驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行智能分析g.原理為空氣中含有的六氟化硫氣體濃度變化時(shí),該混合氣體在高頻電磁場(chǎng)的作用下其電離的程度也將不同制造的,通過(guò)檢測(cè)電離度即可反映六氟化硫濃度。產(chǎn)品別稱SF6密度繼電器校驗(yàn)儀、SF6氣體檢漏儀、SF6氣體密度繼電器校驗(yàn)儀、SF6密度繼電器測(cè)試儀、密度繼電器校驗(yàn)、定量氣體檢漏儀技術(shù)參數(shù)1、工作電壓:AC220V、50Hz,儀器功率:55W,儀器精度:0.20級(jí)2、壓力顯示分辨率:0.001MPa,壓力校驗(yàn)范圍:0~1.000MPa,環(huán)境溫度顯示分辨率:0.1°C,環(huán)境溫度測(cè)量范圍:-50℃~150℃,工作濕度:90%RH3、校驗(yàn)對(duì)象:?jiǎn)螆?bào)警、單閉鎖、單報(bào)警單閉鎖、雙報(bào)警雙閉鎖4、顯示方式:320X240圖形點(diǎn)陣單色液晶屏5、測(cè)量壓力類型:壓力和相對(duì)壓力6、測(cè)量觸點(diǎn)電壓:DC24V和DC110V7、操作方式:一鍵飛梭輸入,打印機(jī)型:高速熱敏打印機(jī)8、打印方式:漢字報(bào)表式打印,存儲(chǔ)容量:可同時(shí)存儲(chǔ)32次試驗(yàn)結(jié)果9、SF6氣體密度顯示方式:被測(cè)環(huán)境下的壓力、20℃時(shí)的等效壓力。10、外形尺寸:380X275X240(mm),儀器重量:8Kg[詳細(xì)]
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2018-09-17 10:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
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用微型高分辨率光譜儀監(jiān)控等離子體
- 用微型高分辨率光譜儀監(jiān)控等離子體[詳細(xì)]
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2016-07-25 00:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
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